电子束监视装置及电子束照射系统的制作方法

本公开涉及一种电子束监视装置及电子束照射系统。

背景技术：

1、作为电子束照射系统，例如在专利文献1中记载了具备将电子束经由出射窗(电子束取出构件)照射于被照射物的电子束照射装置的系统。在该电子束照射装置的真空容器(扫描喇叭(scan horn))的侧壁，为了测定从真空容器内引导到外部的电子束，设置有x射线检测器。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2013-053924号公报

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、在上述那样的电子束照射系统中，例如由于微小放电的产生和出射窗的透过率的变动等主要原因，照射于被照射物的电子束的剂量和分布可能变化。因此，例如在将电子束照射系统用于印刷的油墨固化的情况下，可以产生油墨的一部分不固化等问题。因此，在上述那样的电子束照射系统中，希望监视照射于被照射物的电子束的剂量和分布(换言之，实时检测对被照射物照射的过程中的电子束的剂量和分布)。

3、本公开是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于，提供一种能够监视照射于被照射物的电子束的剂量和分布的电子束监视装置和电子束照射系统。

4、用于解决问题的技术手段

5、本公开的一个方面的电子束监视装置是在包括将电子束经由出射窗照射于被照射物的电子束照射装置的电子束照射系统中，监视该电子束的电子束监视装置，电子束监视装置具备：第一x射线检测部，其具有朝向出射窗与被照射物之间的检测面，并且检测x射线；以及第二x射线检测部，其以与出射窗相对的方式配置，并且检测x射线的一维分布或二维分布。

6、经由出射窗照射于被照射物的电子束例如与出射窗和被照射物之间的照射气氛中的气体分子反复碰撞并且照射于被照射物，随着该碰撞产生x射线。即，经由出射窗照射于被照射物的电子束与随着该电子束的照射而产生的x射线有很深的关系。因此，发现通过监视该x射线，能够监视照射于被照射物的电子束。关于这一点，在本公开的一个方面的电子束监视装置中，通过第一x射线检测部，能够监视由照射于被照射物的电子束产生的x射线的剂量。而且，通过第二x射线检测部，能够监视由照射于被照射物的电子束产生的x射线的分布。因此，能够监视照射于被照射物的电子束的剂量和分布。

7、在本公开的一个方面的电子束监视装置中，也可以是出射窗呈长条的形状，第一x射线检测部配置于在出射窗的长边方向上相对于出射窗分开的位置。这样的第一x射线检测部的配置，在出射窗呈长条的形状的情况下，在由第一x射线检测部监视所产生的x射线的整体的剂量的方面是有效的。

8、在本公开的一个方面的电子束监视装置中，也可以是第一x射线检测部仅具备1个第一x射线检测器，所述第一x射线检测器仅具有1个检测x射线的通道。在这种情况下，能够利用仅具有1个检测x射线的通道的第一x射线检测器，不进行复杂的信号处理，而容易地进行所产生的x射线的整体的剂量的监视。

9、在本公开的一个方面的电子束监视装置中，也可以是第一x射线检测部具备多个第一x射线检测器，所述第一x射线检测器仅具有1个检测x射线的通道。进而，多个第一x射线检测器中的一对第一x射线检测器也可以以夹着作为从电子束照射装置照射的电子束到达的范围的电子束到达范围相互相对的方式配置。在这种情况下，通过利用多个仅具有1个检测x射线的通道的第一x射线检测器，能够更正确地进行所产生的x射线的整体的剂量的监视。

10、在本公开的一个方面的电子束监视装置中，也可以是第二x射线检测部具有长条的形状的检测面。在这种情况下，能够利用具有长条的形状的检测面的第二x射线检测部，监视在出射窗的长边方向上的x射线的分布。

11、在本公开的一个方面的电子束监视装置中，也可以是第二x射线检测部具备具有多个检测x射线的通道的第二x射线检测器，多个通道一维状或二维状地排列。在这种情况下，能够利用具有一维状或二维状地排列的多个通道的第二x射线检测器，而更详细地监视x射线的分布。

12、在本公开的一个方面的电子束监视装置中，也可以是第二x射线检测部具备多个仅具有1个检测x射线的通道的第二x射线检测器，多个第二x射线检测器一维状或二维状地排列。在这种情况下，能够利用一维状或二维状地排列的多个第二x射线检测器，而更详细地监视x射线的分布。

13、本公开的一个方面的电子束监视装置也可以具备：准直仪，其配置于出射窗与第二x射线检测部之间，并且将x射线的行进方向限制为沿与出射窗相对的方向。在这种情况下，能够使输入到第二x射线检测部x射线的行进方向沿着与出射窗相对的方向，并且由第二x射线检测部高精度地检测x射线的一维分布或二维分布。

14、本公开的一个方面的电子束监视装置也可以具备：遮断部，其能够遮断输入到第二x射线检测部的x射线。在这种情况下，能够通过遮断部，例如以在检测时以外不将x射线输入到第二x射线检测部的方式遮断该x射线。由此，能够抑制随着向第二x射线检测部的x射线的照射时间增加而第二x射线检测部的灵敏度变化。

15、在本公开的一个方面的电子束监视装置中，也可以是第一x射线检测部和第二x射线检测部配置于不阻碍向被照射物的电子束的照射的位置。进而，也可以是第一x射线检测部和第二x射线检测部配置于作为从电子束照射装置照射的电子束到达的范围的电子束到达范围外。在这种情况下，能够将第一x射线检测部和第二x射线检测部配置于与向被照射物的电子束的照射不干涉的位置。

16、本公开的一个方面的电子束监视装置也可以具备：修正部，其基于第一x射线检测部的检测结果，修正第二x射线检测部的检测结果。由此，能够基于第一x射线检测部的检测结果修正第二x射线检测部的检测结果，抑制由第二x射线检测部的灵敏度变动引起的不良影响。由此，能够高精度地检测x射线的一维分布或二维分布，并且能够高精度地监视照射于被照射物的电子束的分布。

17、在本公开的一个方面的电子束监视装置中，也可以是第一x射线检测部随着时间经过获得检测数据，第二x射线检测部在多个通道中随着时间经过获得检测数据，修正部计算由第一x射线检测部获得的检测数据的变动率作为第1变动率，计算由第二x射线检测部获得的多个检测数据的总和或平均的变动率作为第2变动率，以第2变动率与第1变动率一致的方式，将在第二x射线检测部中的多个通道获得的检测数据的各个乘以修正系数。在这种情况下，能够有效地修正第二x射线检测部的检测结果。

18、在本公开的一个方面的电子束监视装置中，也可以是电子束照射系统包括具备搬送被照射物的搬送面的搬送机构，第一x射线检测部配置于在规定方向上相对于搬送面分开的位置，其中，规定方向为沿搬送面的方向且与搬送机构的搬送方向交叉，第二x射线检测部相对于搬送面配置于出射窗侧的相反侧。在这种情况下，在包括搬送机构的电子束照射系统中，能够将第一x射线检测部和第二x射线检测部应用于对搬送没有影响的位置。

19、本公开的一个方面的电子束照射系统具备上述电子束监视装置。由于在电子束照射系统中，也具备上述电子束监视装置，因此，能够监视照射于被照射物的电子束的剂量和分布。

20、发明的效果

21、根据本公开，能够提供一种能够监视照射于被照射物的电子束的剂量和分布的电子束监视装置和电子束照射系统。