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清理头控制系统及清扫机器人的制作方法

  • 国知局
  • 2024-07-29 12:48:42

本发明涉及单晶硅生产设备,特别是涉及一种用于对单晶炉进行清理的清理头控制系统及清扫机器人。

背景技术:

1、现有的单晶炉的中心悬吊钨丝绳,如果使用清扫设备对单晶炉的内壁进行清理,就必须将钨丝绳穿过清扫设备的中心,而由于钨丝绳的底部通常悬吊有重锤,如果不拆卸重锤就需要将清扫设备的中心孔的尺寸设计成比重锤更大,导致清扫设备的设计成本增高,而实际上由于重锤尺寸通常远超过清扫设备的设计空间,也就导致这个方案很难实现;而如果拆卸重锤之后,将钨丝绳的绳头穿过清扫设备的中心,则必然导致清扫准备时间的增多,工作效率低,并且由于清扫设备需要通过钨丝绳的底部向上提升,从而也需要将单晶炉的高度提升,以预留空间给清扫设备。

技术实现思路

1、本发明实施例所要解决的技术问题在于,提供一种清理头控制系统及清扫机器人,通过摆动而不是转动的方式对单晶炉的内壁进行清理,能够在摆动的过程中使微粒掉落,避免颗粒积累在无纺布的缝隙中对单晶炉内壁带来摩擦。

2、为了解决上述技术问题,本发明提供了一种清扫机器人,包括清理头控制系统和辊轮支撑行走系统,清理头控制系统安装在辊轮支撑行走系统的上固定板上,清理头控制系统和辊轮支撑行走系统的中心具有上下贯通的中心孔,清理头控制系统和辊轮支撑行走系统的侧方设有竖直向下、连通到中心孔的缺口。

3、清理头控制系统包括摆动板、第二驱动电机、转动块、盖环、驱动组件和两组清理头组件,所述摆动板的中心开孔,并转动地安装在所述上固定板上,所述第二驱动电机固定连接在所述上固定板的下面;所述摆动板上设有指向中心的驱动槽,所述第二驱动电机驱动所述转动块转动,使转动块端部的转柱能够在所述驱动槽内滑动,进而带动所述摆动板摆动,所述盖环连接在所述上固定板的中心孔上,使所述摆动板被所述盖环和所述上固定板夹持;其中,所述摆动板、所述上固定板、所述盖环的同一个方位设有所述缺口,所述缺口连通到所述盖环、所述上固定板、所述摆动板的中心孔中;所述清理头组件滑动连接在所述摆动板上,并且两组清理头组件之间的对接位置与所述缺口的方位相对应,并且两组清理头组件的对接位置保留一不小于缺口大小的间隙。

4、以所述第二驱动电机的输出轴为中心,以所述转动块为半径,在所述驱动槽所在位置的摆动板的下面设有圆形的容纳腔;对应地,所述驱动槽的长度等于所述容纳腔的直径。

5、在所述盖环的上面还安装有检测装置,用于检测上方的障碍物的距离。

6、所述摆动板的下面围绕中心孔设有向下凸伸的环形台。

7、所述清理头组件,包括呈半圆形的清理头、导轨、滑块,其中所述导轨固定连接在所述摆动板的上面,所述滑块滑动连接在所述导轨上,所述清理头固定连接在所述滑块上;

8、两组清理头组件的导轨呈直线或平行,所述驱动组件驱动两个清理头组件的滑块沿着导轨相向运动。

9、所述驱动组件包括第三驱动电机和伸缩杆,所述第三驱动电机控制两侧的伸缩杆进行伸缩运动,所述伸缩杆用于连接到滑块上,进而驱动滑块动作。

10、每组清理头组件的导轨为两个平行布置,并且所述滑块为双滑块结构。

11、所述驱动组件位于与缺口相反的方向,所述导轨避让所述缺口,并且所述驱动组件位于中心孔的外侧。

12、本实施例提供的清理头控制系统,通过缺口以及清理头组件的结构布置,使钨丝绳能够通过两个清理头组件之间的间隙以及侧方的缺口进入到中心孔中。同时,通过摆动而不是转动的方式对单晶炉的内壁进行清理,能够在摆动的过程中使微粒掉落,避免颗粒积累在无纺布的缝隙中对单晶炉内壁带来摩擦。

技术特征:

1.清理头控制系统,其特征在于,包括摆动板、第二驱动电机、转动块、盖环、驱动组件和两组清理头组件,所述摆动板的中心开孔,并转动地安装在所述上固定板上,所述第二驱动电机固定连接在所述上固定板的下面;所述摆动板上设有指向中心的驱动槽,所述第二驱动电机驱动所述转动块转动,使转动块端部的转柱能够在所述驱动槽内滑动,进而带动所述摆动板摆动,所述盖环连接在所述上固定板的中心孔上,使所述摆动板被所述盖环和所述上固定板夹持;其中,所述摆动板、所述上固定板、所述盖环的同一个方位设有所述缺口,所述缺口连通到所述盖环、所述上固定板、所述摆动板的中心孔中;所述清理头组件滑动连接在所述摆动板上,并且两组清理头组件之间的对接位置与所述缺口的方位相对应,并且两组清理头组件的对接位置保留一不小于缺口大小的间隙。

2.根据权利要求1所述的清理头控制系统,其特征在于,

3.根据权利要求1所述的清理头控制系统,其特征在于,

4.根据权利要求1所述的清理头控制系统,其特征在于,

5.根据权利要求1所述的清理头控制系统,其特征在于,

6.根据权利要求5所述的清理头控制系统,其特征在于,

7.根据权利要求1所述的清理头控制系统,其特征在于,

8.根据权利要求1所述的清理头控制系统,其特征在于,

9.一种清扫机器人,其特征在于,包括权利要求1-8任一项所述的清理头控制系统。

技术总结本发明提供的清理头控制系统包括摆动板、第二驱动电机、转动块、盖环、驱动组件和两组清理头组件,所述摆动板的中心开孔,并转动地安装在所述上固定板上,所述第二驱动电机固定连接在所述上固定板的下面。本实施例提供的清理头控制系统,通过缺口以及清理头组件的结构布置,使钨丝绳能够通过两个清理头组件之间的间隙以及侧方的缺口进入到中心孔中。同时,通过摆动而不是转动的方式对单晶炉的内壁进行清理,能够在摆动的过程中使微粒掉落,避免颗粒积累在无纺布的缝隙中对单晶炉内壁带来摩擦。本发明同时提供清扫机器人。技术研发人员:刘尊玲,王一烽,刘尊玄受保护的技术使用者:无锡上京精密科技有限公司技术研发日:技术公布日:2024/7/15

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