用于流体流量装置的流动限制器的制作方法

背景技术：

1、流动限制器是限制流体(即气体或液体)流动的装置。对于包括气体输送系统在内的各种应用来说，流动限制器的限制流体流动的性能的确定性非常重要。例如，半导体制造要求能够通过用于半导体制造的气体输送系统的质量流量控制器中的流动限制器来实现一种气体的预定流量或两种气体之间的流量比的高度确定性。此外，当在半导体制造中要求高精度地测量气体流量时，流量计中的限制器可以帮助实现由流量计指示的流量的精度的高确定性。因此，从提高各种工业应用中的流体输送品质的角度来看，降低诸如质量流量控制器和流量计之类的流体流量装置的流动限制器的性能的不确定性是期望的；然而，迄今为止，技术挑战一直阻碍限制器设计的进步。

技术实现思路

1、为了解决上述问题，提供了一种流动限制器。根据本公开的一个方面，流动限制器包括：第一片材，其包括流动通道；以及第二片材，其堆叠在第一片材上。在第二片材中设置有孔。流动通道包括第一片材的表面中的凹槽，该凹槽与第一片材的周边区域处的扩展区连通。第二片材的周边边缘在扩展区中与第一片材接触。

2、根据本公开的另一方面，流动限制器包括：第一片材，其包括流动通道；以及第二片材，其堆叠在第一片材上。在第二片材中设置有孔，并且流动通道是在第一片材的厚度中的蛇形凹槽，并且在从上方观察时沿着第一片材的表面形成蛇形形状。

3、根据本公开的又一方面，流动限制器包括：第一片材，其包括流动通道；以及第二片材，其堆叠在第一片材上。在第二片材中设置有孔，第二片材包括贯穿第二片材的整个厚度的狭缝，并且第一片材和第二片材堆叠并对齐以形成穿过第二片材的狭缝以及第一片材的流动通道的连续流动路径。

4、该技术实现要素：部分是为了以简化的形式介绍一些概念的选择，这些概念将在下面的具体实施方式中进一步说明。该发明内容部分并不旨在识别所要求保护的主题的关键特征或基本特征，也不旨在用于限制所要求保护的主题的范围。此外，所要求保护的主题不限于解决本公开的任何部分中指出的任何或所有缺点的实施方式。

技术特征：

1.一种流动限制器，其包括：

2.根据权利要求1所述的流动限制器，其中，所述流动通道是围绕所述孔分布的多个流动通道中的一者。

3.根据权利要求2所述的流动限制器，其中，每个流动通道包括从所述孔螺旋至所述第一片材的所述周边区域处的相应扩展区的相应凹槽。

4.根据权利要求1所述的流动限制器，其中，

5.根据权利要求4所述的流动限制器，其还包括：

6.根据权利要求1所述的流动限制器，其中，

7.根据权利要求6所述的流动限制器，其中，当在所述第二片材的垂直横截面中观察时，所述连续流动路径形成沿着所述第二片材的厚度方向延伸的蛇形形状。

8.根据权利要求1所述的流动限制器，其中，所述第二片材具有相对于所述第一片材的表面粗糙化的表面。

9.一种流动限制器，其包括：

10.根据权利要求9所述的流动限制器，其中，所述流动通道包括在所述第一片材的所述厚度中的多个蛇形凹槽。

11.根据权利要求10所述的流动限制器，其中，所述多个蛇形凹槽中的每一者包括沿着径向方向延伸的一对径向部以及限定多个径向部之间的流动路径的多个弓形部。

12.根据权利要求9所述的流动限制器，其中，

13.根据权利要求12所述的流动限制器，其还包括：

14.根据权利要求9所述的流动限制器，其中，

15.根据权利要求14所述的流动限制器，其中，当在所述第二片材的垂直横截面中观察时，所述连续路径形成沿着所述第二片材的厚度方向延伸的蛇形形状。

16.根据权利要求9所述的流动限制器，其中，所述第二片材具有相对于所述第一片材的表面粗糙化的表面。

17.一种流动限制器，其包括：

18.根据权利要求17所述的流动限制器，其中，当在所述第二片材的垂直横截面中观察时，所述连续流动路径形成沿着所述第二片材的厚度方向延伸的蛇形形状。

19.根据权利要求17所述的流动限制器，其中，

20.根据权利要求19所述的流动限制器，其还包括：

技术总结提供了一种流动限制器，其包括具有流动通道的第一片材和堆叠在第一片材上的第二片材。在第二片材中设置有孔。流动通道包括第一片材的表面中的凹槽，该凹槽与第一片材的周边区域处的扩展区连通。第二片材的周边边缘在扩展区中与第一片材接触。技术研发人员：安德鲁·韦恩·普莱斯,艾拉·本杰明·哈特曼,埃斯特班·丹尼尔·冈萨雷斯,威廉·怀利·怀特,弗吉尼亚·安·米勒受保护的技术使用者：株式会社堀场STEC技术研发日：技术公布日：2024/7/23