电子束尺寸测量装置及测量方法与流程

本公开涉及真空电子设备，特别涉及一种电子束尺寸测量装置及测量方法。

背景技术：

1、电子束是指大量电子以较小发散度定向移动形成的束流，一般通过电子束源发射得到。近些年来，电子束广泛应用于材料蒸发、真空焊接、表面改性、涂层制备、污水处理、x射线源等领域。在大部分应用(如x射线源)中，电子束的尺寸至关重要。

2、精确测量电子束的尺寸有助于改善电子束源的结构设计和工作参数，

3、但是，目前仍缺乏一种兼顾设计简单、操作简便、结果可靠、经济实用等特点的电子束尺寸测量方法。

技术实现思路

1、本公开提供了一种电子束尺寸测量装置，包括：

2、电子束源，用于发射电子束；

3、阳极靶，包括用于接收电子束的轰击表面，轰击表面包括并排的第一材料表面和第二材料表面；

4、驱动装置，与电子束源和/或阳极靶连接，用于驱动电子束源和/或阳极靶相对运动，以使电子束扫描第一材料表面和第二材料表面；以及

5、检测装置，用于检测轰击表面被电子束轰击后产生的信号，信号用于确定电子束尺寸。

6、本公开提供了一种电子束尺寸测量方法，包括以下步骤：

7、用电子束在阳极靶的轰击表面扫描，使得电子束扫描通过轰击表面的第一材料表面和第二材料表面；

8、检测轰击表面被电子束轰击后产生的信号；

9、基于信号，确定电子束尺寸。

技术特征：

1.一种电子束尺寸测量装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的电子束尺寸测量装置，其特征在于，所述第一材料表面和所述第二材料表面具有大致线性界面。

3.根据权利要求1所述的电子束尺寸测量装置，其特征在于，所述第一材料表面包括第一金属材料，所述第二材料表面包括与所述第一金属材料不同的第二金属材料。

4.根据权利要求1所述的电子束尺寸测量装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的电子束尺寸测量装置，其特征在于，所述阳极靶线性运动的方向与所述第一材料表面和所述第二材料表面的线性界面垂直。

6.根据权利要求1所述的电子束尺寸测量装置，其特征在于，所述检测装置包括光电传感器和电信号检测装置。

7.根据权利要求1所述的电子束尺寸测量装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器与所述检测装置连接，用于接收所述检测装置的检测信号，并确定所述电子束的尺寸。

8.根据权利要求7所述的电子束尺寸测量装置，其特征在于，所述控制器与所述驱动装置连接，用于控制所述驱动装置驱动所述电子束源和/或阳极靶运动，并获得所述电子束源和/或阳极靶的运动数据；所述控制器基于所述检测信号相对于运动数据的拐点，确定电子束的尺寸。

9.根据权利要求8所述的电子束尺寸测量装置，其特征在于，所述控制器基于所述运动数据生成检测信号曲线，根据曲线的一阶导数，确定电子束的尺寸。

10.根据权利要求1或4所述的电子束尺寸测量装置，其特征在于，还包括：

11.一种电子束尺寸测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

12.根据权利要求11所述电子束尺寸测量方法，其特征在于，用电子束在阳极靶的轰击表面上扫描包括：

13.根据权利要求11所述电子束尺寸测量方法，其特征在于，基于所述信号确定电子束尺寸包括：

技术总结本公开涉及真空电子设备技术领域，公开了一种电子束尺寸测量装置及测量方法。电子束尺寸测量装置包括电子束源、阳极靶、驱动装置和检测装置。电子束源用于发射电子束。阳极靶包括用于接收电子束的轰击表面，轰击表面包括并排的第一材料表面和第二材料表面。驱动装置与电子束源和/或阳极靶连接，用于驱动电子束源和/或阳极靶相对运动，以使电子束扫描第一材料表面和第二材料表面。检测装置，用于检测轰击表面被电子束轰击后产生的信号，信号用于确定电子束尺寸。技术研发人员：胡鹏,李华伟,叶玉儿,谭海斌,宋世恒,赵嘉峰受保护的技术使用者：费勉仪器科技（上海）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/25