氮气供应结构的制作方法

本技术涉及氮气供应的，特指一种氮气供应结构。

背景技术：

1、半导体封装的生产设备中需要用到氮气的设备种类很多，通常为节约成本，半导体封装车间的氮气多采用制氮机进行供应，利用制氮机进行氮气供应存在以下问题，当氮气用量超出制氮机能力时，氮气供应量不足，会导致生产设备停机，进而影响生产效率及浪费人力。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种氮气供应结构，解决现有的利用制氮机供应氮气虽然成本低但存在氮气供应量不足而导致生产设备停机，进而影响生产效率及浪费人力等的问题。

2、实现上述目的的技术方案是：

3、本实用新型提供了一种氮气供应结构，包括：

4、液氮罐，其内存储有液氮；

5、与所述液氮罐连接的液氮汽化器；

6、与所述液氮汽化器连接的第一输气管路；

7、设于所述第一输气管路上的第一控制阀；

8、制氮机；

9、与所述制氮机连接的第二输气管路，所述第二输气管路的端部设有第一供应口；

10、设于所述第二输气管路的第二控制阀；

11、连通所述第二输气管路和所述第一输气管路的第三输气管路，所述第三输气管路的一端连接在所述第二输气管的第一供应口和所述第二控制阀之间，另一端连接在所述第一输气管路上第一控制阀远离所述液氮汽化器的一侧；

12、设于所述第三输气管路上的第三控制阀；

13、与所述第一输气管路和所述第三输气管路连通的混合气罐，所述混合气罐上还连通有供气管，所述供气管的端部设有第二供应口。

14、本实用新型的氮气供应结构设置了液氮罐与制氮机，在氮气需求量大时，利用液氮罐与制氮机一起进行氮气供应，在氮气需求量小时，可利用制氮机单独进行氮气供应，能够满足氮气的需求，避免生产设备发生停机，有效的保证生产效率，还能够综合考虑氮气供应的成本。

15、本实用新型氮气供应结构的进一步改进在于，所述制氮机处连接有第一氧气分析仪。

16、本实用新型氮气供应结构的进一步改进在于，所述制氮机处连接有压力传感器。

17、本实用新型氮气供应结构的进一步改进在于，所述混合气罐处连接有第二氧气分析仪。

18、本实用新型氮气供应结构的进一步改进在于，所述液氮汽化器设有两个，且两个液氮汽化器并联设置，在对应的液氮汽化器的管路中设有开关阀。

19、本实用新型氮气供应结构的进一步改进在于，在对应的液氮汽化器的管路中还设有压力调节阀。

20、本实用新型氮气供应结构的进一步改进在于，所述液氮罐内设有液位检测器。

21、本实用新型氮气供应结构的进一步改进在于，所述液氮罐上设有溢流口。

22、本实用新型氮气供应结构的进一步改进在于，所述液氮罐的底部设有排出口。

23、本实用新型氮气供应结构的进一步改进在于，所述液氮罐上设有压力调节阀。

技术特征：

1.一种氮气供应结构，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的氮气供应结构，其特征在于，所述制氮机处连接有第一氧气分析仪。

3.如权利要求1所述的氮气供应结构，其特征在于，所述制氮机处连接有压力传感器。

4.如权利要求1所述的氮气供应结构，其特征在于，所述混合气罐处连接有第二氧气分析仪。

5.如权利要求1所述的氮气供应结构，其特征在于，所述液氮汽化器设有两个，且两个液氮汽化器并联设置，在对应的液氮汽化器的管路中设有开关阀。

6.如权利要求5所述的氮气供应结构，其特征在于，在对应的液氮汽化器的管路中还设有压力调节阀。

7.如权利要求1所述的氮气供应结构，其特征在于，所述液氮罐内设有液位检测器。

8.如权利要求1所述的氮气供应结构，其特征在于，所述液氮罐上设有溢流口。

9.如权利要求1所述的氮气供应结构，其特征在于，所述液氮罐的底部设有排出口。

10.如权利要求1所述的氮气供应结构，其特征在于，所述液氮罐上设有压力调节阀。

技术总结本技术涉及一种氮气供应结构，包括：液氮罐；与液氮罐连接的液氮汽化器；与液氮汽化器连接的第一输气管路；设于第一输气管路上的第一控制阀；制氮机；与制氮机连接的第二输气管路；设于第二输气管路的第二控制阀；连通第二输气管路和第一输气管路的第三输气管路；设于第三输气管路上的第三控制阀；与第一输气管路和第三输气管路连通的混合气罐，混合气罐上还连通有供气管，供气管的端部设有第二供应口。本技术利用液氮罐与制氮机一起进行氮气供应，能够满足氮气的需求，避免生产设备发生停机，有效的保证生产效率。技术研发人员：侯申,孙静受保护的技术使用者：青岛泰睿思微电子有限公司技术研发日：20231010技术公布日：2024/6/5