致动器器件的制造方法与流程

本发明的一个方面涉及一种例如构成为mems(micro electro mechanicalsystems)器件的致动器器件的制造方法。

背景技术：

1、作为这样的致动器器件，已知一种致动器器件，其具备：支承部、与支承部可摆动地连结的可动部、以及产生用于使可动部摆动的驱动力的线圈(例如参照专利文献1)。在专利文献1中公开了在可动部上设置有反射镜的mems扫描反射镜。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2013-171226号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、在上述的致动器器件中，有时出厂后在客户处使用时，可动部的振动特性随着使用时间的经过而变化。这样的振动特性的变化可能成为出现不良情况的原因，因此需要抑制。

3、因此，本发明的一个方面的目的在于，提供一种可以得到具有稳定的品质的致动器器件的致动器器件的制造方法。

4、用于解决问题的技术方案

5、本发明的一个方面的致动器器件的制造方法依次包括：准备工序，准备致动器器件，致动器器件具备：支承部、可动部、以可动部能够绕规定的轴线摆动的方式将可动部与支承部连结的连结部、以及以在可动部绕轴线摆动时应力作用的方式配置的金属构件；摆动工序，使可动部绕轴线摆动规定时间；取得工序，取得与可动部绕轴线的振动中的粘性阻力有关的参数；以及判定工序，在取得工序中取得的参数与对应于摆动工序的开始时间点的参数的基准值之间的差在粘性阻力减小的方向上为规定值以上的情况下，将致动器器件判定为合格，在差小于规定值的情况下，将致动器器件判定为不合格。

6、在致动器器件具备以在可动部绕轴线摆动时应力作用的方式配置的金属构件的情况下，当使可动部绕轴线摆动时，有时由于应力作用，金属构件反复塑性变形。当金属构件反复塑性变形时，有时由于加工硬化进展而变得难以产生塑性变形，其结果，可动部绕轴线的振动的粘性阻力逐渐减小。本发明人等发现，该粘性阻力的减小是上述可动部的振动特性变化的一个原因。因此，在该致动器器件的制造方法中，在使可动部绕轴线摆动规定时间的摆动工序之后，实施取得与可动部绕轴线的振动的粘性阻力有关的参数的值的取得工序。再者，在取得工序中取得的参数与对应于摆动工序的开始时间点的该参数的基准值之间的差在粘性阻力减小的方向上为规定值以上的情况下，将致动器器件判定为合格，在该差小于规定值的情况下，将致动器器件判定为不合格。例如，判定为合格的致动器器件出厂，判定为不合格的致动器器件不出厂。通过在出厂前使可动部摆动规定时间而预先减小粘性阻力，可以抑制在客户处的可动部的振动特性的变化，从而可以使致动器器件的品质稳定化。另外，在致动器器件中，可能存在即使使可动部摆动规定时间，粘性阻力也不减小的器件，但是通过将取得的参数与基准值之间的差为规定值以上的致动器器件判定为合格，可以只将粘性阻力减小的致动器器件出厂，其结果，可以使致动器器件的品质进一步稳定化。因此，根据该致动器器件的制造方法，可以得到具有稳定的品质的致动器器件。

7、也可以是，参数关于q值、谐振频率、用于得到规定的摆动角的驱动电流值、或在施加有规定的驱动电流的情况下的摆动角。在该情况下，可以适当地把握粘性阻力的变化。

8、也可以是，在摆动工序中，在可动部和连结部各自的温度高于支承部的温度的状态下，使可动部摆动。在该情况下，可以有效地使粘性阻力减小。

9、也可以是，在摆动工序中，在一定的温度下，使可动部摆动。在该情况下，例如通过在与客户处的使用环境相同的温度下实施摆动工序，可以可靠地抑制客户处的可动部的振动特性的变化

10、也可以是，在摆动工序中，在一定的压力下，使可动部摆动。在该情况下，可以抑制因气氛气压变化而引起的粘性阻力的变化，可以适当地把握因金属构件的加工硬化而引起的粘性阻力的变化。

11、也可以是，在准备工序中，准备多个致动器器件，对多个致动器器件的各个，实施摆动工序、取得工序、以及判定工序。在该情况下，可以高效地制造具有稳定的品质的致动器器件。

12、也可以是，在准备工序中准备的致动器器件具备：产生用于使可动部摆动的驱动力的线圈，线圈构成金属构件。在该情况下，可以使具备线圈的致动器器件的品质稳定化。

13、也可以是，线圈埋入槽内。在该情况下，线圈的截面积变大，线圈容易由于反复的塑性变形而加工硬化，但是根据该致动器器件的制造方法，即使在这样的情况下，也可以抑制客户处的可动部的振动特性的变化。

14、也可以是，在准备工序中准备的致动器器件具备：产生用于使可动部摆动的驱动力的驱动元件、以及与驱动元件电连接的配线，配线构成金属构件。在该情况下，可以使具备与驱动元件电连接的配线的致动器器件的品质稳定化。

15、也可以是，配线埋入槽内。在该情况下，线圈的截面积变大，线圈容易由于反复的塑性变形而加工硬化，但是根据该致动器器件的制造方法，即使在这样的情况下，也可以抑制客户处的可动部的振动特性的变化。

16、也可以是，在准备工序中准备的致动器器件还具备：气密地密封并容纳支承部、可动部、连结部、以及金属构件的封装。在该情况下，可以抑制因气氛气压的变化而引起的粘性阻力的变化，可以适当地把握因金属构件的加工硬化而引起的粘性阻力的变化。

17、也可以是，在准备工序中准备的致动器器件中，可动部具有：第1可动部和第2可动部，连结部具有：第1连结部，其以第1可动部能够绕第1轴线摆动的方式将第1可动部与第2可动部连结；以及第2连结部，其以第2可动部能够绕第2轴线摆动的方式将第2可动部与支承部连结，在摆动工序中，以规定时间，使第1可动部绕第1轴线摆动，并且使第2可动部绕第2轴线摆动。在该情况下，可以在与客户处的使用环境相同的动作状态下实施摆动工序，可以可靠地抑制客户处的可动部的振动特性的变化。另外，在使可动部绕多个轴线摆动的情况下，驱动电流变大，环境温度容易变高，但是根据该致动器器件的制造方法，即使在该情况下，也可以抑制客户处的可动部的振动特性的变化。

18、也可以是，在摆动工序中，使可动部谐振动作。在该情况下，作用于金属构件的应力变大，金属构件由于反复的塑性变形容易加工硬化，但是根据该致动器器件的制造方法，即使在这样的情况下，也可以抑制客户处的可动部的振动特性的变化。

19、发明的效果

20、根据本发明的一个方面，能够提供一种可以得到具有稳定的品质的致动器器件的致动器器件的制造方法。

技术特征：

1.一种致动器器件的制造方法，其中，

2.根据权利要求1所述的致动器器件的制造方法，其中，

3.根据权利要求1或2所述的致动器器件的制造方法，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的致动器器件的制造方法，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的致动器器件的制造方法，其中，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的致动器器件的制造方法，其中，

7.根据权利要求1～6中任一项所述的致动器器件的制造方法，其中，

8.根据权利要求7所述的致动器器件的制造方法，其中，

9.根据权利要求1～8中任一项所述的致动器器件的制造方法，其中，

10.根据权利要求9所述的致动器器件的制造方法，其中，

11.根据权利要求1～10中任一项所述的致动器器件的制造方法，其中，

12.根据权利要求1～11中任一项所述的致动器器件的制造方法，其中，

13.根据权利要求1～12中任一项所述的致动器器件的制造方法，其中，

技术总结本发明的致动器器件的制造方法依次包括：准备工序，准备致动器器件，该致动器器件具备：支承部、可动部、以可动部能够绕规定的轴线摆动的方式将可动部与支承部连结的连结部、以及以在可动部绕轴线摆动时应力作用的方式配置的金属构件；摆动工序，使可动部绕轴线摆动规定时间；取得工序，其取得与可动部绕轴线的振动的粘性阻力有关的参数；以及判定工序，在取得工序中取得的参数与对应于摆动工序的开始时间点的参数的基准值之间的差在粘性阻力减小的方向上为规定值以上的情况下，将致动器器件判定为合格，在差小于规定值的情况下，将致动器器件判定为不合格。技术研发人员：饭间敦矢,藁科祯久,铃木大几,榊原靖之受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社技术研发日：技术公布日：2024/1/15