用于LDS设备的抽取装置的制作方法

本公开涉及干式泵，具体地，涉及一种用于lds设备的抽取装置。

背景技术：

1、lds(液态化学品供应系统)广泛用于生产加工过程中。在lds系统使用时，当需要更换输送系统内部容器内钢瓶时，首先需要通过干式泵连接钢瓶，从而将钢瓶内的残余化学品抽走，随后排入厂务排酸系统内进行处理，具体化学品成分包含四甲基硅烷和二甲基硫醚等。而在规模化生产加工过程中，当有多台lds设备需要更换内部容器钢瓶时，则需要使用多台干式泵，导致成本高且占地面积大。

技术实现思路

1、本公开的目的是提供一种用于lds设备的抽取装置，能够解决多台lds设备同时更换内部容器钢瓶时对于干式泵需求量大的问题。

2、为了实现上述目的，本公开提供一种用于lds设备的抽取装置，所述抽取装置包括干式泵和活动平台，所述干式泵设置在所述活动平台上，所述活动平台的底部设置有滚轮，所述干式泵进液口上连接有分歧管路，所述分歧管路具有多个分支路，每个所述分支路用于与一个lds设备中的钢瓶连通。

3、可选地，所述活动平台包括基座，所述干式泵设置在所述基座上，所述基座上还设置有固定机构，所述固定机构用于将所述干式泵选择地固定于所述基座。

4、可选地，所述固定机构包括驱动结构和两个沿预设方向间隔设置的夹持板，所述干式泵设置在两个所述夹持板之间，每个所述夹持板均连接所述驱动结构，所述驱动结构用于驱动所述夹持板沿预设方向移动。

5、可选地，所述驱动结构包括设置于基座的至少一个所述驱动缸，所述驱动缸具有沿所述预设方向布置的伸缩杆，所述伸缩杆的末端与所述夹持板连接。

6、可选地，所述驱动结构包括支撑板和导向柱，所述支撑板连接于所述基座，所述驱动缸固定于所述支撑板，所述导向柱沿所述预设方向延伸，并可滑动地连接于所述支撑板，所述导向柱的末端与所述夹持板连接。

7、可选地，所述支撑板构造为l形板并包括第一板体和第二板体，所述第一板体与所述基座连接，所述第二板体沿竖直方向延伸，所述驱动缸和所述导向柱设置在所述第二板体上。

8、可选地，所述夹持板上设置有柔性垫，所述柔性垫用于抵接于所述干式泵。

9、可选地，所述基座上还设置有摩擦垫，所述干式泵放置在所述摩擦垫上。

10、可选地，所述抽取装置包括波纹管和开关阀，每个所述分支路均连接有所述波纹管，每条所述波纹管上均设置有所述开关阀，所述波纹管用于与所述钢瓶连通。

11、可选地，所述活动平台包括连接于所述基座的拉杆；和/或，所述滚轮构造为万向轮。

12、通过上述技术方案，用于lds设备的抽取装置使用时，通过将干式泵放置在活动平台上，通过活动平台拉动干式泵移动，从而扩大干式泵的移动范围，并且在抽取完成后方便对干式泵进行收纳放置，避免干式泵长期放置在固定位置占用生产空间，同时将干式泵通过分歧管与与多个lds设备连接，在需要更换lds设备内部钢瓶时可以通过一个干式泵抽取多台lds设备钢瓶内残余化学品，解决多台lds设备同时更换内部钢瓶时对于干式泵需求量大的问题。

13、本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

技术特征：

1.一种用于lds设备的抽取装置，其特征在于，所述抽取装置包括干式泵和活动平台，所述干式泵设置在所述活动平台上，所述活动平台的底部设置有滚轮，所述干式泵进液口上连接有分歧管路，所述分歧管路具有多个分支路，每个所述分支路用于与一个lds设备中的钢瓶连通。

2.根据权利要求1所述的用于lds设备的抽取装置，其特征在于，所述活动平台包括基座，所述干式泵设置在所述基座上，所述基座上还设置有固定机构，所述固定机构用于将所述干式泵选择地固定于所述基座。

3.根据权利要求2所述的用于lds设备的抽取装置，其特征在于，所述固定机构包括驱动结构和两个沿预设方向间隔设置的夹持板，所述干式泵设置在两个所述夹持板之间，每个所述夹持板均连接所述驱动结构，所述驱动结构用于驱动所述夹持板沿预设方向移动。

4.根据权利要求3所述的用于lds设备的抽取装置，其特征在于，所述驱动结构包括设置于基座的至少一个驱动缸，所述驱动缸具有沿所述预设方向布置的伸缩杆，所述伸缩杆的末端与所述夹持板连接。

5.根据权利要求4所述的用于lds设备的抽取装置，其特征在于，所述驱动结构包括支撑板和导向柱，所述支撑板连接于所述基座，所述驱动缸固定于所述支撑板，所述导向柱沿所述预设方向延伸，并可滑动地连接于所述支撑板，所述导向柱的末端与所述夹持板连接。

6.根据权利要求5所述的用于lds设备的抽取装置，其特征在于，所述支撑板构造为l形板并包括第一板体和第二板体，所述第一板体与所述基座连接，所述第二板体沿竖直方向延伸，所述驱动缸和所述导向柱设置在所述第二板体上。

7.根据权利要求3所述的用于lds设备的抽取装置，其特征在于，所述夹持板上设置有柔性垫，所述柔性垫用于抵接于所述干式泵。

8.根据权利要求2所述的用于lds设备的抽取装置，其特征在于，所述基座上还设置有摩擦垫，所述干式泵放置在所述摩擦垫上。

9.根据权利要求1所述的用于lds设备的抽取装置，其特征在于，所述抽取装置包括波纹管和开关阀，每个所述分支路均连接有所述波纹管，每条所述波纹管上均设置有所述开关阀，所述波纹管用于与所述钢瓶连通。

10.根据权利要求2所述的用于lds设备的抽取装置，其特征在于，所述活动平台包括连接于所述基座的拉杆；和/或，所述滚轮构造为万向轮。

技术总结本公开涉及一种用于LDS设备的抽取装置，所述抽取装置包括干式泵和活动平台，所述干式泵设置在所述活动平台上，所述活动平台的底部设置有滚轮，所述干式泵进液口上连接有分歧管路，所述分歧管路具有多个分支路，每个所述分支路用于与一个LDS设备中的钢瓶连通。该抽取装置能够解决多台LDS设备同时更换内部容器钢瓶时对于干式泵需求量大的问题。技术研发人员：王仁毅受保护的技术使用者：成都紫光半导体科技有限公司技术研发日：20231218技术公布日：2024/7/18