一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装的制作方法

本发明属于碳化硅涂层测厚，尤其涉及一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装。

背景技术：

1、石墨是一种由碳原子组成的层状结构材料，具有良好的电导性、热导性、耐高温性、化学稳定性等特点，因此在一些实验室中通常会需要用到石墨所制成的坩埚，而为了增强石墨坩埚的耐热性和化学稳定性，会在石墨坩埚内壁涂抹一层碳化硅涂层，而石墨坩埚在使用过程中，内壁的碳化硅涂层通常会随着时间和使用条件而逐渐变薄，这种现象是由于化学反应、高温下的热膨胀和腐蚀等因素导致的，变薄的涂层会影响坩埚的性能，因此需要定期检查涂层的厚度，并根据需要进行维护或更换。

2、但在对碳化硅涂层的厚度进行检测时，实验员通常会利用涂层测厚仪对碳化硅涂层厚度进行检测，但由于石墨坩埚在使用的过程中可能存在各种样品残留或反应产物，这些物质会在碳化硅涂层上沉积或吸附，导致内壁粘附杂质，当实验员对碳化硅涂层粘附杂质的位置进行测厚时，涂层测厚仪与碳化硅涂层之间在杂质的遮挡下无法直接接触，导致无法精确测试出涂层的厚度，降低测厚的精确性，并且杂质的粘附会影响石墨坩埚的实验结果，降低石墨坩埚的使用性能。

3、为此，我们提出一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装解决上述问题。

技术实现思路

1、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

2、一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装，包括底板，所述底板的顶端侧壁开设有安装凹槽，所述安装凹槽的两端内壁转动连接有同一个螺杆，所述底板的一端侧壁固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端贯穿底板的侧壁与螺杆的一端固定连接，所述螺杆杆壁通过螺纹转动连接有移动板，所述移动板的顶端侧壁固定连接有连接板，所述连接板的一端侧壁固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的伸缩端固定连接有圆板，所述圆板的一端侧壁固定连接有安装杆，所述安装杆的杆壁开设有第一凹槽，所述第一凹槽内壁固定连接有第三电动伸缩杆，所述第三电动伸缩杆的伸缩端固定连接有涂层测厚仪，所述安装杆的杆壁开设有第二凹槽，所述第二凹槽内壁固定连接有杂质检测组件，所述安装杆的杆壁开设有第三凹槽，所述第三凹槽内壁固定连接有清理收集组件，所述底板的顶端侧壁固定连接有旋转固定组件。

3、优选地，所述旋转固定组件包括底板顶端侧壁固定连接的固定板，所述固定板的侧壁转动连接有转动筒，所述转动筒的外壁固定连接有第一齿轮，所述固定板的侧壁转动连接有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮相啮合，所述固定板的侧壁固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端贯穿固定板的侧壁与第二齿轮的一端侧壁固定连接，所述转动筒的内壁固定连接有多个第一电动伸缩杆，多个所述第一电动伸缩杆的伸缩端均固定连接有夹板。

4、优选地，所述杂质检测组件包括第二凹槽内壁固定连接的第四电动伸缩杆，所述第四电动伸缩杆的伸缩端固定连接有外壳，所述外壳的一端内壁固定连接有压力传感器，所述压力传感器的一端设置有支撑弹簧，所述外壳内壁移动连接有移动块，所述支撑弹簧的一端与移动块的侧壁固定连接，所述移动块的侧壁固定连接有支杆，所述支杆的一端贯穿外壳的侧壁固定连接有弧形板。

5、优选地，所述弧形板的侧壁开设有第四凹槽，所述第四凹槽的两端内壁转动连接有多个转动杆，所述转动杆的杆壁均固定连接有多个圆杆，多个所述圆杆的一端均固定连接有凸台，所述第四凹槽的内壁设置有风机。

6、优选地，所述外壳的内壁开设有第五凹槽，所述第五凹槽的内壁固定连接有电阻板，所述移动块的侧壁固定连接有导电板，所述导电板的侧壁与电阻板的变阻面位于同一平面，所述外壳的顶端侧壁固定连接有喷洒组件。

7、优选地，所述喷洒组件包括外壳顶端侧壁固定连接的支板，所述支板的一端侧壁固定连接有支撑柱，所述支撑柱的一端固定连接有连接壳，所述连接壳的一端侧壁固定连接有喷头，所述喷头的进水端贯穿连接壳的侧壁向内伸出，所述连接壳的侧壁固定连接有水泵，所述水泵的出水端贯穿连接壳的侧壁向内伸出。

8、优选地，所述安装杆的杆壁固定连接有储液壳，所述储液壳的顶端侧壁开设有通孔，且对应通孔内部固定连接有进液管，所述储液壳的一端侧壁开设有通孔，且对应通孔内部固定连接有弹簧软管，所述弹簧软管的一端与水泵的进水端固定连通。

9、优选地，所述清理收集组件包括第三凹槽内壁固定连接的第五电动伸缩杆，所述第五电动伸缩杆的伸缩端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端侧壁固定连接有刮刀，所述支撑板的侧壁固定连接有收集壳。

10、与现有技术相比，本发明的有益效果为：

11、1、通过设置的杂质检测组件能够自动检测出碳化硅涂层表面的杂质，向杂质所在的位置喷洒清洁液，便于刮刀将杂质刮除，防止涂层测厚仪对碳化硅涂层检测时，被杂质遮挡，不能够与碳化硅涂层直接接触，影响对碳化硅涂层厚度检测时的准确性，提高该工装对碳化硅涂层厚度检测时的稳定性和可靠性，同时能够在检测出碳化硅涂层表面粘附杂质之后再控制刮刀与碳化硅涂层接触，减少刮刀与碳化硅涂层之间的摩擦，防止过度摩擦对碳化硅涂层造成损伤。

12、2、通过设置的电阻板、移动块以及导电板能够根据碳化硅涂层表面所粘附杂质的厚度来调节喷头与水泵的功率，从而控制向碳化硅涂层表面所粘附杂质位置喷洒清洁液的数量，便于对杂质更好的清洁，同时能够避免过度清洁导致碳化硅涂层的表面磨损，避免浪费清洁液和能源，提高资源利用效率和清洁效率。

13、3、通过设置的第四凹槽、转动杆、圆杆以及凸台能够对碳化硅涂层表面所粘附的杂质检测的同时，在接触到杂质之后，在摩擦力的作用下，随着石墨坩埚的转动，此时转动杆会转动，带动凸台转动，从而在杂质表面扎出多个小洞，便于后续对杂质喷洒清洁液时增大清洁液与杂质之间的接触面积，便于对杂质进行高效的清洁，同时能够减少与碳化硅涂层之间的摩擦，避免对碳化硅涂层造成损伤，提高该工装的使用效果以及可靠性。

技术特征：

1.一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装，包括底板（1），其特征在于，所述底板（1）的顶端侧壁开设有安装凹槽（2），所述安装凹槽（2）的两端内壁转动连接有同一个螺杆（3），所述底板（1）的一端侧壁固定连接有第二电机（4），所述第二电机（4）的输出端贯穿底板（1）的侧壁与螺杆（3）的一端固定连接，所述螺杆（3）杆壁通过螺纹转动连接有移动板（5），所述移动板（5）的顶端侧壁固定连接有连接板（6），所述连接板（6）的一端侧壁固定连接有第二电动伸缩杆（7），所述第二电动伸缩杆（7）的伸缩端固定连接有圆板（8），所述圆板（8）的一端侧壁固定连接有安装杆（9），所述安装杆（9）的杆壁开设有第一凹槽（10），所述第一凹槽（10）内壁固定连接有第三电动伸缩杆（17），所述第三电动伸缩杆（17）的伸缩端固定连接有涂层测厚仪（11），所述安装杆（9）的杆壁开设有第二凹槽（12），所述第二凹槽（12）内壁固定连接有杂质检测组件（13），所述安装杆（9）的杆壁开设有第三凹槽（14），所述第三凹槽（14）内壁固定连接有清理收集组件（15），所述底板（1）的顶端侧壁固定连接有旋转固定组件（16）。

2.根据权利要求1所述的一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装，其特征在于，所述旋转固定组件（16）包括底板（1）顶端侧壁固定连接的固定板（161），所述固定板（161）的侧壁转动连接有转动筒（162），所述转动筒（162）的外壁固定连接有第一齿轮（163），所述固定板（161）的侧壁转动连接有第二齿轮（164），所述第二齿轮（164）与第一齿轮（163）相啮合，所述固定板（161）的侧壁固定连接有第一电机（165），所述第一电机（165）的输出端贯穿固定板（161）的侧壁与第二齿轮（164）的一端侧壁固定连接，所述转动筒（162）的内壁固定连接有多个第一电动伸缩杆（166），多个所述第一电动伸缩杆（166）的伸缩端均固定连接有夹板（167）。

3.根据权利要求1所述的一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装，其特征在于，所述杂质检测组件（13）包括第二凹槽（12）内壁固定连接的第四电动伸缩杆（131），所述第四电动伸缩杆（131）的伸缩端固定连接有外壳（132），所述外壳（132）的一端内壁固定连接有压力传感器（133），所述压力传感器（133）的一端设置有支撑弹簧（134），所述外壳（132）内壁移动连接有移动块（135），所述支撑弹簧（134）的一端与移动块（135）的侧壁固定连接，所述移动块（135）的侧壁固定连接有支杆（136），所述支杆（136）的一端贯穿外壳（132）的侧壁固定连接有弧形板（137）。

4.根据权利要求3所述的一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装，其特征在于，所述弧形板（137）的侧壁开设有第四凹槽（138），所述第四凹槽（138）的两端内壁转动连接有多个转动杆（139），所述转动杆（139）的杆壁均固定连接有多个圆杆（1310），多个所述圆杆（1310）的一端均固定连接有凸台（1311），所述第四凹槽（138）的内壁设置有风机（1312）。

5.根据权利要求3所述的一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装，其特征在于，所述外壳（132）的内壁开设有第五凹槽（1313），所述第五凹槽（1313）的内壁固定连接有电阻板（1314），所述移动块（135）的侧壁固定连接有导电板（1315），所述导电板（1315）的侧壁与电阻板（1314）的变阻面位于同一平面，所述外壳（132）的顶端侧壁固定连接有喷洒组件（1316）。

6.根据权利要求5所述的一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装，其特征在于，所述喷洒组件（1316）包括外壳（132）顶端侧壁固定连接的支板（1317），所述支板（1317）的一端侧壁固定连接有支撑柱（1318），所述支撑柱（1318）的一端固定连接有连接壳（1319），所述连接壳（1319）的一端侧壁固定连接有喷头（1320），所述喷头（1320）的进水端贯穿连接壳（1319）的侧壁向内伸出，所述连接壳（1319）的侧壁固定连接有水泵（1321），所述水泵（1321）的出水端贯穿连接壳（1319）的侧壁向内伸出。

7.根据权利要求6所述的一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装，其特征在于，所述安装杆（9）的杆壁固定连接有储液壳（1322），所述储液壳（1322）的顶端侧壁开设有通孔，且对应通孔内部固定连接有进液管（1323），所述储液壳（1322）的一端侧壁开设有通孔，且对应通孔内部固定连接有弹簧软管（1324），所述弹簧软管（1324）的一端与水泵（1321）的进水端固定连通。

8.根据权利要求1所述的一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装，其特征在于，所述清理收集组件（15）包括第三凹槽（14）内壁固定连接的第五电动伸缩杆（151），所述第五电动伸缩杆（151）的伸缩端固定连接有支撑板（152），所述支撑板（152）的顶端侧壁固定连接有刮刀（153），所述支撑板（152）的侧壁固定连接有收集壳（154）。

技术总结本发明公开了一种用于石墨表面碳化硅涂层测厚工装，本发明涉及碳化硅涂层测厚技术领域，包括底板，所述底板的顶端侧壁开设有安装凹槽，所述安装凹槽的两端内壁转动连接有同一个螺杆，所述底板的一端侧壁固定连接有第二电机。本发明能够自动检测出碳化硅涂层表面的杂质，向杂质所在的位置喷洒清洁液，便于刮刀将杂质刮除，防止涂层测厚仪对碳化硅涂层检测时，被杂质遮挡，不能够与碳化硅涂层直接接触，影响对碳化硅涂层厚度检测时的准确性，提高该工装对碳化硅涂层厚度检测时的稳定性和可靠性，能够在检测出碳化硅涂层表面粘附杂质之后再控制刮刀与碳化硅涂层接触，减少刮刀与涂层之间的摩擦，防止过度摩擦对碳化硅涂层造成损伤。技术研发人员：王玉尧,王加通,张德港,李悦,杨振鲁受保护的技术使用者：嘉祥洪润电碳有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/23