一种光刻胶生产用烘干装置的制作方法

本申请涉及光刻胶烘干的领域，尤其是涉及一种光刻胶生产用烘干装置。

背景技术：

1、光刻胶烘干是半导体制造过程中的一个重要步骤，通过加热光刻胶，使其在硅片表面形成均匀、平整的薄膜。光刻胶连续烘干是指通过连续加热和控制温度来实现对光刻胶的烘干过程，常规的光刻胶在进行烘干时，常采用热板或热管等方式对光刻胶进行加热。

2、针对上述中的相关技术，发明人认为，常规的光刻胶在进行烘干时，由于光刻胶对温度的要求较高，温度过高易导致光刻胶碳化或烧结，温度过低易影响溶剂的挥发速度，常规的烘干为保证光刻胶的输送，常处于与外界环境保持流通的状态，从而造成在进行烘干时易受到外界温度的影响。

3、本背景技术所公开的上述信息仅仅用于增加对本申请背景技术的理解，因此，其可能包括不构成本领域普通技术人员已知的现有技术。

技术实现思路

1、为了解决常规的烘干设备易受到外界环境影响的问题，本申请提供一种光刻胶生产用烘干装置。

2、本申请提供的一种光刻胶生产用烘干装置采用如下的技术方案：

3、一种光刻胶生产用烘干装置，包括若干个烘干机和转动架，所述烘干机的顶部传动安装有传输带，所述传输带的顶部固定连接有排湿箱，所述转动架的表面转动安装有遮挡板，所述遮挡板表面的尺寸规格与排湿箱一端尺寸规格相适配，且遮挡板的两端均转动连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离遮挡板的一端转动安装有转动块，所述转动架的底端与排湿箱顶部焊接，且遮挡板的截面呈“l”字形结构，两个所述伸缩杆以遮挡板为轴对称分布，所述转动块的一端与排湿箱一侧固定连接。

4、优选的，所述遮挡板的一侧固定安装有辅助环，所述辅助环为橡胶环，且辅助环远离遮挡板的一端与排湿箱表面活动连接。

5、优选的，若干个所述传输带的一端活动安装有分料传输架，所述分料传输架的一端固定连接有入料架。

6、优选的，所述分料传输架的内壁转动安装有若干个输送杆，若干个所述输送杆均匀的分布在分料传输架内壁，所述入料架的内壁转动连接有若干个转向滚轮。

7、综上所述，本申请包括以下有益技术效果：

8、1.通过将遮挡板借助转动架安装在排湿箱表面，遮挡板的两端均安装有伸缩杆，伸缩杆借助转动块与排湿箱一侧连接，以便于借助伸缩杆控制遮挡板旋转，利用遮挡板对排湿箱的两端进行遮挡，有效保持排湿箱内壁温度的平衡，遮挡板的一端安装有橡胶材质的辅助环，以便于借助辅助环提升遮挡板与排湿箱之间的密封性，提升装置的使用效果；相较于现有技术，有效减少外界环境对排湿箱内温度的影响；

9、2.还可以在若干个传输带一端安装分料传输架，分料传输架的一端安装有入料架，以便于对多个烘干机进行物料运输，有效提升光刻胶的烘干效率，将转向滚轮安装在入料架内，且分料传输架顶部转动连接有若干个输送杆，以便于借助转向滚轮将待烘干的光刻胶推向空闲的烘干机处，并借助输送杆将光刻胶移动至传输带上端；有效提升了对烘干机的加工效率。

技术特征：

1.一种光刻胶生产用烘干装置，包括若干个烘干机(1)和转动架(5)，其特征在于：所述烘干机(1)的顶部传动安装有传输带(2)，所述传输带(2)的顶部固定连接有排湿箱(3)，所述转动架(5)的表面转动安装有遮挡板(4)，所述遮挡板(4)表面的尺寸规格与排湿箱(3)一端尺寸规格相适配，且遮挡板(4)的两端均转动连接有伸缩杆(6)，所述伸缩杆(6)远离遮挡板(4)的一端转动安装有转动块(7)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用烘干装置，其特征在于：所述转动架(5)的底端与排湿箱(3)顶部焊接，且遮挡板(4)的截面呈“l”字形结构，两个所述伸缩杆(6)以遮挡板(4)为轴对称分布，所述转动块(7)的一端与排湿箱(3)一侧固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用烘干装置，其特征在于：所述遮挡板(4)的一侧固定安装有辅助环(8)，所述辅助环(8)为橡胶环，且辅助环(8)远离遮挡板(4)的一端与排湿箱(3)表面活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用烘干装置，其特征在于：若干个所述传输带(2)的一端活动安装有分料传输架(9)，所述分料传输架(9)的一端固定连接有入料架(10)。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶生产用烘干装置，其特征在于：所述分料传输架(9)的内壁转动安装有若干个输送杆(12)，若干个所述输送杆(12)均匀的分布在分料传输架(9)内壁，所述入料架(10)的内壁转动连接有若干个转向滚轮(11)。

技术总结本申请涉及光刻胶烘干领域，且公开了一种光刻胶生产用烘干装置，包括若干个烘干机和转动架，所述烘干机的顶部传动安装有传输带，所述传输带的顶部固定连接有排湿箱，所述转动架的表面转动安装有遮挡板，所述遮挡板表面的尺寸规格与排湿箱一端尺寸规格相适配，且遮挡板的两端均转动连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离遮挡板的一端转动安装有转动块，所述转动架的底端与排湿箱顶部焊接；本申请通过将遮挡板借助转动架安装在排湿箱表面，遮挡板的两端均安装有伸缩杆，伸缩杆借助转动块与排湿箱一侧连接，以便于借助伸缩杆控制遮挡板旋转，利用遮挡板对排湿箱的两端进行遮挡，有效保持排湿箱内壁温度的平衡。技术研发人员：宋慧洁,赖桢岚,张同锦受保护的技术使用者：合肥汉旸科技材料有限公司技术研发日：20231121技术公布日：2024/7/11