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一种基于真空微蒸发的离子束溅射金刚石双镀层制备方法与流程
本发明属于金属基复合材料制备，具体涉及一种基于真空微蒸发的离子束溅射金刚石双镀层制备方法。背景技术：1、散热材料作为制约航空航天设备、智能终端、工业互联网和数据中心、智能网联汽车、6g等重点行业发展的......
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反射型掩模坯料的制造方法、反射型掩模坯料以及聚焦离子束加工装置与流程
本发明涉及在半导体制造领域中使用的反射型掩模坯料的制造方法、反射型掩模坯料以及聚焦离子束加工装置。背景技术：1、近年来，在光刻技术中，使用了极紫外(extreme ultra violet：以下称为e......
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用于具有专用低溅射率离子束的颗粒控制的高入射角石墨的制作方法
本发明大体上涉及离子注入系统，更具体地涉及用于在离子注入系统中增强原子膜去除并提高溅射率的系统、装置和方法。背景技术：1、在半导体器件的制造中，离子注入用于在半导体中掺杂杂质。离子注入系统通常用于用来......
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高效率多光谱硫化锌窗口的离子束抛光方法和系统与流程
本发明涉及离子束抛光，具体地，涉及一种高效率多光谱硫化锌窗口的离子束抛光方法和系统。背景技术：1、硫化锌材料硬度较低且脆性大，是一种宽禁带(3.72ev)ⅱ-ⅵ族半导体材料，在近红外(1～3μm)、中......
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一种用于离子束抛光的可调节移动式球形夹具及其使用方法与流程
本发明涉及精密制造，具体是一种用于离子束抛光的可调节移动式球形夹具及其使用方法。背景技术：1、在超精密制造技术的发展，对加工元件的结构特殊性，及加工效率提升的要求，在利用加工设备对加工工件加工过程中，......
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一种不使用扫描电镜的双束离子束显微镜设备及其实现方法与流程
本发明涉及一种电子显微镜设备及其实现方法，特别涉及一种用于聚焦离子束-扫描电子显微镜sdb的不使用扫描电镜的双束离子束显微镜设备及其实现方法。背景技术：1、随着芯片集成化趋势愈发明显，半导体分析市场已......
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一种离子束角度测量装置的制作方法
本技术属于离子束分析设备，具体地涉及一种离子束角度测量装置。背景技术：1、目前，在半导体离子注入等工艺中，需要产生所需的离子束，并在进行工艺前对离子束进行检测分析，以确认其符合要求。现有的离子束角度分......
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一种射频离子源中和器及离子束溅射沉积和刻蚀设备的制作方法
本技术涉及离子束溅射沉积和刻蚀，特别是一种射频离子源中和器及离子束溅射沉积和刻蚀设备。背景技术：1、离子束溅射沉积和刻蚀是一种具有较高加工精度的镀膜和刻蚀技术，其中，离子源中和器对镀膜质量和刻蚀质量影......
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离子注入设备的打火侦测及离子束快速关断装置及方法与流程
本专利申请涉及半导体制造技术，尤其是一种离子注入设备的打火侦测及离子束快速关断装置及方法。背景技术：1、在半导体制造技术中，可以采用离子注入技术将期望的物质掺杂到晶片中。图1显示一种包含于离子注入机内......
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一种基于脉冲离子束的光学材料原子深度图形转移方法
本发明涉及光刻，尤其涉及一种基于脉冲离子束的光学材料原子深度图形转移方法。背景技术：1、原子和近原子尺度的制造工业(atomic and close-to-atomic scalemanufactur......
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射频耦合离子束辐照装置及方法与流程
本发明涉及射频耦合等离子体领域，具体为射频耦合离子束辐照装置及方法。背景技术：1、离子束辐照技术作为一种重要的物理处理手段，在材料改性、生物医学、环境治理等领域具有广泛的应用前景。目前，离子束辐照技术......
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一种离子束电离凝聚消白设备的制作方法
本技术涉及消白设备领域，尤其涉及一种离子束电离凝聚消白设备。背景技术：1、烟气消白是通过减少或去除工业排放烟气中的水蒸气和与之相关的可见白烟，以改善排放烟气的可视性、降低对环境的不良影响。2、现如今烟......
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利用聚焦离子束设备直接加工悬空绝缘膜的方法与流程
本发明涉及微纳加工，尤其涉及一种利用聚焦离子束设备直接加工悬空绝缘膜的方法。背景技术：1、聚焦离子束(focused ion beam，fib)加工是一种灵活的微纳加工技术。聚焦的高能离子束与固体材料......
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聚焦离子束悬浮微结构加工方法、其系统及悬浮微结构与流程
本发明涉及半导体加工的，具体地，涉及一种聚焦离子束悬浮微结构加工方法、其系统及悬浮微结构。背景技术：1、半导体加工技术是集成电路发展的基石。通过不同工艺加工的悬浮微结构主要用于微传感器、微执行器、微机......
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基于超低能团簇离子束自组装制备功能纳米结构的方法
1.本发明涉及离子束技术与精密加工技术领域，具体涉及一种基于超低能团簇离子束自组装制备功能纳米结构的方法。背景技术：2.随着芯片等高端、特种半导体分立器件微型化、集成化的需求，集成电路早已无处不在，闪......
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基于聚焦离子束刻蚀的加工正型结构的方法及应用与流程
1.本发明涉及一种基于聚焦离子束刻蚀的加工正型结构的方法及应用，属于微纳米制造技术领域。背景技术：2.聚焦离子束(fib)是一种微纳米加工技术，其基本原理与扫描电子显微镜(sem)类似，采用离子源发射......
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电子束或离子束在绝缘材料表面成像或微纳加工的方法
本发明归属微纳加工领域，具体涉及一种电子束或离子束在绝缘材料表面成像或微纳加工的方法。背景技术：聚焦离子束加工技术（fib）是一种多用于半导体工业领域及微纳研究领域的仪器。其原理是离子源发射出离子，经......
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一种离子束诱导的液膜图案化印刷方法与流程
本申请涉及纳米图案印刷技术领域，特别是涉及一种离子束诱导的液膜图案化印刷方法。背景技术：在微纳米尺度驱动液体流动并形成图案化形状这项技术在很多生产生活领域都有非常重要的应用，例如：打印和油墨印刷、微流......
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离子束刻蚀聚四氟乙烯材料表面微结构的方法与流程
本发明涉及疏水表面微结构加工技术领域，具体涉及一种离子束刻蚀聚四氟乙烯材料表面微结构的方法。背景技术：随着科学技术的进步与发展，制冷设备、脱硫设备以及微型反应器对于疏水表面的需求以及耐酸碱腐蚀的要求不......
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在非导电衬底上进行电子束/离子束聚焦刻蚀及显微成像的方法与流程
本发明涉及微纳加工领域，具体地说，涉及一种在非导电衬底上进行电子束/离子束聚焦刻蚀及显微成像的方法。背景技术：聚焦离子束技术(focusedionbeam，fib)是利用静电透镜将离子束聚焦成非常小尺......
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靶材安装结构及离子束溅射设备的制作方法
本申请涉及真空，尤其是一种靶材安装结构及离子束溅射设备。背景技术：1、离子束溅射设备的靶材在镀膜时，靶材面与离子束成一定夹角，如45度，在进行多层复杂的材料薄膜镀膜时，需要使用多种不同材料的靶材。2、......
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小数据传输失败报告的制作方法
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一种河道工程用河道清淤搅动装置的制作方法
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调控叶轮组的制作方法
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一种数据丢失情况下无人水面航行器的航向控制方法
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吊架及空铁交通系统的制作方法
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一种船体上层建筑分段建造工艺的制作方法
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