一种用于负性光刻胶制备的过滤器的制作方法

本技术涉及光刻胶过滤器，具体为一种用于负性光刻胶制备的过滤器。

背景技术：

1、负性光刻胶又称光致抗蚀剂，是一种由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。

2、在负性光刻胶的生产过程中，需要过滤出光刻胶内含有的颗粒，使得光刻胶达到使用标准，而含有颗粒的光刻胶在通过过滤器内的滤网时，会将颗粒留在滤网表面，一段时间的过滤就容易导致滤网堵塞，影响过滤效率，而通常滤网清理较为麻烦，频繁清理滤网会影响制备效率。为此我们提出一种用于负性光刻胶制备的过滤器。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于负性光刻胶制备的过滤器，以解决上述背景技术提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于负性光刻胶制备的过滤器，包括光刻胶筒，所述光刻胶筒底部安装有支撑座，所述光刻胶筒内侧转动贯穿安装有第一过滤筒，所述支撑座一侧设置有用于带动第一过滤筒运动的驱动组件，所述第一过滤筒底部转动安装有转动盘，所述转动盘表面安装有密封垫，所述第一过滤筒内侧设置有与密封垫抵触的第二过滤筒；

3、所述第二过滤筒外侧固定安装有连接杆，所述连接杆一端固定安装有刮板，所述刮板与第一过滤筒外侧抵触，所述刮板一侧开设有凹槽，所述刮板一侧固定安装有插板，所述光刻胶筒外侧焊接有数量与插板数量一致的u形限位板，所述插板穿过u形限位板内侧，所述u形限位板一侧设置有与插板抵触的摩擦组件。

4、优选的，所述驱动组件包括电机，所述电机通过螺栓安装在支撑座一侧，所述电机输出端与第一过滤筒底部中心位置固定。

5、优选的，所述第一过滤筒位于光刻胶筒内侧的部分呈镂空设计。

6、优选的，所述密封垫采用橡胶材质所制，所述密封垫粘接在转动盘顶面。

7、优选的，所述第二过滤筒呈镂空设计。

8、优选的，所述摩擦组件包括螺纹杆，所述螺纹杆螺纹贯穿u形限位板，所述螺纹杆一端与插板一侧抵触，所述螺纹杆一端固定安装有旋钮。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、1.该用于负性光刻胶制备的过滤器，通过打开电机的开关，带动第一过滤筒整体转动，第一过滤筒外壁留存的颗粒被刮板刮除，颗粒进入凹槽内侧并沿着凹槽向下，刮除的颗粒聚集在一起，而不会分散附着在第一过滤筒表面，从而保证第一过滤筒的过滤效率能够维持在较高水平。

11、2.该用于负性光刻胶制备的过滤器，将负性光刻胶注入光刻胶筒内侧，此时第一过滤筒能够对光刻胶进行过滤，过滤出的颗粒留存在第一过滤筒外壁表面，进入第一过滤筒内的光刻胶受到第二过滤筒的再过滤，有效防止光刻胶内留存颗粒影响后续加工工作，通过管道抽出进入第二过滤筒内侧的光刻胶即可完成过滤工作。

技术特征：

1.一种用于负性光刻胶制备的过滤器，包括光刻胶筒(1)，其特征在于：所述光刻胶筒(1)底部安装有支撑座(2)，所述光刻胶筒(1)内侧转动贯穿安装有第一过滤筒(4)，所述支撑座(2)一侧设置有用于带动第一过滤筒(4)运动的驱动组件，所述第一过滤筒(4)底部转动安装有转动盘(5)，所述转动盘(5)表面安装有密封垫(6)，所述第一过滤筒(4)内侧设置有与密封垫(6)抵触的第二过滤筒(7)；

2.根据权利要求1所述的一种用于负性光刻胶制备的过滤器，其特征在于：所述驱动组件包括电机(3)，所述电机(3)通过螺栓安装在支撑座(2)一侧，所述电机(3)输出端与第一过滤筒(4)底部中心位置固定。

3.根据权利要求1所述的一种用于负性光刻胶制备的过滤器，其特征在于：所述第一过滤筒(4)位于光刻胶筒(1)内侧的部分呈镂空设计。

4.根据权利要求1所述的一种用于负性光刻胶制备的过滤器，其特征在于：所述密封垫(6)采用橡胶材质所制，所述密封垫(6)粘接在转动盘(5)顶面。

5.根据权利要求1所述的一种用于负性光刻胶制备的过滤器，其特征在于：所述第二过滤筒(7)呈镂空设计。

6.根据权利要求1所述的一种用于负性光刻胶制备的过滤器，其特征在于：所述摩擦组件包括螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)螺纹贯穿u形限位板(11)，所述螺纹杆(13)一端与插板(12)一侧抵触，所述螺纹杆(13)一端固定安装有旋钮(14)。

技术总结本技术公开一种用于负性光刻胶制备的过滤器，包括光刻胶筒，所述光刻胶筒底部安装有支撑座，所述光刻胶筒内侧转动贯穿安装有第一过滤筒，所述支撑座一侧设置有用于带动第一过滤筒运动的驱动组件，所述第一过滤筒底部转动安装有转动盘，所述转动盘表面安装有密封垫，所述第一过滤筒内侧设置有与密封垫抵触的第二过滤筒，所述第二过滤筒外侧固定安装有连接杆，所述连接杆一端固定安装有刮板，所述刮板与第一过滤筒外侧抵触。本技术通过第一过滤筒和第二过滤筒的双重过滤效果，确保负性光刻胶符合生产需求，第一过滤筒转动时刮板对第一过滤筒外侧有刮动效果，能够在过滤时清理第一过滤筒外侧，保证第一过滤筒的过滤效果。技术研发人员：朱海盛,梁坤,池金龙,杨三保受保护的技术使用者：眉山晶瑞电子材料有限公司技术研发日：20231128技术公布日：2024/7/23