电子束 - 技术新讯

用于掩埋特征的套刻测量的电子束优化的制作方法

本文提供的实施例涉及一种系统和方法，用于优化电子束参数，诸如扫描电子显微镜(sem)操作参数，用于测量掩埋特征，更具体地，用于提高套刻测量效率。背景技术：1、在集成电路(ic)的制造过程中，检查未完成......

2024-11-21 71

#电子束#制作方法#测量

一种电子束曝光机的工件台系统的制作方法

本发明涉及电子束曝光，具体涉及一种电子束曝光机内部的超精密工件台系统。背景技术：1、电子束曝光机主要应用于微纳米加工领域。一方面电子束曝光可以在计算机控制下直接产生所要求的图形，且修改容易，制作周期短......

2024-10-15 63

#电子束#工件#制作方法

一种用于多叶片电子束焊接的防飞溅、防变形工装的制作方法

本技术涉及叶片焊接，具体涉及一种用于多叶片电子束焊接的防飞溅、防变形工装。背景技术：1、电子束焊接因具有自熔不需要填料、不易氧化、热变形量小等优点而广泛应用于航空航天、原子能、国防及军工等众多领域。电......

2024-09-19 23

#电子束#工装#制作方法

复合脉冲电子束偏压电路、偏压电源和电子枪

本发明涉及电子束加工设备，特别涉及一种复合脉冲电子束偏压电路、偏压电源和电子枪。背景技术：1、高频复合脉冲电子束焊接是一种先进的焊接技术，它结合了高频和低频脉冲的特点，以实现对焊接过程更精细地控制，以......

2024-09-14 56

#偏压#电子枪#电子束

一种改善电子束选区熔化技术制造M247表面质量的方法与流程

本发明属于高温合金制备，具体涉及一种改善电子束选区熔化技术制造m247表面质量的方法。背景技术：1、随着航空航天、动力能源技术的迅速发展，为了满足越来越高的核心装备可靠性、稳定性要求，高温合金已经越来......

2024-08-30 76

#电子束#选区#表面

一种电子束熔炼提高金属钨纯净度的方法与流程

本发明涉及一种电子束熔炼提高金属钨纯净度的方法。背景技术：1、目前国内的高纯钨主要采用化学法提纯+粉末冶金的方法制备，即首先通过化学的方法制备高纯的仲钨酸铵盐(apt)，然后对高纯apt进行煅烧、还原......

2024-08-30 17

#电子束#纯净#流程

一种提高安全性的电子束辐照灭菌设备的制作方法

本技术涉及一种电子束辐照灭菌设备，具体是一种提高安全性的电子束辐照灭菌设备。背景技术：1、辐照灭菌是利用电离辐射产生的电磁波杀死大多数物质上的微生物的一种有效方法。现目前电子束辐照灭菌设备部分安装在屏......

2024-08-05 63

#电子束#制作方法#安全性

用于形成电子束固化涂层的卷钢涂料及钢板的制作方法

本发明涉及一种涂料，尤其涉及一种用于钢板的电子束固化型涂料。背景技术：1、涂层钢板或称为预涂层钢板，是以金属卷材(冷轧板、热镀锌板、镀铝板、锌铝镁板等)为基材，表面涂敷一层或多层有机涂料并固化而成的钢......

2024-08-02 110

#电子束#制作方法#涂层

一种电子束辐照货物保护装置的制作方法

本技术涉及一种保护装置，具体是一种电子束辐照货物保护装置，属于食品货物辐照处理应用。背景技术：1、随着科技的不断发展，食品货物辐照杀菌技术成为了一种新型的货物安全技术，它更加有效的保护食品货物的安全性......

2024-08-02 68

#电子束#制作方法#货物

电子束监视装置及电子束照射系统的制作方法

本公开涉及一种电子束监视装置及电子束照射系统。背景技术：1、作为电子束照射系统，例如在专利文献1中记载了具备将电子束经由出射窗(电子束取出构件)照射于被照射物的电子束照射装置的系统。在该电子束照射装置......

2024-08-02 92

#电子束#制作方法#装置

一种电子束纵向温度调制方法、系统、设备和存储介质

本发明涉及一种适用于高能强流离子束团非线性冷却的电子束纵向温度调制方法、系统、设备和存储介质，应用于高能强流重离子加速器的离子束冷却，属于电子束冷却离子束团。背景技术：1、建设高能强流重离子加速器大科......

2024-07-31 24

#电子束#纵向#温度

电子束扫描设备及其密封阀门装置的制作方法

本发明属于电子束扫描设备在半导体的应用，尤其涉及一种电子束扫描设备及其密封阀门装置。背景技术：1、晶圆缺陷检测设备是半导体制造过程中非常重要的设备之一，对于真空环境的要求极高，需要晶圆缺陷检测设备具有......

2024-07-30 46

#电子束#制作方法#阀门

电子束尺寸测量装置及测量方法与流程

本公开涉及真空电子设备，特别涉及一种电子束尺寸测量装置及测量方法。背景技术：1、电子束是指大量电子以较小发散度定向移动形成的束流，一般通过电子束源发射得到。近些年来，电子束广泛应用于材料蒸发、真空焊接......

2024-07-30 12

#电子束#测量#装置

一种金属纳米针尖的高能电子束原位辐照可控的制备方法

1.本发明属于纳米材料加工技术领域，具体涉及一种金属纳米针尖的高能电子束原位可控的制备方法。背景技术：2.纳米加工技术作为推动纳米科技发展的重要组成部分，在实现光学、电子、半导体、传感器等新型微纳尺度......

2024-07-27 66

#电子束#针尖#原位

三维微纳弯折结构及利用电子束制备其的方法

1.本发明总体上涉及微加工领域，更特别地，涉及一种三维微纳弯折结构及利用电子束制备其的方法。背景技术：2.随着微电子技术的不断发展，三维结构的应用逐渐广泛。相比于二维微纳结构，三维结构具有更高的可控自......

2024-07-27 21

#电子束#结构#方法

基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法

本发明涉及纳米结构控制生长技术领域，具体涉及一种基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法。背景技术：纳米结构的高精度制备技术，是发展纳米器件、纳米机械等纳米科技前沿的重要前提。目前，常用的方......

2024-07-27 26

#电子束#针尖#诱导

电子束或离子束在绝缘材料表面成像或微纳加工的方法

本发明归属微纳加工领域，具体涉及一种电子束或离子束在绝缘材料表面成像或微纳加工的方法。背景技术：聚焦离子束加工技术（fib）是一种多用于半导体工业领域及微纳研究领域的仪器。其原理是离子源发射出离子，经......

2024-07-27 31

#离子束#电子束#绝缘材料

一种基于冰刻的无溶液电子束曝光微纳加工方法及器件与流程

1.本发明属于微纳加工技术领域，具体涉及一种基于冰刻的无溶液电子束曝光微纳加工方法及器件。背景技术：2.电子束曝光是一种重要的微纳加工方法。几十年来，电子束曝光技术的发展推动了纳米科学研究与纳米技术的......

2024-07-27 49

#电子束#溶液#器件

一种基于水冰的电子束诱导刻蚀工艺的制作方法

本发明属于微纳加工制备领域，具体涉及无机/有机纳米材料制备技术，尤其涉及一种基于水冰的电子束诱导刻蚀技术。背景技术：具有单层或多层原子厚度的二维（2d）材料因其与结构有关的独特电子和光学特性而受到广泛......

2024-07-27 46

#电子束#制作方法#诱导

在非导电衬底上进行电子束/离子束聚焦刻蚀及显微成像的方法与流程

本发明涉及微纳加工领域，具体地说，涉及一种在非导电衬底上进行电子束/离子束聚焦刻蚀及显微成像的方法。背景技术：聚焦离子束技术(focusedionbeam，fib)是利用静电透镜将离子束聚焦成非常小尺......

2024-07-27 3

#离子束#电子束#衬底

一种用于电子束的施治器的制作方法

本技术涉及放射治疗，具体地，涉及一种用于电子束的施治器。背景技术：1、通常医用电子加速器应用于放疗，可以采用x射线或电子束。其中x射线穿透能力强，适用于深部肿瘤的放射治疗。电子束穿透能力弱，适用于体表......

2024-07-12 27

#电子束#制作方法

一种移动式电子束术中放射治疗装置的制作方法

本技术涉及医疗器械领域，具体属于术中放射治疗设备。背景技术：1、肿瘤放射治疗是利用放射线治疗肿瘤的一种局部治疗方法。射线种类包括放射性同位素衰变产生的α、β、γ射线、各类x射线治疗机或由加速器产生的电......

2024-07-12 93

#电子束#制作方法#移动式

一种电子束辐照消毒灭菌的装置的制作方法

本技术属于电子束辐照，具体涉及一种电子束辐照消毒灭菌的装置。背景技术：1、电子束辐照技术是利用在高压电场中加速后的电子射线照射物质，通过高能电子与物质的相互作用来电离和激励各种物质的分子，从而引发化学......

2024-07-12 45

#电子束#制作方法#装置

无惰性气体保护的电子束固化印刷装置和方法与流程

本发明涉及印刷领域，具体涉及利用电子束固化的印刷装置和方法。背景技术：1、目前，由于印刷品在各种性能方面形成更为多样化的需求(例如，印刷品需要具备良好的防伪功能和耐流通性能等)，导致需要实施多道印刷工......

2024-07-05 9

#电子束#惰性气体#装置

一种在绝缘衬底使用低电压实现电子束光刻窄线条的方法

本发明涉及一种在绝缘衬底使用低电压实现电子束光刻窄线条的方法，属于半导体器件及集成电路制造工艺。背景技术：1、随着氮化镓基高电子迁移率晶体管工作频率不断提高，器件需要进行等比例的缩小，因此器件制备面临......

2024-06-21 77

#电子束#衬底#光刻

用于掩埋特征的套刻测量的电子束优化的制作方法

一种电子束曝光机的工件台系统的制作方法

一种用于多叶片电子束焊接的防飞溅、防变形工装的制作方法

复合脉冲电子束偏压电路、偏压电源和电子枪

一种改善电子束选区熔化技术制造M247表面质量的方法与流程

一种电子束熔炼提高金属钨纯净度的方法与流程

一种提高安全性的电子束辐照灭菌设备的制作方法

用于形成电子束固化涂层的卷钢涂料及钢板的制作方法

一种电子束辐照货物保护装置的制作方法

电子束监视装置及电子束照射系统的制作方法

一种电子束纵向温度调制方法、系统、设备和存储介质

电子束扫描设备及其密封阀门装置的制作方法

电子束尺寸测量装置及测量方法与流程

一种金属纳米针尖的高能电子束原位辐照可控的制备方法

三维微纳弯折结构及利用电子束制备其的方法

基于针尖增强的电子束诱导碳基纳米结构的可控生长方法

电子束或离子束在绝缘材料表面成像或微纳加工的方法

一种基于冰刻的无溶液电子束曝光微纳加工方法及器件与流程

一种基于水冰的电子束诱导刻蚀工艺的制作方法

在非导电衬底上进行电子束/离子束聚焦刻蚀及显微成像的方法与流程

一种用于电子束的施治器的制作方法

一种移动式电子束术中放射治疗装置的制作方法

一种电子束辐照消毒灭菌的装置的制作方法

无惰性气体保护的电子束固化印刷装置和方法与流程

一种在绝缘衬底使用低电压实现电子束光刻窄线条的方法

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