移动机构及其形成方法、电子设备与流程

本申请涉及微机电，具体涉及一种移动机构及其形成方法、电子设备。

背景技术：

1、摄像机、照相机和手机等电子设备中的图像传感器等可动部件在其工作时，需要被移到以保持相应电子设备的工作性能；例如在摄像机的拍摄过程中便需要移动图像传感器实现光学防抖(optical image stabilization，ois)，保持高拍摄质量。

2、光学防抖是依靠特殊的镜头或者感光元件最大程度的降低操作者在使用过程中由于抖动或者物体发生移动造成影像不稳定。目前一些光学防抖技术是在一些具有镜头模组的摄像机、照相机和手机等各种电子终端中，通常会通过vcm马达(voice coilactuator/voice coil motor，音圈马达)等驱动机构来使得可移动透镜，在光轴方向上位移以聚焦或变焦，或者，在垂直于光轴方向的方向上位移以防止光学抖动。上述vcm马达这一类驱动机构往往存在体积大、移动精度低的问题。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种移动机构及其形成方法、电子设备，以解决传统的驱动机构往往体积大、移动精度低的问题。

2、本申请提供一种移动机构，包括：

3、固定平台；

4、移动载板，悬空设置在所述固定平台上方；

5、位移模块，设置所述固定平台上并位于所述移动载板下方；被配置为吸合所述移动载板，并带动所吸合的移动载板移动；

6、限位结构，设置在所述固定平台上方，并围成空腔，所述位移模块和所述移动载板位于所述空腔中；

7、硬质保护层，包括移动保护体和固定保护体，所述移动保护体键合在所述移动载板表面，所述固定保护体键合在至少一个所述限位结构表面，所述移动保护体和所述固定保护体绝缘且二者之间具有间隙，所述间隙内设有弹性保护结构。

8、本申请还提供一种移动机构的形成方法，包括：

9、提供固定平台，所述固定平台的上表面包括工作区和限位区，所述限位区围绕所述工作区，与所述固定平台表面平行的方向为横向，与固定平台的表面相垂直的方向为纵向；

10、在所述工作区形成位移模块，在所述限位区形成限位结构；

11、在所述位移模块和所述位移模块之间的第一牺牲层的表面形成第二牺牲层；

12、在所述第二牺牲层上形成移动载板，所述移动载板的各端与所述限位结构的内侧面之间具有空隙，上表面对齐所述限位结构的上表面，以使限位结构能对移动载板的横向移动进行限位；

13、在所述移动载板和所述限位结构表面键合所述硬质保护层；

14、对所述硬质保护层进行图形化处理，以使所述硬质保护层包括所述移动载板表面的移动保护体和至少一个所述限位结构表面的固定保护体，所述移动保护体和所述固定保护体绝缘且二者之间具有间隙，所述间隙内设有弹性保护结构。

15、本申请还提供一种电子设备，包括：如上述任一一种移动机构；以及可动部件，固定于所述移动机构中移动载板表面的移动保护体。

16、本申请上述移动机构及其形成方法、电子设备，能够得到小尺寸的移动机构，提高其移动电子设备中可动部件的精度和效果。

17、本申请提供的移动机构，在移动保护体和固定保护体之间设有弹性保护结构，弹性保护结构能够吸收移动保护体和固定保护体碰撞时瞬间产生的碰撞冲力，避免移动机构内部相关组件发生损坏，保证移动机构各组件在作业过程中的安全性，提升移动机构的作业性能。

18、本申请提供的移动机构的形成方法中，各个保护体能在形成移动机构的过程中与限位结构等相关结构同时形成，各个保护体之间的弹性保护结构能在形成对应保护体时形成，在提升移动机构安全性的基础上，不需要增加额外的工艺步骤，使整个移动机构的形成工艺相对简单，能够缩短形成时间，降低形成难度，从而提升移动机构的生产效率，降低生产成本。

技术特征：

1.一种移动机构，其特征在于，所述移动机构包括：

2.根据权利要求1所述的移动机构，其特征在于，所述弹性保护结构包括碰撞弹簧、柔性体和柔性悬梁中的至少一种。

3.根据权利要求2所述的移动机构，其特征在于，所述碰撞弹簧包括第一固定端，所述第一固定端固定设于所述移动保护体与固定保护体相对的一侧和/或所述固定保护体与移动保护体相对的一侧。

4.根据权利要求3所述的移动机构，其特征在于，所述碰撞弹簧还包括第二固定端，所述第二固定端固定设于所述移动保护体与固定保护体相对的一侧和/或所述固定保护体与移动保护体相对的一侧；

5.根据权利要求3所述的移动机构，其特征在于，所述碰撞弹簧还包括悬空端，所述悬空端悬空于所述移动保护体和所述固定保护体之间的间隙。

6.根据权利要求1所述的移动机构，其特征在于，所述移动保护体包括第一移动保护层和第二移动保护层，所述固定保护体包括第一固定保护层和第二固定保护层；

7.根据权利要求7所述的移动机构，其特征在于，所述弹性保护结构包括第一弹簧，所述第一弹簧设于所述第一移动保护层和所述第一固定保护层之间的第一间隙，或者设于所述第二移动保护层和所述第二固定保护层之间的第二间隙。

8.根据权利要求7所述的移动机构，其特征在于，所述弹性保护结构还包括第二弹簧，所述第二弹簧设于未设置第一弹簧的保护层之间的间隙。

9.根据权利要求8所述的移动机构，其特征在于，所述第一弹簧和/或所述第二弹簧包括至少一组侧面对应的一组弹簧，各组弹簧包括至少一个弹簧。

10.根据权利要求1所述的移动机构，其特征在于，所述移动保护体包括拐角和侧面，所述弹性保护结构包括所述拐角对应的拐角弹簧和所述侧面对应的侧弹簧。

11.根据权利要求10所述的移动机构，其特征在于，所述固定保护体内侧拐角处设有供所述拐角弹簧伸缩的第一缺口。

12.根据权利要求10所述的移动机构，其特征在于，所述固定保护体内侧设有供所述侧弹簧伸缩的第二缺口。

13.一种移动机构的形成方法，其特征在于，所述形成方法包括：

14.根据权利要求13所述的移动机构的形成方法，其特征在于，所述硬质保护层包括第一保护层和第二保护层；在所述移动载板和所述限位结构表面键合所述硬质保护层之前，所述形成方法还包括：

15.根据权利要求14所述的移动机构的形成方法，其特征在于，在所述对所述第一保护层进行图形化处理之前，所述形成方法还包括：

16.根据权利要求14所述的移动机构的形成方法，其特征在于，所述对所述硬质保护层进行图形化处理进一步包括：

17.根据权利要求16所述的移动机构的形成方法，其特征在于，在所述对所述第二保护层进行图形化处理之前，所述对所述硬质保护层进行图形化处理还包括：

18.根据权利要求13所述的移动机构的形成方法，其特征在于，在所述第二牺牲层上形成移动载板之后，所述形成方法还包括：

19.根据权利要求13所述的移动机构的形成方法，其特征在于，在所述移动载板和所述限位结构表面形成吸盘电极之后，所述形成方法还包括：

20.一种电子设备，其特征在于，包括：

技术总结本申请公开一种移动机构及其形成方法、电子设备，其中移动机构包括固定平台；移动载板，悬空设置在所述固定平台上方；位移模块，设置所述固定平台上并位于所述移动载板下方；被配置为吸合所述移动载板，并带动所吸合的移动载板移动；限位结构，设置在所述固定平台上方，并围成空腔，所述位移模块和所述移动载板位于所述空腔中；硬质保护层，包括移动保护体和固定保护体，所述移动保护体键合在所述移动载板表面，所述固定保护体键合在至少一个所述限位结构表面，所述移动保护体和所述固定保护体绝缘且二者之间具有间隙，间隙内设有弹性保护结构。本申请形成的移动机构尺寸小，移动可动部件的精度高，具有较好的移动效果。技术研发人员：桂珞,韩凤芹,赵瑞萍,李习科,赵强,石丹丹,李萍受保护的技术使用者：中芯集成电路（宁波）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/1/16