纳米压印压模的制作方法

本申请案涉及纳米压印平版印刷术；更具体地来说，本申请案涉及在纳米压印平版印刷术中使用的压模(stamp)及其使用主模板压模的制造。压模的图案化层对应于将在纳米压印平版印刷术(nil)处理中形成的多个亚微米光学元件结构的图案。

背景技术：

1、通常通过提供如玻璃的背衬材料及在其上沉积将形成压模的图案化层的材料来制造用于纳米压印平版印刷术的压模。接着，将主模板压模手动施加到涂层背衬材料，这可能会导致气穴和其他问题。因此，本领域需要一种用于从主模板压模制造纳米压印平版印刷术压模的更稳健且可重复的方法。

技术实现思路

1、本文提供了用于从主模板压模制造纳米压印平版印刷术压模的设备和方法。

2、在一个方面中，一种用于从主模板压模制造纳米压印平版印刷术压模的设备包括：经配置为选择性地将压模背衬材料固定到其上的压模夹盘、经配置为支撑主模板压模的主夹盘，主模板压模包括在其上的主图案，主夹盘经配置为支撑主模板压模，所述主模板压模与选择性地固定到压模夹盘时的压模背衬材料呈面对关系，其中主模板压模包括在主图案上和主图案中的电磁能量可固化材料，且压模夹盘经配置和经布置成将在压模夹盘上的背衬材料的一部分定位成与压模夹盘间隔开并与电磁能量可固化材料接触，及压模夹盘进一步经配置成将与能量可固化材料接触的背衬材料的该部分定位成，在能量可固化材料固化后，与压模夹盘接触。

3、在另一方面中，提供了一种从主模板压模制造纳米压印平版印刷术压模的方法，包括：选择性地将压模背衬材料固定到压模夹盘；将主模板压模定位在主夹盘上，主模板压模包括在其上的主图案，主夹盘经配置成支撑主模板压模，所述主模板压模与选择性地经固定到压模夹盘时的压模背衬材料呈面对关系；在主图案上和主图案中包括电磁能量可固化材料；将由压模夹盘支撑的背衬材料的一部分定位成所述部分与压模夹盘间隔开并与电磁能量可固化材料接触，及将电磁能量可固化材料暴露于电磁能下，使可固化材料固化以形成可固化材料的固体，及将与能量可固化材料接触的背衬材料的一部分定位成，在能量可固化材料固化后，与压模夹盘接触。

4、在另一方面中，提供了一种用于从主模板压模制造纳米压印平版印刷术压模的设备，包括：第一压模夹盘，第一压模夹盘经配置成选择性地将压模背衬材料固定到第一压模夹盘上；第一主夹盘，第一主夹盘经配置为支撑缓冲母版，缓冲母版包括在其上的空图案，第一主夹盘经配置为支撑缓冲母版，所述缓冲母版与选择性地固定到第一压模夹盘时的压模背衬材料呈面对关系；其中缓冲母版包括在母版空图案上和母版空图案中的电磁能量可固化材料；及第一压模夹盘经配置和经布置成将在第一压模夹盘上的背衬材料的一部分定位成与第一压模夹盘间隔开并且与电磁能量可固化材料接触，且第一压模夹盘进一步经配置成将与能量可固化材料接触的背衬材料的该部分定位成，在能量可固化材料固化后，与第一压模夹盘接触；第二压模夹盘，第二压模夹盘经配置成选择性地将压模背衬材料固定到第二压模夹盘上；第二主夹盘，第二主夹盘经配置为支撑主模板压模，主模板压模包括在主模板压模上的主图案，第二主夹盘经配置成支撑主模板压模，所述主模板压模与选择性地固定到第二压模夹盘时的压模背衬材料呈面对关系；其中主模板压模包括在主图案上和主图案中的电磁能量可固化材料；及第二压模夹盘经配置和经布置成将在第二压模夹盘上的背衬材料的一部分定位成与第二压模夹盘间隔开并与电磁能量可固化材料接触，且第二压模夹盘进一步经配置成将与能量可固化材料接触的背衬材料的所述部分定位成，在能量可固化材料固化后，与第二压模夹盘接触。

技术特征：

1.一种用于从主模板压模制造纳米压印平版印刷术压模的设备，包括：

2.如权利要求1所述的设备，进一步包括一长度的压模背衬材料的原料卷。

3.如权利要求2所述的设备，进一步包括经配置成在其上接收压模背衬材料的卷取卷。

4.如权利要求3所述的设备，其中所述长度的压模背衬材料在所述主模板压模和所述压模夹盘之间延伸。

5.如权利要求4所述的设备，其中所述原料卷和所述卷取卷中的至少一者经配置为在所述原料卷和所述卷取卷之间的方向上移动所述背衬材料的离散部分。

6.如权利要求2所述的设备，其中所述长度的压模背衬材料在所述主模板压模和所述压模夹盘之间延伸；及

7.如权利要求2所述的设备，进一步包括彼此呈面对关系的缓冲层母版和缓冲层压模夹盘，其中所述缓冲层母版和所述缓冲层压模夹盘设置在所述原料卷和所述主模板夹盘之间。

8.一种从主模板压模制造纳米压印平版印刷术压模的方法，包括：

9.如权利要求8所述的方法，进一步包括：

10.如权利要求9所述的方法，进一步包括一长度的压模背衬材料的原料卷。

11.如权利要求10所述的方法，进一步包括经配置成在其上接收压模背衬材料的卷取卷。

12.如权利要求11所述的方法，其中所述长度的压模背衬材料在所述主模板压模和所述压模夹盘之间延伸。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述原料卷和所述卷取卷中的至少一者经配置为在所述原料卷和所述卷取卷之间的方向上移动所述背衬材料的离散部分。

14.如权利要求10所述的方法，其中所述长度的压模背衬材料在所述主模板压模和所述压模夹盘之间延伸；及

15.如权利要求10所述的方法，进一步包括彼此呈面对关系的缓冲层母版和缓冲层压模夹盘，其中所述缓冲层母版和所述缓冲层压模夹盘设置在所述原料卷和所述主模板夹盘之间。

16.一种用于从主模板压模制造纳米压印平版印刷术压模的设备，包括：

17.如权利要求16所述的设备，进一步包括一长度的压模背衬材料的原料卷。

18.如权利要求17所述的设备，进一步包括经配置成在其上接收压模背衬材料的卷取卷。

19.如权利要求18所述的设备，其中所述长度的压模背衬材料在所述缓冲母版和所述压模夹盘之间延伸。

技术总结一种用于从主模板压模(stamp)制造纳米压印平版印刷术压模的设备，包括经配置成选择性地将压模背衬材料固定到其上的压模夹盘、经配置为支撑主模板压模的主夹盘，主模板压模包括在其上主图案，主夹盘经配置成支撑主模板压模，主模板压模与选择性地固定到压模夹盘上时的压模背衬材料呈面对关系，其中主模板压模包括在主图案上和中的电磁能量可固化材料，且压模夹盘经配置成及经布置成将其上的背衬材料的一部分定位成与其间隔开并与电磁能量可固化材料接触，且压模夹盘进一步经配置成将与能量可固化材料接触的背衬材料的该部分定位成，在能量可固化材料固化后，与压模夹盘接触。技术研发人员：伊恩·马修·麦克马克,卢多维克•戈代受保护的技术使用者：应用材料公司技术研发日：技术公布日：2024/1/13