半导体生产机台监测方法、装置、设备及存储介质与流程

本技术涉及半导体制造，具体而言，涉及一种半导体生产机台监测方法、装置、设备及存储介质。

背景技术：

1、在半导体制造中，设备自动化系统(equipment automation program，简称eap)是一种用于控制半导体制造设备进行自动化生产的系统，与制造执行系统(manufacturingexecution system，简称mes)整合，校验产品信息，自动做账，同时收集产品生产过程中的制程数据和设备参数数据，帮助提高半导体工厂的生产效率，避免人工操作失误，提高产品良率。它向上通过接口与mes集成，向下使用半导体设备及材料国际协会(semiconductorequipment and materials international，简称semi)标准中的一组半导体行业通信标准半导体设备通信标准/通用设备模型(semiconductor equipment communicationstandard/generic equipment model，简称secs/gem)来管理制造设备和服务器之间的通信。

2、目前，采用主流的高可用方式是通过高度模块化的软件(如keeplived)创建一个主备模式的高可用群组，如果主节点宕机，则通过脚本迅速激活备用节点，由备用节点充当主节点的角色，继续管理制造设备和服务器之间的通信。

3、但是，在这种模式中，由于keepalived无法实现业务级监控，因此可能出现进程正常，但服务已经假死的情况，因此存在服务宕机判断比较困难的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种半导体生产机台监测方法、装置、设备及存储介质，以便解决现有技术中存在的技术问题。

2、为实现上述目的，本技术实施例采用的技术方案如下：

3、第一方面，本技术实施例提供了一种半导体生产机台监测方法，应用于设备自动化系统集群中的任一节点中的主机端，所述节点包括：所述主机端和应用端，所述方法包括：

4、获取当前的机台信息集合以及节点信息集合，其中，所述机台信息集合用于记录所述设备自动化系统集群中各机台的信息，所述机台的信息包括：机台的标识、机台的绑定节点，所述节点信息集合用于记录所述设备自动化系统集群中当前处于在线状态的各节点；

5、根据所述机台信息集合与所述节点信息集合，确定至少一个待分配机台；

6、确定与各所述待分配机台待连接的绑定节点，并触发各所述待分配机台与所述绑定节点进行绑定。

7、可选地，所述根据所述机台信息集合与所述节点信息集合，确定至少一个待分配机台，包括：

8、根据所述机台信息集合与所述节点信息集合，确定离线节点，并将所述离线节点所绑定的机台作为待转移机台；

9、若所述机台信息集合中第一机台的绑定节点为空，则将所述第一机台作为新增机台，并将所述待转移机台与所述新增机台作为所述待分配机台；

10、若所述机台信息集合中所有机台的绑定节点均不为空，则将所述待转移机台作为所述待分配机台。

11、可选地，所述根据所述机台信息集合与所述节点信息集合，确定离线节点，包括：

12、按照所述机台信息集合中各机台的绑定节点的标识，对所述机台信息集合中各机台进行分组，得到多个机台组，将各机台组对应的节点分别作为一个待确认节点；

13、遍历各所述待确认节点，将遍历到的当前待确认节点与所述节点信息集合中各节点进行比对，若所述节点信息集合中不存在所述当前待确认节点，则将所述当前待确认节点作为一个离线节点。

14、可选地，所述确定与各所述待分配机台待连接的绑定节点，包括：

15、若所述待分配机台存在首选节点，且所述首选节点的连接状态为在线状态，则将所述首选节点作为所述绑定节点。

16、可选地，所述确定与各所述待分配机台待连接的绑定节点，包括：

17、若所述待分配机台不存在首选节点且存在备用节点，且所述备用节点的连接状态为在线状态，则将所述备用节点作为所述绑定节点；

18、若所述待分配机台的所述首选节点与所述备用节点均为空，则将机台连接数最少的节点作为所述绑定节点。

19、可选地，所述方法还包括：

20、获取所述设备自动化系统集群中各节点实际连接的机台数量；

21、根据节点数量与各所述节点实际连接的机台数量，得到平均连接数量；

22、根据各所述节点实际连接的机台数量与所述平均连接数量，得到差值集合，所述差值集合用于记录有各所述节点实际连接的机台数量与所述平均连接数量的差值；

23、根据所述差值集合，确定至少一个待均衡节点，所述待均衡节点为待移除机台的节点或待添加机台的节点。

24、可选地，所述根据所述差值集合，确定至少一个待均衡节点，包括：

25、遍历所述差值集合，若遍历到的当前差值大于零，则确定所述当前差值对应的节点为所述待移除机台的节点；

26、若遍历到的当前差值小于零，则确定所述当前差值对应的节点为所述待添加机台的节点。

27、第二方面，本技术实施例还提供了一种半导体生产机台监测装置，应用于设备自动化系统集群中的任一节点中的主机端，所述节点包括：所述主机端和应用端，所述装置包括：

28、获取模块，用于获取当前的机台信息集合以及节点信息集合，其中，所述机台信息集合用于记录所述设备自动化系统集群中各机台的信息，所述机台的信息包括：机台的标识、机台的绑定节点，所述节点信息集合用于记录所述设备自动化系统集群中当前处于在线状态的各节点；

29、确定模块，用于根据所述机台信息集合与所述节点信息集合，确定至少一个待分配机台；确定与各所述待分配机台待连接的绑定节点；

30、触发模块，用于触发各所述待分配机台与所述绑定节点进行绑定。

31、可选地，所述确定模块，还用于：

32、根据所述机台信息集合与所述节点信息集合，确定离线节点，并将所述离线节点所绑定的机台作为待转移机台；

33、若所述机台信息集合中第一机台的绑定节点为空，则将所述第一机台作为新增机台，并将所述待转移机台与所述新增机台作为所述待分配机台；

34、若所述机台信息集合中所有机台的绑定节点均不为空，则将所述待转移机台作为所述待分配机台。

35、可选地，所述确定模块，还用于：

36、按照所述机台信息集合中各机台的绑定节点的标识，对所述机台信息集合中各机台进行分组，得到多个机台组，将各机台组对应的节点分别作为一个待确认节点；

37、遍历各所述待确认节点，将遍历到的当前待确认节点与所述节点信息集合中各节点进行比对，若所述节点信息集合中不存在所述当前待确认节点，则将所述当前待确认节点作为一个离线节点。

38、可选地，所述确定模块，还用于：

39、若所述待分配机台存在首选节点，且所述首选节点的连接状态为在线状态，则将所述首选节点作为所述绑定节点。

40、可选地，所述确定模块，还用于：

41、若所述待分配机台不存在首选节点且存在备用节点，且所述备用节点的连接状态为在线状态，则将所述备用节点作为所述绑定节点；

42、若所述待分配机台的所述首选节点与所述备用节点均为空，则将机台连接数最少的节点作为所述绑定节点。

43、可选地，所述获取模块，还用于获取所述设备自动化系统集群中各节点实际连接的机台数量；

44、所述确定模块，还用于根据节点数量与各所述节点实际连接的机台数量，得到平均连接数量；根据各所述节点实际连接的机台数量与所述平均连接数量，得到差值集合，所述差值集合用于记录有各所述节点实际连接的机台数量与所述平均连接数量的差值；根据所述差值集合，确定至少一个待均衡节点，所述待均衡节点为待移除机台的节点或待添加机台的节点。

45、可选地，所述确定模块，还用于：

46、遍历所述差值集合，若遍历到的当前差值大于零，则确定所述当前差值对应的节点为所述待移除机台的节点；

47、若遍历到的当前差值小于零，则确定所述当前差值对应的节点为所述待添加机台的节点。

48、第三方面，本技术实施例还提供了一种电子设备，包括：处理器、存储介质和总线，所述存储介质存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储介质之间通过总线通信，所述处理器执行所述机器可读指令，以执行如第一方面提供的所述方法的步骤。

49、第四方面，本技术实施例还提供了一种计算机可读存储介质，所述存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如第一方面提供的所述的方法。

50、本技术的有益效果是：

51、本技术提供了一种半导体生产机台监测方法、装置、设备及存储介质，在本方案中，主要是由eap集群中的任一节点中的主机端定时获取当前更新后的机台信息集合以及节点信息集合，再结合当前更新后的机台信息集合以及节点信息集合，监测当前是否存在待分配机台，从而实现了对eap集群中所有机台与每一个节点的监控，解决了现有技术中由于keepalived无法实现业务级监控，导致存在服务宕机判断比较困难的问题；同时，并确定与待分配机台待连接的绑定节点，并主动触发待分配机台与绑定节点进行绑定，提高了eap的可用性、稳定性和可维护性。