一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机的制作方法

本发明涉及节能型精密冷水机，尤其涉及一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机。

背景技术：

1、目前，在半导体生产工艺中，芯片的制造过程可概分为晶圆处理工序(waferfabrication)、晶圆针测工序(wafer probe)、构装工序(packaging)、测试工序(initialtest and final test)等几个步骤。其中晶圆处理工序和晶圆针测工序为前段(frontend)工序，而构装工序、测试工序为后段(back end)工序。

2、晶圆处理工序的一般基本步骤是，先将晶圆适当清洗，再在其表面进行氧化及化学气相沉积，然后进行涂膜、曝光、显影、蚀刻、离子植入、金属溅镀等反复步骤，最终在晶圆上完成数层电路及元件加工与制作。

3、清洗过程中，需要严格控制清洗液的温度、涂胶工序中更要严格控制光刻胶的温度，热盘、冷盘温度也需要严格控制，等等，离不开冷水机流体温度控制，这些工艺条件直接影响晶圆良品率。

4、其次，制造工厂也越来越重视设备长期运行的能耗问题，而节能型配套设备是客户青睐的。

技术实现思路

1、发明的目的：为了提供效果更好的一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机，具体目的见具体实施部分的多个实质技术效果。

2、为了达到如上目的，本发明采取如下技术方案：

3、一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机，其特征在于，

4、节能型精密冷水机的厂务端冷却水进水端分为两部分，一部分通过手动截止阀一3和冷却自控阀一2连接着冷却单元1，另一部分通过手动截止阀二5和冷却自控阀二4接入预冷却单元6；

5、预冷却单元6连接着集液器8；

6、预冷却单元6连接着水箱10；冷却单元1连接着水箱10中的泵送单元11；

7、冷却单元1还伸出有厂务端出水端；

8、冷却单元1还连接着分液器16，水箱10通过管道上的手动回流截止阀13连接着分液器16；

9、分液器16中布置有加热单元13；冷却单元1和分液器16之间布置有流量监测单元12。

10、本发明进一步技术方案在于，该设备为整体式结构，依靠所述的厂务端的冷却水为冷源；对来自客户端的冷冻水进行预冷却、泵送、冷却、加热及分配到去客户端的通路上，各通路流量可调节，适应各通路的要求

11、本发明进一步技术方案在于，从客户端返回的热的冷冻水进入该设备的预冷换热器换热后，顺次进入水箱中，依靠水泵增压送往冷却换热器中继续冷却，随后进入带加热器的分液器中，经过控制系统的逻辑运算，以设定的出口温度为控制温度，系统自适应调节加热器加热量的输出，满足出口温度的控制要求。

12、本发明进一步技术方案在于，预冷却单元6包括至少一个热交换器，热交换器管内一侧流动的是厂务pcw，管内另一侧流动的是来自集液器的热的冷冻水，二者发生冷热交换，使热的冷冻水得到初步冷却，并进入保温水箱中。

13、本发明进一步技术方案在于，泵送单元11包括至少一个水泵，一个保温水箱，输送初步冷却的冷冻水进入冷却单元中。

14、本发明进一步技术方案在于，冷却单元1包括至少一个热交换器，热交换器管内一侧流动的是厂务pcw，管内另一侧流动的是来自保温水箱的冷冻水，二者发生冷热交换，使较热的冷冻水得到更进一步冷却，并进入分液器中。

15、本发明进一步技术方案在于，分液器16内置有一个监控温度sensor。

16、本发明进一步技术方案在于，冷却自控阀一2和冷却自控阀二4由一个pid控制器独立控制，控制器接受控制及显示单元的统一协调指挥；在控制及显示单元上设定一个目标温度值时，控制器可自动控制分配阀协同工作，使实时温度值趋近目标值，并在允许的精度范围内。

17、采用如上技术方案的本发明，相对于现有技术有如下有益效果：与现有技术相比较，该发明的有益成果是，

18、(一)，该设备极大地有效利用了工厂集中供应的厂务端的冷却水量，节约了资源；

19、(二)，也提高了恒温恒输出的温度稳定性；

20、(三)，同时省略了小型制冷机组，为客户节约了采购成本。

技术特征：

1.一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机，其特征在于，

2.如权利要求1所述的一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机，其特征在于，该设备为整体式结构，依靠所述的厂务端的冷却水为冷源；对来自客户端的冷冻水进行预冷却、泵送、冷却、加热及分配到去客户端的通路上，各通路流量可调节，适应各通路的要求。

3.如权利要求1所述的一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机，其特征在于，从客户端返回的热的冷冻水进入该设备的预冷换热器换热后，顺次进入水箱中，依靠水泵增压送往冷却换热器中继续冷却，随后进入带加热器的分液器中，经过控制系统的逻辑运算，以设定的出口温度为控制温度，系统自适应调节加热器加热量的输出，满足出口温度的控制要求。

4.如权利要求1所述的一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机，其特征在于，预冷却单元(6)包括至少一个热交换器，热交换器管内一侧流动的是厂务pcw，管内另一侧流动的是来自集液器的热的冷冻水，二者发生冷热交换，使热的冷冻水得到初步冷却，并进入保温水箱中。

5.如权利要求1所述的一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机，其特征在于，泵送单元(11)包括至少一个水泵，一个保温水箱，输送初步冷却的冷冻水进入冷却单元中。

6.如权利要求1所述的一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机，其特征在于，冷却单元(1)包括至少一个热交换器，热交换器管内一侧流动的是厂务pcw，管内另一侧流动的是来自保温水箱的冷冻水，二者发生冷热交换，使较热的冷冻水得到更进一步冷却，并进入分液器中。

7.如权利要求1所述的一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机，其特征在于，分液器(16)内置有一个监控温度sensor。

8.如权利要求1所述的一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机，其特征在于，冷却自控阀一(2)和冷却自控阀二(4)由一个pid控制器独立控制，控制器接受控制及显示单元的统一协调指挥；在控制及显示单元上设定一个目标温度值时，控制器可自动控制分配阀协同工作，使实时温度值趋近目标值，并在允许的精度范围内。

技术总结本发明涉及节能型精密冷水机，尤其涉及一种利用厂务冷却水的节能型精密冷水机。节能型精密冷水机的厂务端冷却水进水端分为两部分，一部分通过手动截止阀一(3)和冷却自控阀一(2)连接着冷却单元(1)，另一部分通过手动截止阀二(5)和冷却自控阀二(4)接入预冷却单元(6)；预冷却单元(6)连接着集液器(8)；预冷却单元(6)连接着水箱(10)；冷却单元(1)连接着水箱(10)中的泵送单元(11)；冷却单元(1)还伸出有厂务端出水端；冷却单元(1)还连接着分液器(16)，水箱(10)通过管道上的手动回流截止阀(13)连接着分液器(16)；分液器(16)中布置有加热单元(13)；冷却单元(1)和分液器(16)之间布置有流量监测单元(12)。技术研发人员：党忠会,李超受保护的技术使用者：西安稳能微电子科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/5/27