一种源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备的制作方法

本技术涉及先进制造及自动化，具体为一种源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备。

背景技术：

1、在半导体芯片、光伏元件等行业的生产车间都会用到特殊供应气体的供气供液系统，在供液系统中源瓶的存放是一个比较关键的问题，特别是液体供应，源液瓶的位置不能距离控制系统太远，并且还要考虑占地空间的问题，部分易燃易爆易挥发气体还需要做监测。为此，我们提出了一种源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备，具备设备结构精巧紧凑、功能齐全、安全性和使用性高等优点，解决了传统供液系统中源液瓶的存放位置不能距离控制系统太远，并且还要考虑占地空间，部分易燃易爆易挥发气体还需要做监测的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备，包括源瓶放置柜和蒸发柜，所述源瓶放置柜的内部安装有两个链条，所述源瓶放置柜的正面安装有两个源柜门，所述蒸发柜的内部设置有盘面控制区和电气控制区，所述电气控制区后侧的内壁设置有电气安装板，所述蒸发柜的正面安装有盘面控制柜门和电气控制柜门，所述源瓶放置柜和蒸发柜底部的四个角均安装有福马脚轮。

5、优选的，所述源瓶放置柜正面的左右两侧和蒸发柜正面的右侧均固定设置有铰链，所述源柜门、盘面控制柜门和电气控制柜门与铰链转动连接，所述源瓶放置柜的正面、盘面控制柜门和电气控制柜门的背面均设置有密封胶条，源液柜整体结构分为电气控制部分、盘面控制部分和源瓶放置区域三部分，主柜体起到密封作用，是整个设备的基础，空气置换装置防止特殊气体泄露导致意外情况的发生。

6、优选的，所述源柜门、盘面控制柜门和电气控制柜门背面的底部均安装有过滤网固定板，所述过滤网固定板的表面设置有过滤网，储气柜上安装有风阀与下游尾气处理装置连通，进气风门加装有过滤网，减少灰尘保证储气柜内部洁净。

7、优选的，所述源柜门、盘面控制柜门和电气控制柜门的背面均安装有生久面板锁，所述盘面控制柜门的正面和背面分别设置有负压监测显示区和防护罩，为了能真正反馈储气柜空气是否流通，故而在柜子顶部安装负压表，实时显示储气柜内的负压值。

8、与现有技术相比，本实用新型提供了一种源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备，具备以下有益效果：

9、该源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备，通过设置源瓶放置柜和蒸发柜，源液柜集成了空气置换、负压显示、钢瓶放置平台、钢瓶固定装置于一体的设备，源瓶泄漏检测和空气置换保证了安全性，负压显示实时监测显示，脚轮装置方便柜体移动运输，通过这一系列的技术，使得源液柜变得方便安全，并且节约工厂建设成本。

技术特征：

1.一种源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备，包括源瓶放置柜(1)和蒸发柜(2)，其特征在于：所述源瓶放置柜(1)的内部安装有两个链条(3)，所述源瓶放置柜(1)的正面安装有两个源柜门(4)，所述蒸发柜(2)的内部设置有盘面控制区(5)和电气控制区(6)，所述电气控制区(6)后侧的内壁设置有电气安装板(7)，所述蒸发柜(2)的正面安装有盘面控制柜门(8)和电气控制柜门(9)，所述源瓶放置柜(1)和蒸发柜(2)底部的四个角均安装有福马脚轮(10)。

2.根据权利要求1所述的一种源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备，其特征在于：所述源瓶放置柜(1)正面的左右两侧和蒸发柜(2)正面的右侧均固定设置有铰链(11)，所述源柜门(4)、盘面控制柜门(8)和电气控制柜门(9)与铰链(11)转动连接，所述源瓶放置柜(1)的正面、盘面控制柜门(8)和电气控制柜门(9)的背面均设置有密封胶条(12)。

3.根据权利要求1所述的一种源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备，其特征在于：所述源柜门(4)、盘面控制柜门(8)和电气控制柜门(9)背面的底部均安装有过滤网固定板(13)，所述过滤网固定板(13)的表面设置有过滤网(14)。

4.根据权利要求1所述的一种源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备，其特征在于：所述源柜门(4)、盘面控制柜门(8)和电气控制柜门(9)的背面均安装有生久面板锁(15)，所述盘面控制柜门(8)的正面和背面分别设置有负压监测显示区(16)和防护罩(17)。

技术总结本技术涉及先进制造及自动化技术领域，且公开了一种源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备，包括源瓶放置柜和蒸发柜，所述源瓶放置柜的内部安装有两个链条，所述源瓶放置柜的正面安装有两个源柜门，所述蒸发柜的内部设置有盘面控制区和电气控制区，所述电气控制区后侧的内壁设置有电气安装板，所述蒸发柜的正面安装有盘面控制柜门和电气控制柜门。该源液供应带蒸发一体化特种液体供应设备，源液柜集成了空气置换、负压显示、钢瓶放置平台、钢瓶固定装置于一体的设备，源瓶泄漏检测和空气置换保证了安全性，负压显示实时监测显示，脚轮装置方便柜体移动运输，通过这一系列的技术，使得源液柜变得方便安全，并且节约工厂建设成本。技术研发人员：甘泽光受保护的技术使用者：江苏融科装备科技有限公司技术研发日：20231201技术公布日：2024/6/23