滤波器及电子设备的制作方法

本公开属于射频，具体涉及一种滤波器及电子设备。

背景技术：

1、在射频和微波电路中，微带线滤波结构是一种常见的滤波器。微带线滤波器具有轻薄化潜力，容易制作成小尺寸器件，可以利用光刻技术进行精细化加工，同时也易与其它有源电路元件集成在一起。微带滤波器中最简单的滤波器就是用开路并联短截线或是短路串联短截线来代替集总元器件的电容或是电感来实现滤波的功能。这类滤波器的带宽较窄，虽然不能满足所有的应用场合，但是由于它设计简单，因此在某些地方还是值得应用的。

2、传统的微带滤波器都是应用于固定频率滤波，也就是一旦所设计结构确定，其电磁波响应及电磁功能就被固化了，相应的滤波的频段就固定下来。近年来，基于可重构的微带器件也吸引了很多研究人员的努力。现在的可重构微波器件主要是利用，rf mems，可变电容，可变电阻和射频二极管来实现。当然也有基于液晶调谐的可重构微带器件。相比于液晶，rf mems和射频二极管技术会有较快的重构响应速度。但是mems的封装和工作可靠性问题还有待进步，而射频二极管在高频段(毫米波段成本还比较高)。此外rf mems和射频二极管一般不能实现连续调谐，这也限制了它们的应用。可变电容/电阻，射频二极管这些电子元件本身损耗比较大，也会导致增加像滤波器的插入损耗这些关键参数。这就使得基于液晶的这种低成本，低能耗，低插损和可连续调谐的研究具有一定的潜在需求。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种滤波器及电子设备。

2、第一方面，本公实施例提供一种滤波器，其包括相对设置的第一介质基板和第二介质基板，设置在所述第一介质基板和所述第二介质基板之间的可调电介质层，设置在所述第一介质基板靠近所述可调电介质层一侧的第一电极，设置在所述第一介质基板背离所述可调电介质层一侧的参考电极层，以及设置在所述第二介质基板靠近所述可调电介质一侧的至少一个第二电极；其中，所述第一电极的第一端和第二端中的一者用作所述滤波器的射频信号输入端，另一端用作所述滤波器的射频信号输出端，且所述第一电极与所述参考电极构成微带传输线；

3、所述第一电极与各所述第二电极交叉设置，并限定出至少一个第一谐振单元。

4、其中，所述第一谐振单元包括形成在所述第一电极上的第一开口，和/或，形成在所述第二电极上的第二开口；当所述第一谐振单元包括形成在所述第一电极上的所述第一开口时，所述第一开口和所述第二电极在所述第一介质基板上的正投影相交；当所述第一谐振单元包括形成在所述第二电极上的所述第二开口时，所述第二开口和所述第一电极在所述第一介质基板上的正投影相交。

5、其中，当所述第一谐振单元包括形成在所述第一电极上的所述第一开口和形成在所述第二电极上的第二开口时，所述第一谐振单元中的第一开口的中心与第二开口的中心在第一介质基板上的正投影重合。

6、其中，当所述第一谐振单元包括形成在所述第一电极上的所述第一开口时，所述第二电极的数量为多个，所述第一开口的数量为多个，且相邻设置的第一开口之间的间距相等。

7、其中，所述第二电极的数量为多个，且相邻设置的所述第二电极之间的间距相等。

8、其中，还包括设置在第一介质基板靠近所述可调电介质层一侧、且分设在所述第一电极延伸方向两侧的第一辅助电极和第二辅助电极，所述第一辅助电极和所述第二辅助电极均与至少部分所述第二电极交叉设置，并限定出第二谐振单元和第三谐振单元。

9、其中，所述第二谐振单元包括形成在所述第二电极上的第三开口，和/或，形成在所述第一辅助电极上的第四开口；所述第三谐振单元包括形成在所述第二电极上的第五开口，和/或，形成在所述第二辅助电极上的第六开口；

10、当所述第二谐振单元包括形成在所述第二电极上的第三开口时，所述第三开口与所述第一辅助电极在所述第一介质基板上的正投影存在相交；当所述第二谐振单元包括形成在第一辅助电极上的第四开口时，所述第四开口与所述第二电极在所述第一介质基板上的正投影存在相交；

11、当所述第三谐振单元包括形成在所述第二电极上的第五开口时，所述第五开口与所述第二辅助电极在所述第一介质基板上的正投影存在相交；当所述第二谐振单元包括形成在第二辅助电极上的第六开口时，所述第六开口与所述第二电极在所述第一介质基板上的正投影存在相交。

12、其中，当所述第二谐振单元包括所述第三开口和所述第四开口时，所述第二谐振单元中的第三开口的中心和第四开口中心在所述第一介质基板上的正投影存在交叠；

13、当所述第三谐振单元包括所述第五开口和所述第六开口时，所述第三谐振单元中的第五开口的中心和第六开口中心在所述第一介质基板上的正投影存在交叠。

14、其中，所述第一辅助电极和所述第二辅助电极均与所述第一电极同层设置。

15、其中，所述滤波器还包括与所述第一电极连接的第一驱动线，以及与所述第二电极连接的第二驱动线。

16、其中，所述第二电极的数量为多个，各个所述第二电极连接同一条所述第二驱动线。

17、其中，所述第二电极的数量为多个，各个所述第二电极所连接所述第二驱动线不同。

18、其中，所述可调电介质层的厚度不大于5μm。

19、其中，所述第一电极和所述第二电极正交设置。

20、第二方面，本公开实施例提供一种电子设备，其包括上述任一所述的滤波器。

技术特征：

1.一种滤波器，其包括相对设置的第一介质基板和第二介质基板，设置在所述第一介质基板和所述第二介质基板之间的可调电介质层，设置在所述第一介质基板靠近所述可调电介质层一侧的第一电极，设置在所述第一介质基板背离所述可调电介质层一侧的参考电极层，以及设置在所述第二介质基板靠近所述可调电介质一侧的至少一个第二电极；其中，所述第一电极的第一端和第二端中的一者用作所述滤波器的射频信号输入端，另一端用作所述滤波器的射频信号输出端，且所述第一电极与所述参考电极构成微带传输线；

2.根据权利要求1所述的滤波器，其中，所述第一谐振单元包括形成在所述第一电极上的第一开口，和/或，形成在所述第二电极上的第二开口；当所述第一谐振单元包括形成在所述第一电极上的所述第一开口时，所述第一开口和所述第二电极在所述第一介质基板上的正投影相交；当所述第一谐振单元包括形成在所述第二电极上的所述第二开口时，所述第二开口和所述第一电极在所述第一介质基板上的正投影相交。

3.根据权利要求2所述的滤波器，其中，当所述第一谐振单元包括形成在所述第一电极上的所述第一开口和形成在所述第二电极上的第二开口时，所述第一谐振单元中的第一开口的中心与第二开口的中心在第一介质基板上的正投影重合。

4.根据权利要求2所述的滤波器，其中，当所述第一谐振单元包括形成在所述第一电极上的所述第一开口时，所述第二电极的数量为多个，所述第一开口的数量为多个，且相邻设置的第一开口之间的间距相等。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的滤波器，其中，所述第二电极的数量为多个，且相邻设置的所述第二电极之间的间距相等。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的滤波器，其中，还包括设置在第一介质基板靠近所述可调电介质层一侧、且分设在所述第一电极延伸方向两侧的第一辅助电极和第二辅助电极，所述第一辅助电极和所述第二辅助电极均与至少部分所述第二电极交叉设置，并限定出第二谐振单元和第三谐振单元。

7.根据权利要求6所述的滤波器，其中，所述第二谐振单元包括形成在所述第二电极上的第三开口，和/或，形成在所述第一辅助电极上的第四开口；所述第三谐振单元包括形成在所述第二电极上的第五开口，和/或，形成在所述第二辅助电极上的第六开口；

8.根据权利要求7所述的滤波器，其中，当所述第二谐振单元包括所述第三开口和所述第四开口时，所述第二谐振单元中的第三开口的中心和第四开口中心在所述第一介质基板上的正投影存在交叠；

9.根据权利要求6所述的滤波器，其中，所述第一辅助电极和所述第二辅助电极均与所述第一电极同层设置。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的滤波器，其中，还包括与所述第一电极连接的第一驱动线，以及与所述第二电极连接的第二驱动线。

11.根据权利要求10所述的滤波器，其中，所述第二电极的数量为多个，各个所述第二电极连接同一条所述第二驱动线。

12.根据权利要求10所述的滤波器，其中，所述第二电极的数量为多个，各个所述第二电极所连接所述第二驱动线不同。

13.根据权利要求1-4中任一项所述的滤波器，其中，所述可调电介质层的厚度不大于5μm。

14.根据权利要求1-4中任一项所述的滤波器，其中，所述第一电极和所述第二电极正交设置。

15.一种电子设备，其包括权利要求1-14中任一项所述的滤波器。

技术总结本公开提供一种滤波器及电子设备，属于通信技术领域。本公开的滤波器，其包括相对设置的第一介质基板和第二介质基板，设置在所述第一介质基板和所述第二介质基板之间的可调电介质层，设置在所述第一介质基板靠近所述可调电介质层一侧的第一电极，设置在所述第一介质基板背离所述可调电介质层一侧的参考电极层，以及设置在所述第二介质基板靠近所述可调电介质一侧的至少一个第二电极；其中，所述第一电极的第一端和第二端中的一者用作所述滤波器的射频信号输入端，另一端用作所述滤波器的射频信号输出端，且所述第一电极与所述参考电极构成微带传输线；所述第一电极与各所述第二电极交叉设置，并限定出至少一个第一谐振单元，所述第一谐振单元被配置为对射频信号进行滤波。技术研发人员：王锋,彭依丹受保护的技术使用者：北京京东方技术开发有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/25