一种立体热循环硅片烘干机的制作方法

本技术属于烘干设备相关，具体涉及一种立体热循环硅片烘干机。

背景技术：

1、立体热循环硅片烘干机是一种用于连续烘干硅片的专用设备，它采用了隧道式设计，通过输送带将硅片从一个端口输送到另一个端口，期间硅片会经历烘干过程，该设备的主要组成部分包括入口端口、烘干室、出口端口和热空气循环系统，立体热循环硅片烘干机的特点在于运行稳定、高效率、可以实现连续自动化烘干，适用于大规模生产环境，它通常与其他生产线的设备相连接，实现硅片的顺畅输送和连续烘干，提高生产效率和产品质量。

2、但是因为立体热循环硅片烘干机体积较大，大规模连续工作时可能会产生一定量的灰尘或杂质，如果长期不进行清洁，立体热循环硅片烘干机工作过程中会产生一定的震动，当硅片放上输送带进入烘干箱时，这些灰尘很容易被震动出来而吸附在硅片的表面上，导致硅片再次被污染，从而使硅片的质量下降或导致存在安全隐患。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种立体热循环硅片烘干机，以解决上述背景技术中提出的由于立体热循环硅片烘干机体积较大，大规模工作时可能会产生一定量的灰尘或杂质，立体热循环硅片烘干机工作过程中会产生一定的震动，当硅片放上输送带进入烘干箱时，这些灰尘很容易被震动出来而吸附在硅片的表面上，导致硅片再次被污染的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种立体热循环硅片烘干机，包括底座和侧挡板，所述底座上端前后两侧均设置有侧挡板，且两个侧挡板长度与底座的长度一致，两个所述侧挡板之间设置有硅片输送带，两个所述侧挡板之间等距设置有多个传动辊，且有多个传动辊两端的固定轴均通过轴承分别插接在两个侧挡板的内部，所述硅片输送带设置在多个传动辊的外部，两个所述侧挡板上端设置有烘干箱，所述烘干箱和两个侧挡板通过焊接固定连接，所述底座上端右侧设置有自清洁装置；

3、所述自清洁装置包括集成抽拉框、固定条板和毛刷板，所述集成抽拉框设置在底座右端顶部，且集成抽拉框位于硅片输送带的底部外壁下侧，所述集成抽拉框内部等距设置有多个固定条板，多个所述固定条板和集成抽拉框通过螺丝固定连接，多个所述固定条板顶部外壁上均设置有毛刷板，且固定条板和毛刷板通过螺丝固定连接。

4、优选的，所述自清洁装置还包括阻挡条和清洁软毛，所述阻挡条设置在集成抽拉框的左侧，且阻挡条通过多个螺丝固定在底座的顶部外壁上，所述集成抽拉框的右端外壁与底座的右端外壁平齐时，阻挡条与集成抽拉框贴合，所述毛刷板上端外壁上密布有清洁软毛。

5、优选的，所述底座底端四角处均设置有安放支架，四个所述安放支架底端均设置有安放脚杯，且四个安放脚杯底部均设置有橡胶脚垫。

6、优选的，所述烘干箱顶端外壁上等距设置多个鼓风机，且多个鼓风机大小形状结构均相同，所述烘干箱靠近右侧前端外壁上设置有控制盒。

7、优选的，所述烘干箱最下侧前端外壁自左向右等距设置有多个循环出风口，且循环出风口与烘干箱内部连通，所述烘干箱左右两端开口处内部均设置有挡风帘。

8、优选的，所述烘干箱靠近顶端内部水平设置有电热框架，所述电热框架最外侧顶部外壁上等距设置有多个吊架，且多个吊架的顶部均通过螺丝与烘干箱的顶部内壁固定连接，所述电热框架内部等距设置有多个电热丝。

9、与现有技术相比，本实用新型提供了一种立体热循环硅片烘干机，具备以下有益效果：

10、本实用新型通过在立体热循环硅片烘干机的底座上端增加一个新型的自清洁装置，通过立体热循环硅片烘干机设备上的硅片输送带自左向右的运作，会带动自清洁装置上毛刷板外壁上的清洁软毛扫动，因为清洁软毛与硅片输送带底端外壁有接触，这样来回扫动可以及时清除掉硅片输送带上的一些灰尘和杂质，使得硅片输送带一直能保持干净，避免因为时间久了硅片输送带在运输或者工作震动时产生的灰尘污染到硅片，确保硅片的清洁度和质量。

技术特征：

1.一种立体热循环硅片烘干机，包括底座(5)和侧挡板(3)，其特征在于：所述底座(5)上端前后两侧均设置有侧挡板(3)，且两个侧挡板(3)长度与底座(5)的长度一致，两个所述侧挡板(3)之间设置有硅片输送带(6)，两个所述侧挡板(3)之间等距设置有多个传动辊，且有多个传动辊两端的固定轴均通过轴承分别插接在两个侧挡板(3)的内部，所述硅片输送带(6)设置在多个传动辊的外部，两个所述侧挡板(3)上端设置有烘干箱(7)，所述烘干箱(7)和两个侧挡板(3)通过焊接固定连接，所述底座(5)上端右侧设置有自清洁装置(11)；

2.根据权利要求1所述的一种立体热循环硅片烘干机，其特征在于：所述自清洁装置(11)还包括阻挡条(15)和清洁软毛(19)，所述阻挡条(15)设置在集成抽拉框(16)的左侧，且阻挡条(15)通过多个螺丝固定在底座(5)的顶部外壁上，所述集成抽拉框(16)的右端外壁与底座(5)的右端外壁平齐时，阻挡条(15)与集成抽拉框(16)贴合，所述毛刷板(18)上端外壁上密布有清洁软毛(19)。

3.根据权利要求1所述的一种立体热循环硅片烘干机，其特征在于：所述底座(5)底端四角处均设置有安放支架(1)，四个所述安放支架(1)底端均设置有安放脚杯(2)，且四个安放脚杯(2)底部均设置有橡胶脚垫。

4.根据权利要求1所述的一种立体热循环硅片烘干机，其特征在于：所述烘干箱(7)顶端外壁上等距设置多个鼓风机(8)，且多个鼓风机(8)大小形状结构均相同，所述烘干箱(7)靠近右侧前端外壁上设置有控制盒(9)。

5.根据权利要求4所述的一种立体热循环硅片烘干机，其特征在于：所述烘干箱(7)最下侧前端外壁自左向右等距设置有多个循环出风口(4)，且循环出风口(4)与烘干箱(7)内部连通，所述烘干箱(7)左右两端开口处内部均设置有挡风帘(10)。

6.根据权利要求5所述的一种立体热循环硅片烘干机，其特征在于：所述烘干箱(7)靠近顶端内部水平设置有电热框架(12)，所述电热框架(12)最外侧顶部外壁上等距设置有多个吊架(14)，且多个吊架(14)的顶部均通过螺丝与烘干箱(7)的顶部内壁固定连接，所述电热框架(12)内部等距设置有多个电热丝(13)。

技术总结本技术公开了一种立体热循环硅片烘干机，包括底座和侧挡板，所述底座上端前后两侧均设置有侧挡板，且两个侧挡板长度与底座的长度一致，两个所述侧挡板之间设置有硅片输送带，通过在立体热循环硅片烘干机的底座上端增加一个新型的自清洁装置，通过立体热循环硅片烘干机设备上的硅片输送带自左向右的运作，会带动自清洁装置上毛刷板外壁上的清洁软毛扫动，因为清洁软毛与硅片输送带底端外壁有接触，这样来回扫动可以及时清除掉硅片输送带上的一些灰尘和杂质，使得硅片输送带一直能保持干净，避免因为时间久了硅片输送带在运输或者工作震动时产生的灰尘污染到硅片，确保硅片的清洁度和质量。技术研发人员：邹文龙,谢海洋,解士超,王立欢,李慧超,张力峰受保护的技术使用者：苏州晶樱光电科技有限公司技术研发日：20231026技术公布日：2024/7/18