探针组件及探针台的制作方法

本申请涉及晶圆检测的，尤其涉及一种探针组件及探针台。

背景技术：

1、在现有的探针台技术领域中，针压传感器应用于测试探针扎在晶圆上的力(通常要求在5g以内)，来避免探针对晶圆造成损坏。

2、当前的针压传感器的受力方向为垂直受力，其捕捉到的探针作用于晶圆上的力不够准确，换言之，其压力测算精准度较低。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种探针组件及探针台，可以精准地捕捉到探针在晶圆上的作用力，并避免所述探针对晶圆的损伤。

2、第一方面，本申请提供一种探针组件，所述探针组件包括：

3、探针，所述探针用于检测晶圆，当所述探针接触晶圆时，所述探针具有针压；

4、探针臂，所述探针臂沿第一方向延伸，所述探针臂连接于所述探针且所述探针相对于所述探针臂倾斜，且所述探针臂用于调节所述探针的位置；及

5、针压传感器，所述针压传感器用于检测所述探针的针压值，所述针压传感器包括相连的第一传感部及第二传感部，所述第一传感部连接于所述探针臂背离所述探针的一侧，所述第一传感部沿第一方向延伸，所述第二传感部连接于所述第一传感部背离所述探针臂的一侧，所述第二传感部沿第二方向延伸，且所述第二方向垂直于所述第一方向。

6、其中，所述探针包括相连的主体部及针尖部，所述主体部固定于所述探针臂，所述针尖部设置于所述主体部背离所述探针臂的一侧，所述针尖部用于接触晶圆，且所述第二传感部设置于所述第一传感部邻近所述针尖部的一侧。

7、其中，所述第一传感部包括弹性主体，所述第一传感部还具有连通的第一通槽及第二通槽，所述第一通槽沿第三方向贯通于所述弹性主体，所述第二通槽沿第三方向贯通于所述弹性主体，且所述第三方向垂直于所述第一方向。

8、其中，沿所述第一方向，所述第一传感部具有长度范围l1，所述长度范围l1满足：27mm≤l1≤33mm。

9、其中，所述针压传感器还包括感应片，所述感应片收容于所述第一通槽及所述第二通槽内，所述感应片抵接至所述弹性主体，当所述感应片产生形变时，所述感应片产生感应信号，所述感应信号用于反馈所述探针的针压值。

10、其中，所述探针组件还包括控制器，所述控制器电连接于所述感应片，并接收所述感应信号，所述控制器根据所述感应信号产生控制信号，所述控制信号用于调整所述探针的位置。

11、其中，沿所述第二方向，所述第二传感部具有长度范围l2，所述长度范围l2满足：18mm≤l2≤22mm。

12、其中，所述探针组件还包括探针底座，所述探针底座连接于所述第二传感部背离所述第一传感部的一侧，并用于固定所述针压传感器、所述探针臂及所述探针。

13、其中，所述探针组件还包括第一紧固件及第二紧固件，所述第一传感部具有第一通孔，所述探针臂具有第二通孔，所述第一紧固件穿设于所述第一通孔及所述第二通孔，并将所述第一传感部固定于所述探针臂，所述第二传感部具有第三通孔，所述探针底座具有第四通孔，所述第二紧固件穿设于所述第三通孔及所述第四通孔，并将所述第二传感部固定于所述探针底座。

14、第二方面，本申请提供一种探针台，所述探针台包括检测台及所述探针组件，所述检测台用于承载待检测的晶圆，所述探针组件设置于所述检测台的一侧，并用于检测所述晶圆。

15、综上所述，本申请实施方式提供的所述探针组件包括探针、探针臂及针压传感器。所述探针相对于所述探针臂倾斜。所述针压传感器的所述第一传感部沿第一方向延伸，所述第二传感部沿第二方向延伸，且所述第二方向垂直于所述第一方向，使得所述第一传感部与所述第二传感部受到的合力方向近似于所述探针的倾斜方向，进而对所述针压传感器的感应信号进行测算后得到的压力值会更加接近于探针的针压值，从而可以精准地捕捉到探针在晶圆上的作用力，确保探针台对探针针压的测算精准度，进而有效地保护所述探针不会刺破和损伤晶圆，提升所述探针台的可靠性。

技术特征：

1.一种探针组件，其特征在于，所述探针组件包括：

2.如权利要求1所述的探针组件，其特征在于，所述探针包括相连的主体部及针尖部，所述主体部固定于所述探针臂，所述针尖部设置于所述主体部背离所述探针臂的一侧，所述针尖部用于接触晶圆，且所述第二传感部设置于所述第一传感部邻近所述针尖部的一侧。

3.如权利要求1所述的探针组件，其特征在于，所述第一传感部包括弹性主体，所述第一传感部还具有连通的第一通槽及第二通槽，所述第一通槽沿第三方向贯通于所述弹性主体，所述第二通槽沿第三方向贯通于所述弹性主体，且所述第三方向垂直于所述第一方向。

4.如权利要求3所述的探针组件，其特征在于，沿所述第一方向，所述第一传感部具有长度范围l1，所述长度范围l1满足：27mm≤l1≤33mm。

5.如权利要求3所述的探针组件，其特征在于，所述针压传感器还包括感应片，所述感应片收容于所述第一通槽及所述第二通槽内，所述感应片抵接至所述弹性主体，当所述感应片产生形变时，所述感应片产生感应信号，所述感应信号用于反馈所述探针的针压值。

6.如权利要求5所述的探针组件，其特征在于，所述探针组件还包括控制器，所述控制器电连接于所述感应片，并接收所述感应信号，所述控制器根据所述感应信号产生控制信号，所述控制信号用于调整所述探针的位置。

7.如权利要求3所述的探针组件，其特征在于，沿所述第二方向，所述第二传感部具有长度范围l2，所述长度范围l2满足：18mm≤l2≤22mm。

8.如权利要求1所述的探针组件，其特征在于，所述探针组件还包括探针底座，所述探针底座连接于所述第二传感部背离所述第一传感部的一侧，并用于固定所述针压传感器、所述探针臂及所述探针。

9.如权利要求8所述的探针组件，其特征在于，所述探针组件还包括第一紧固件及第二紧固件，所述第一传感部具有第一通孔，所述探针臂具有第二通孔，所述第一紧固件穿设于所述第一通孔及所述第二通孔，并将所述第一传感部固定于所述探针臂，所述第二传感部具有第三通孔，所述探针底座具有第四通孔，所述第二紧固件穿设于所述第三通孔及所述第四通孔，并将所述第二传感部固定于所述探针底座。

10.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括检测台及如权利要求1～9任意一项所述的探针组件，所述检测台用于承载待检测的晶圆，所述探针组件设置于所述检测台的一侧，并用于检测所述晶圆。

技术总结本申请提供一种探针组件及探针台。探针组件包括探针、探针臂及针压传感器。探针用于检测晶圆，当探针接触晶圆时，探针具有针压。探针臂沿第一方向延伸，探针臂连接于探针且探针相对于探针臂倾斜，且探针臂用于调节探针的位置。针压传感器用于检测探针的针压值，针压传感器包括相连的第一传感部及第二传感部，第一传感部连接于探针臂背离探针的一侧，第一传感部沿第一方向延伸，第二传感部连接于第一传感部背离探针臂的一侧，第二传感部沿第二方向延伸，且第二方向垂直于第一方向。所述针压传感器可以精准地捕捉到探针在晶圆上的作用力，并避免所述探针对晶圆的损伤。技术研发人员：欧晓永受保护的技术使用者：深圳市森美协尔科技有限公司技术研发日：20231103技术公布日：2024/7/23