涂胶显影机的过滤器药液加注装置的制作方法

本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种涂胶显影机的过滤器药液加注装置。

背景技术：

1、半导体制造工艺中，光刻工艺是集成电路制造中关键的步骤，其本质是把电路结构以图形的形式复制到以后要进行刻蚀和离子注入的晶圆上，即将光罩图案转移至晶圆上。

2、涂胶显影机台最大满载约80颗过滤器，过滤器用于过滤管路中的杂质。正常过滤器上机前，需要将过滤器加注对应药液进行浸泡2h左右，达到减少排泡时间及清洁过滤器的目的。但目前业内没有专门加此药液的工具，因过滤器的注液孔口径较小，在加注过程中，难以始终保持对准过滤器的注液孔加注，过滤器加注药液时，可能会洒落，产生化学品溅射的风险。

3、有鉴于此，有必要提出一种涂胶显影机的过滤器药液加注装置以解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种涂胶显影机的过滤器药液加注装置，用以改善现有的过滤器加注药液时，可能会洒落，产生化学品溅射的问题。

2、本实用新型提供了一种涂胶显影机的过滤器药液加注装置，包括：夹具、轨道以及加注器，所述夹具用于夹持过滤器，所述轨道安装于所述夹具的上方且呈横向设置，所述加注器可移动调节地安装于所述轨道上，所述加注器的喷嘴朝下设置，所述加注器通过所述喷嘴向所述过滤器加注药液。

3、本实用新型提供的涂胶显影机的过滤器药液加注装置的有益效果在于：通过调节所述加注器在所述轨道上的位置，以使所述加注器的喷嘴伸入所述过滤器顶部的注液孔，以向所述过滤器内加注药液。由于所述过滤器通过所述夹具夹持固定，所述加注器通过所述轨道安装于所述夹具的上方，无需手持，避免在加注的过程中因手持不稳而产生化学药液洒落、溅射的问题。

4、在一种可能的实施例中，所述夹具包括间隔设置的第一底座和第二底座、相对设置的第一夹持件和第二夹持件。所述第一夹持件安装于所述第一底座上，所述第二底座的顶面安装有横向调节组件，所述横向调节组件与所述第二夹持件安装连接，所述横向调节组件用于横向移动调节所述第二夹持件，使得所述第二夹持件向靠近或远离所述第一夹持件的方向移动，以夹紧或释放所述过滤器。其有益效果在于：通过所述横向调节组件横向移动调节所述第一夹持件的位置，以方便地夹持所述过滤器，而且可以适配不同外径尺寸的所述过滤器。

5、在一种可能的实施例中，所述横向调节组件包括一对横支座、呈横向设置的横导杆和横丝杆、调节块、呈横向设置的连接杆以及横操作件。一对所述横支座间隔地安装于所述第二底座的顶面，所述横导杆的两端以及所述横丝杆的两端分别可转动地安装于一对所述横支座上，所述横导杆和所述横丝杆穿过所述调节块，所述调节块与所述横丝杆螺纹连接。所述连接杆的一端与所述调节块安装连接，另一端与所述第二夹持件安装连接，所述横丝杆的一端伸出所述横支座外并与所述横操作件安装连接。其有益效果在于：通过转动所述横操作件使得所述横丝杆旋转，以使所述调节块沿所述横丝杆来回移动，进而带动所述第二夹持件沿所述横向方向移动。

6、在一种可能的实施例中，药液加注装置还包括安装于所述第一底座上的竖向调节组件，所述第一夹持件安装于所述竖向调节组件上，所述竖向调节组件用于竖向移动调节所述第一夹持件。其有益效果在于：通过竖向调节组件调节所述第一夹持件的高度，以适配所述过滤器的高度，确保过滤器夹持的稳固性。

7、在一种可能的实施例中，所述竖向调节组件包括一对竖支座、呈竖向设置的竖导杆和竖丝杆、移动板、以及竖操作件。一对所述竖支座间隔地安装于所述第一底座靠近第二底座的一侧，所述竖导杆的两端以及所述竖丝杆的两端分别可转动地安装于一对所述竖支座上，所述竖导杆和所述竖丝杆穿过所述移动板的一端，所述移动板与所述竖丝杆螺纹连接，所述移动板呈横向设置且另一端与所述第一夹持件安装连接。所述竖丝杆的一端伸出所述竖支座外并与所述竖操作件安装连接。其有益效果在于：通过转动所述竖操作件使得所述竖丝杆旋转，以使所述移动板沿所述竖丝杆来回移动，进而带动所述第一夹持件沿所述竖向方向移动。

8、在一种可能的实施例中，药液加注装置还包括滑块和锁紧件，所述滑块套设于所述轨道上，所述加注器可拆卸地安装于所述滑块的一侧，所述锁紧件自所述滑块的另一侧穿过且螺纹连接于所述滑块上，所述锁紧件的端部紧抵于所述轨道上，以限制所述滑块的移动。其有益效果在于：所述滑块沿所述轨道移动，进而带动所述加注器沿横向方向移动至合适的位置，通过旋拧所述锁紧件以实现对所述滑块的锁定。

9、在一种可能的实施例中，药液加注装置还包括内部中空且呈透明状的保护罩，所述保护罩上设有门洞，所述保护罩的门洞处安装有门板。所述轨道的两端分别通过移动调节组件安装于所述保护罩相对的两内壁上，所述移动调节组件用于竖向移动调节所述轨道，所述夹具设于所述保护罩内。其有益效果在于：所述夹具、所述过滤器、所述加注器位于所述保护罩内，在保护罩内进行药液加注，以确保操作的安全性。

10、在一种可能的实施例中，所述移动调节组件包括一对固定座、转动件以及呈竖向设置的导向杆和丝杠。一对所述固定座间隔地安装于所述保护罩的内壁，所述导向杆的两端以及所述丝杠的两端分别可转动地安装于一对所述固定座上，所述导向杆和所述丝杠穿过所述轨道对应的端部，所述轨道与所述丝杠螺纹连接。所述丝杠的一端伸出所述固定座外并与所述转动件安装连接。其有益效果在于：通过转动所述转动件使得所述丝杠旋转，以使所述轨道沿所述丝杠竖向方向移动。

11、在一种可能的实施例中，药液加注装置还包括设置于所述保护罩内的若干个容置桶，所述容置桶用于容置所述过滤器。其有益效果在于：加注完药液后，将所述过滤器立在所述容置桶内，静止一段时间，让药液充分浸泡所述过滤器。

12、在一种可能的实施例中，所述加注器包括内部中空具有弹性的瓶体，所述瓶体的顶部设有进液孔，所述进液孔上盖设有盖帽，所述喷嘴设于所述瓶体的底部。其有益效果在于：通过挤压所述加注器，使得所述加注器内的药液从所述喷嘴流出，进入所述过滤器，使得药液加注操作更为方便。

技术特征：

1.一种涂胶显影机的过滤器药液加注装置，其特征在于，包括：夹具、轨道以及加注器；

2.根据权利要求1所述的涂胶显影机的过滤器药液加注装置，其特征在于，所述夹具包括间隔设置的第一底座和第二底座、相对设置的第一夹持件和第二夹持件；

3.根据权利要求2所述的涂胶显影机的过滤器药液加注装置，其特征在于，所述横向调节组件包括一对横支座、呈横向设置的横导杆和横丝杆、调节块、呈横向设置的连接杆以及横操作件；

4.根据权利要求2所述的涂胶显影机的过滤器药液加注装置，其特征在于，还包括安装于所述第一底座上的竖向调节组件，所述第一夹持件安装于所述竖向调节组件上，所述竖向调节组件用于竖向移动调节所述第一夹持件。

5.根据权利要求4所述的涂胶显影机的过滤器药液加注装置，其特征在于，所述竖向调节组件包括一对竖支座、呈竖向设置的竖导杆和竖丝杆、移动板、以及竖操作件；

6.根据权利要求1所述的涂胶显影机的过滤器药液加注装置，其特征在于，还包括滑块和锁紧件；

7.根据权利要求1所述的涂胶显影机的过滤器药液加注装置，其特征在于，还包括内部中空且呈透明状的保护罩，所述保护罩上设有门洞，所述保护罩的门洞处安装有门板；

8.根据权利要求7所述的涂胶显影机的过滤器药液加注装置，其特征在于，所述移动调节组件包括一对固定座、转动件以及呈竖向设置的导向杆和丝杠；

9.根据权利要求7所述的涂胶显影机的过滤器药液加注装置，其特征在于，还包括设置于所述保护罩内的若干个容置桶，所述容置桶用于容置所述过滤器。

10.根据权利要求1所述的涂胶显影机的过滤器药液加注装置，其特征在于，所述加注器包括内部中空具有弹性的瓶体；

技术总结本技术提供了一种涂胶显影机的过滤器药液加注装置，包括：夹具、轨道以及加注器，所述夹具用于夹持过滤器，所述轨道安装于所述夹具的上方且呈横向设置，所述加注器可移动调节地安装于所述轨道上，所述加注器的喷嘴朝下设置，所述加注器通过所述喷嘴向所述过滤器加注药液。通过调节所述加注器在所述轨道上的位置，以使所述加注器的喷嘴伸入所述过滤器顶部的注液孔，以向所述过滤器内加注药液。由于所述过滤器通过所述夹具夹持固定，所述加注器通过所述轨道安装于所述夹具的上方，无需手持，避免在加注的过程中因手持不稳而产生化学品溅射的问题。技术研发人员：门学明受保护的技术使用者：芯恩（青岛）集成电路有限公司技术研发日：20230920技术公布日：2024/7/4