电解抛光设备的制作方法

本发明是有关于一种电解抛光设备，其可有效提高电解抛光的便利性及效率。

背景技术：

1、精密机械及光学工业中经常会使用到抛光技术，经过抛光的工件表面会呈现光滑并具有良好的反射效果。一般而言，对工件进行抛光制程通常是为了提高工件使用的安全性、美观或效能，例如经过抛光的工件可避免使用者接触不平整的表面而受伤，并有利于提高工件的美观及方便清洁。在半导体制程中亦会进行抛光制程，以去除先前的制程前所留下的缺陷，并提高晶圆的平坦度，让微粒子不易附着。

2、传统的抛光通常是指利用物理研磨的方式降低物体表面粗糙度的工艺，通常是利用细小且坚硬的颗粒物质在工件表面高速摩耗，以在工件上形成光滑的表面。

3、相较于传统的物理抛光，电解抛光的抛光能力较佳、具有高洁净度、适用于抛光软质材料及特殊形状的工件，更可进一步在工件表面形成钝化层，因而被广泛运用在半导体制程及半导体制程设备的清洁加工上。在电解抛光时主要将抛光的工件放置于阳极，将不溶性金属放置在阴极，并将工件及不溶性金属同时浸入电解槽的电解液中，而后对两者施加直流偏压，使得放置在阳极的工件表面溶解，进而在工件形成光滑且平整的表面。

4、然而半导体机台的体积通常较为庞大，往往无法整个浸入电解槽的电解液中并进行电解抛光。通常只能过人工拿着通电的刷子反复沾电解液，并将电解液涂刷在半导体机台的表面，以对半导体机台进行电解抛光，不仅在使用上较不方便，亦不利于提高电解抛光的效率。

5、另外，在进行电解抛光一段时间后，累积在刷子及半导体机台表面的电解液的温度会不断上升，电解抛光后产生的物质亦会残留在机台的表面，而不利于控制抛光的速率。

技术实现思路

1、为此，本发明的目的是在于提供一种新颖的电解抛光设备，可持续将电解液喷洒在工件的表面，并对工件的表面进行电解抛光。本发明所述的电解抛光设备特别适用于对大型或固定式的设备进行电解抛光，且在电解抛光的过程中不需要反复沾电解液，可有效提高电解抛光的便利性及效率。

2、为了达到上述的目的，本发明提供一种电解抛光设备，包括：一壳体，包括一容置空间，用以容置一电解液；至少一输入通道，设置在该壳体上，并连接该容置空间，其中该电解液由该输入通道进入该壳体的该容置空间；至少一输出通道，设置在该壳体上，并连接该容置空间，其中该容置空间的该电解液由该输出通道离开；及至少一第一电极，连接该壳体，并用以对该容置空间内的该电解液通电。

3、本发明至少一实施例的电解抛光设备，其中该壳体包括一底座及一盖体，该盖体连接该底座并在两者之间形成该容置空间。

4、本发明至少一实施例的电解抛光设备，其中该输入通道设置在该壳体的该底座，而该输出通道则设置在该壳体的该盖体。

5、本发明至少一实施例的电解抛光设备，其中该输入通道的数量小于该输出通道的数量。

6、本发明至少一实施例的电解抛光设备，其中该输入通道的管径大于该输出通道。

7、本发明至少一实施例的电解抛光设备，包括至少一刷毛设置在该壳体的一外表面。

8、本发明至少一实施例的电解抛光设备，包括至少一轮体连接该壳体。

9、本发明至少一实施例的电解抛光设备，包括至少一o形环套设在轮体上。

10、本发明至少一实施例的电解抛光设备，包括一杆体通过一连接轴连接该壳体，使得该杆体及该壳体可相对转动及角度变换。

11、本发明至少一实施例的电解抛光设备，其中该输出通道输出的该电解液涂布在一工件的表面，且该工件连接至少一第二电极。

12、本发明至少一实施例的电解抛光设备，包括至少一输送管分别连接该至少一输入通道，该电解液经由该输送管及该输入通道输送至该壳体的该容置空间。

13、本发明电解抛光设备至少有以下优点：电解抛光设备可由壳体上的输出管线将电解液输送至工件的表面，并对工件的表面进行电解抛光。在抛光的过程中不需要以刷子沾电解液，可大幅提高使用时的便利性及电解抛光的效率。

14、本发明所述的电解抛光设备对工件进行电解抛光时，工件表面上的电解液会呈现流动的状态，可避免累积在工件表面的电解液的温度过高，并有利于控制或维持电解抛光的速率。此外，流动的电解液更有利于带走电解抛光过程中产生的物质。

技术特征：

1.一种电解抛光设备，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的电解抛光设备，其特征在于，该壳体包括一底座及一盖体，该盖体连接该底座并在两者之间形成该容置空间。

3.如权利要求2所述的电解抛光设备，其特征在于，该输入通道设置在该壳体的该底座，而该输出通道则设置在该壳体的该盖体。

4.如权利要求1所述的电解抛光设备，其特征在于，该输入通道的数量小于或等于该输出通道的数量。

5.如权利要求4所述的电解抛光设备，其特征在于，该输入通道的管径大于该输出通道的管径。

6.如权利要求1所述的电解抛光设备，其特征在于，包括至少一刷毛设置在该壳体的一外表面。

7.如权利要求6所述的电解抛光设备，其特征在于，包括至少一轮体连接该壳体。

8.如权利要求7所述的电解抛光设备，其特征在于，包括一杆体通过一连接轴连接该壳体，使得该杆体及该壳体能够相对转动。

9.如权利要求7所述的电解抛光设备，其特征在于，包括至少一o形环套设在该轮体上。

10.如权利要求1所述的电解抛光设备，其特征在于，该输出通道输出的该电解液涂布在一工件的表面，且该工件连接至少一第二电极。

11.如权利要求1所述的电解抛光设备，其特征在于，包括至少一输送管分别连接该至少一输入通道，该电解液经由该输送管及该输入通道输送至该壳体的该容置空间。

技术总结本发明公开一种电解抛光设备，包括一壳体、至少一输入通道、至少一输出通道及至少一第一电极。壳体包括一容置空间用以容置一电解液，输入通道及输出通道设置在壳体上，并连接容置空间，其中电解液由输入通道进入容置空间，并由输出通道流出容置空间。第一电极连接壳体，并用以对电解液通电。电解抛光设备用以放置在一工件的表面，并通过输出通道流出的电解液对工件的表面进行电解抛光。使用的过程中不需要重复补充或沾电解液，可有效提高电解抛光的便利性及效率。技术研发人员：陈嘉朗受保护的技术使用者：陈嘉朗技术研发日：技术公布日：2024/4/17