一种电镀设备所用的防逆流装置和方法与流程
- 国知局
- 2024-07-27 11:52:20
本发明属于及水平电镀设备,涉及电镀设备所用的防逆流装置和方法。
背景技术:
1、在太阳能基板表面生成金属电极是生产太阳能电池流程中关键的一环,采用电镀工艺是在太阳能基板表面生成金属电极的方法之一。相对于物理沉积金属的工艺,或者丝网印刷工艺,电镀工艺不仅具有工艺简单,而且还具有可以选择性沉积金属的优点。因此电镀工艺的生产成本可以被控制的很低,从而可以大幅度降低生产晶体硅太阳能电池的成本。
2、专利cn117758347a公开了一体式水平电镀设备及一体式水平电镀方法,一体式水平电镀设备,包括电镀槽,电镀槽内间隔设置回收槽,电镀槽和回收槽内分别设置非导电滚轮和导电阴极滚轮,通过供液设备向电镀槽内喷涌电镀液,由于电镀槽内部各处均连通,使得电镀槽内电镀液各处液面齐平,保证基板底面电镀厚度足够,电镀厚度均匀,提高基板电镀效果。
3、但是该方法中,电镀槽内电镀液随着基板的移动而移转至导电阴极滚轮,从而在导电阴极滚轮上生成不必要的电镀层,影响基板的电镀效果。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种电镀设备所用的防逆流装置和方法,能解决上述的问题,从而可以避免在导电阴极滚轮上生成不必要的电镀层。
2、按照本发明提供的技术方案:一种电镀太阳能电池设备所用的防逆流装置,所述的防逆流装置中的电镀槽的溢流壁与导电阴极滚轮之间设有引流板,所述的引流板顶部高度不低于溢流壁顶部高度。
3、作为本发明的进一步改进,电镀槽内设有阳极,阳极及导电阴极滚轮连通电镀电源正负极;电镀槽连接进液管,进液管连接供液设备,供液设备通过进液管向电镀槽内泵送电镀液。
4、作为本发明的进一步改进,溢流壁顶部高度不高于导电阴极滚轮最高处。
5、作为本发明的进一步改进,引流板为竖直设置,引流板顶部高度不高于导电阴极滚轮最高处。
6、作为本发明的进一步改进,本装置还包括转动非导电滚轮,非导电滚轮转动设置于电镀槽;非导电滚轮和导电阴极滚轮顶部高度齐平。
7、作为本发明的进一步改进,电镀槽侧面顶部均布溢流缺口。
8、作为本发明的进一步改进,溢流缺口可以为v型缺口或者圆弧缺口。
9、一种电镀设备所用的防逆流方法,该方法使用如上所述中任一项装置,其特征在于,包括如下步骤:
10、步骤一:基板在导电阴极滚轮的带动下往电镀槽方向移动,基板的下表面首先接触到导电阴极滚轮,在电镀电源负极的作用下,基板的下表面相对于阳极就是电镀工艺中的阴极表面;当基板继续移动,基板的一部分进入电镀槽远端,供液设备通过进液管向电镀槽内输送电镀液;并使电镀液接触到基板的下表面;一旦电镀液接触到基板的下表面,在电镀液的表面张力作用下,电镀液就会迅速润湿在电镀槽上方的基板的下表面;
11、步骤二:在电镀液接触到基板下表面之后,在电镀电源的作用下,电镀液中的金属离子在基板下表面的导电面积上得到电子后生成固体金属,沉积在基板下表面的导电面积上;另一方面,在电镀槽中的阳极失去电子后溶解在电镀液中,从而在该系统内完成一个完整的电镀工艺的氧化还原反应;
12、步骤三:电镀槽内电镀液在表面张力的作用下沿着基板的下表面向电镀槽两侧的导电阴极滚轮溢流;溢流的电镀液遇到引流板后,在引流板的导向下沿着引流板向下流动,避免了电镀液流至导电阴极滚轮。
13、本申请的积极进步效果在于:
14、本发明可以避免了电镀液流至导电阴极滚轮,避免在导电阴极滚轮上发生电镀,提高了基板电镀质量,通过设置溢流缺口使电解液溢流均匀,保证基板底面电镀厚度足够,电镀厚度均匀,提高基板电镀效果。
技术特征:1.一种电镀太阳能电池设备所用的防逆流装置,其特征在于,所述的防逆流装置中的电镀槽(100)的溢流壁(110)与导电阴极滚轮(200)之间设有引流板(300),所述的引流板(300)顶部高度不低于溢流壁(110)顶部高度。
2.如权利要求1所述的电镀设备所用的防逆流装置,其特征在于,电镀槽(100)内设有阳极(600),阳极(600)及导电阴极滚轮(200)连通电镀电源正负极;电镀槽(100)连接进液管,进液管连接供液设备,供液设备通过进液管向电镀槽(100)内泵送电镀液。
3.如权利要求1所述的电镀设备所用的防逆流装置,其特征在于,溢流壁(110)顶部高度不高于导电阴极滚轮(200)最高处。
4.如权利要求1所述的电镀设备所用的防逆流装置,其特征在于,引流板(300)为竖直设置,引流板(300)顶部高度不高于导电阴极滚轮(200)最高处。
5.如权利要求1所述的电镀设备所用的防逆流装置,其特征在于,本装置还包括转动非导电滚轮(500),非导电滚轮(500)转动设置于电镀槽(100);非导电滚轮(500)和导电阴极滚轮(200)顶部高度齐平。
6.如权利要求1所述的电镀设备所用的防逆流装置,其特征在于,电镀槽(100)侧面顶部均布溢流缺口(120)。
7.如权利要求1所述的电镀设备所用的防逆流装置,其特征在于,溢流缺口(120)可以为v型缺口或者圆弧缺口。
8.一种电镀设备所用的防逆流方法,该方法使用如权利要求1-7所述中任一项装置,其特征在于,包括如下步骤:
技术总结本发明涉及一种电镀太阳能电池设备所用的防逆流装置和方法,所述的防逆流装置中的电镀槽的溢流壁与导电阴极滚轮之间设有引流板,所述的引流板顶部高度不低于溢流壁顶部高度,电镀槽内设有阳极,阳极及导电阴极滚轮连通电镀电源正负极;电镀槽连接进液管,进液管连接供液设备,供液设备通过进液管向电镀槽内泵送电镀液。本发明避免了电镀液流至导电阴极滚轮,从而可以避免在导电阴极滚轮表面发生电镀,提高了电镀质量。同时,通过设置溢流缺口使电解液溢流均匀,保证基板底面电镀厚度足够,电镀厚度均匀,提高基板电镀效果。技术研发人员:覃榆森,季静佳,陆一波,周国华受保护的技术使用者:江苏祥环科技有限公司技术研发日:技术公布日:2024/6/23本文地址:https://www.jishuxx.com/zhuanli/20240726/119919.html
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