一种浮动恒压装置及超声波探头的制作方法

本技术属于ito圆筒靶材加工设备，涉及一种浮动恒压装置及超声波探头。

背景技术：

1、由于氧化铟锡薄膜具有透明、导电、可蚀刻加工、与基片的贴合性好、平面性等优点。被广泛用于显示装置用透明电极、太阳能电池的视窗材料及防静电导电膜。

2、现有技术中，可采用板上增稠膜成膜的方式制作氧化铟锡薄膜。此方法制作过程中，需要将圆筒靶材与金属背管组合。在使用圆筒靶材与金属背管组合绑定的过程中，传统工艺通过人工使用金属毛刷对液态铟进行粉刷，实现均匀涂布均匀。为了提高生产效率，引入了超声波探头。

3、但是实际使用过程中，由于金属背管的形状尺寸精度及机床的精度问题等原因，导致金属背管在旋转涂布时会发生径向跳动，而超声波探头采用固定的方式安装，由于超声波探头是一种比较脆弱的精密仪器，接触压力过载容易损伤甚至损坏超声波探头。

技术实现思路

1、本实用新型要解决的技术问题在于：针对背景技术中提出的技术问题，提供一种浮动恒压装置及超声波探头，能够在金属背管发生径向跳动时，带动超声波探头沿径向方向浮动，避免超声波探头损伤或者损坏。

2、本实用新型提出的技术方案为：

3、第一方面，本实用新型提供一种浮动恒压装置，包括：

4、安装板；

5、导向件和浮动块，导向件设置在安装板上，浮动块可在导向件的导向下沿竖直方向上下移动；

6、稳压装置，稳压装置为浮动块提供拉力。

7、可选的，所述导向件为直线导轨，所述浮动块为滑块，滑块滑动连接在直线导轨上。

8、可选的，所述稳压装置包括：

9、气缸，气缸固定在安装板上，气缸的输出端与浮动块固定连接，气缸具有第一接口和第二接口；气源接入第一接口后，气缸的输出端向气缸内移动；气源接入第二接口后，气缸的输出端向气缸外移动；

10、第一气管，气源的压缩气体通过第一气管接入第一接口。

11、可选的，所述稳压装置还包括：

12、第一稳压控制器，所述第一稳压控制器设置在第一气管上。

13、可选的，所述稳压装置还包括：

14、第二气管，气源的压缩气体通过第二气管接入第二接口；

15、第二稳压控制器，所述第二稳压控制器设置在第二气管上。

16、可选的，所述稳压装置还包括：

17、至少一个第三气管，第三气管连接在第一接口和/或第二接口上；

18、第三稳压控制器，所述第三稳压控制器设置在第三气管上。

19、可选的，所述第一稳压控制器为气动比例阀，浮动块的一侧固定设有压力传感器。

20、第二方面，本实用新型还提供一种超声波探头，包括：

21、第一方面所述的浮动恒压装置；

22、安装支架，安装支架相对浮动块固定；

23、超声波发生器，超声波发生器固定在安装支架上；

24、涂布探头，涂布探头固定在超声波发生器的输出端上。

25、可选的，还包括：

26、工作台，所述安装板滑动安装在工作台上。

27、可选的，所述工作台为气动滑台。

28、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

29、本实用新型能够在金属背管发生径向跳动时，通过浮动块在导向件上滑动，带动超声波探头移动，避免超声波探头损伤或者损坏。

技术特征：

1.一种浮动恒压装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的浮动恒压装置，其特征在于，所述导向件（2）为直线导轨，所述浮动块（3）为滑块，滑块滑动连接在直线导轨上。

3.根据权利要求1所述的浮动恒压装置，其特征在于，所述稳压装置包括：

4.根据权利要求3所述的浮动恒压装置，其特征在于，所述稳压装置还包括：

5.根据权利要求4所述的浮动恒压装置，其特征在于，所述稳压装置还包括：

6.根据权利要求3-5中任意一项所述的浮动恒压装置，其特征在于，所述稳压装置还包括：

7.根据权利要求4所述的浮动恒压装置，其特征在于，所述第一稳压控制器（9）为气动比例阀，浮动块（3）的一侧固定设有压力传感器（4）。

8.一种超声波探头，其特征在于，包括：

9.根据权利要求8所述的超声波探头，其特征在于，还包括：

10.根据权利要求9所述的超声波探头，其特征在于，所述工作台（17）为气动滑台。

技术总结本技术属于ITO圆筒靶材加工设备技术领域，涉及一种浮动恒压装置及超声波探头。浮动恒压装置包括：安装板；导向件和浮动块，导向件设置在安装板上，浮动块可在导向件的导向下沿竖直方向上下移动；稳压装置，稳压装置为浮动块提供拉力。本技术能够在金属背管发生径向跳动时，通过浮动块在导向件上滑动，带动超声波探头移动，避免超声波探头损伤或者损坏。技术研发人员：林宇鹏,赖家俊,潘建坤,郭庆生,裴炜炀,李远清,陈志杰受保护的技术使用者：先导薄膜材料（广东）有限公司技术研发日：20231110技术公布日：2024/7/23