一种晶圆盒盖体的夹持装置及干燥系统的制作方法

本技术属于半导体，具体涉及一种晶圆盒盖体的夹持装置及干燥系统。

背景技术：

1、在清洗晶圆盒后，为了使晶圆盒获得更好的干燥效果，需要将晶圆盒盒体和晶圆盒盖体分开后一起放入干燥箱内，其中晶圆盒盖体通过吸盘固定在干燥箱门板上，由于干燥过程中干燥箱内处于真空状态，吸盘会失效，所以需要一种夹持装置将晶圆盒盖体固定。现有的夹持装置只能夹持一种晶圆盒盖体，如果更换不同规格的晶圆盒就会出现盖体无法被夹持的情况，从而导致在干燥过程中盖体从原有位置移动甚至脱落，影响设备的正常运行。

技术实现思路

1、针对上述技术问题，本实用新型提供一种晶圆盒盖体的夹持装置，能够夹持多种规格的晶圆盒盖体。本实用新型还提供一种干燥系统，干燥的效果较好。

2、本实用新型采用如下技术方案：

3、一种晶圆盒盖体的夹持装置，包括安装板及用于夹持多种不同晶圆盒盖体的夹爪，所述夹爪通过枢轴可转动地连接于所述安装板，所述晶圆盒盖体具有面向所述晶圆盒内腔的底面，所述夹爪具有和所述底面相对应的夹持斜面，所述夹持斜面和所述枢轴之间具有第一距离和第二距离；

4、在夹持时，所述夹持斜面与所述晶圆盒盖体具有交线，所述枢轴到交线的的距离大于所述第二距离小于所述第一距离。

5、优选地，第二距离的范围为25-30mm，所述第一距离的范围为50-55mm。

6、优选地，所述夹爪还包括夹持部，在夹持时，所述夹持部和所述夹持斜面共同抵在所述晶圆盒盖体上或所述夹持斜面抵在所述晶圆盒盖体上。

7、优选地，所述夹持装置还包括旋转盘、与所述旋转盘连接的推板以及与所述旋转盘连接的驱动气缸，所述旋转盘能够将所述驱动气缸输出的旋转运动转换为所述推板的直线运动，以带动所述夹爪夹持或松开所述晶圆盒盖体。

8、优选地，所述推板的一端连接有紧固件；所述旋转盘上设置有与所述紧固件适配的滑槽，所述驱动气缸驱动所述旋转盘转动带动所述紧固件沿所述滑槽运动；其中，所述滑槽至所述旋转盘边缘的距离不等。

9、更优选地，所述旋转盘沿第一方向转动，所述推板朝向远离所述旋转盘的方向移动，所述夹爪松开所述晶圆盒盖体；所述旋转盘沿第二方向转动，所述推板朝向靠近所述旋转盘的方向移动，所述夹爪夹紧所述晶圆盒盖体；其中，所述滑槽至所述旋转盘边缘的距离沿第一方向逐渐递减。

10、优选地，所述安装板上设有导向柱，所述推板上设置有与所述导向柱适配的导向槽，所述导向槽沿所述推板的移动方向设置，所述导向柱插入所述推板的导向槽内，所述推板可相对所述导向柱上下移动。

11、优选地，所述晶圆盒盖体具有主体部及相对所述主体部厚度减薄的边缘部，所述边缘部围绕所述主体部设置，所述夹爪具有对应所述边缘部的容纳部，在夹持时，所述边缘部位于所述容纳部中。

12、更优选地，在夹持时，边缘部抵在所述容纳部的壁上，同时所述夹持部和所述夹持斜面共同抵在所述晶圆盒盖体上，或所述夹持斜面抵在所述晶圆盒盖体上。

13、本实用新型还采用如下技术方案：

14、一种干燥系统，包括上述夹持装置，所述干燥系统还包括壳体，所述安装板铰接于所述壳体上。

15、本实用新型采用以上方案，相比现有技术具有如下优点：

16、本实用新型的晶圆盒盖体的夹持装置，在夹持晶圆盒盖体时，夹爪的夹持斜面和晶圆盒盖体具有交线，枢轴到交线的距离大于第二距离小于第一距离，保证至少有一个位置可以与晶圆盒盖体接触，实现有效的夹持效果，在使用不同晶圆盒盖体时也无需重新调整夹爪的安装位置，适用范围较广。

技术特征：

1.一种晶圆盒盖体的夹持装置，其特征在于，包括安装板及用于夹持多种不同晶圆盒盖体的夹爪，所述夹爪通过枢轴可转动地连接于所述安装板，所述晶圆盒盖体具有面向所述晶圆盒内腔的底面，所述夹爪具有和所述底面相对应的夹持斜面，所述夹持斜面和所述枢轴之间具有第一距离和第二距离；

2.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述第二距离的范围为25-30mm，所述第一距离的范围为50-55mm。

3.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述夹爪还包括夹持部，在夹持时，所述夹持部和所述夹持斜面共同抵在所述晶圆盒盖体上或所述夹持斜面抵在所述晶圆盒盖体上。

4.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述夹持装置还包括旋转盘、与所述旋转盘连接的推板以及与所述旋转盘连接的驱动气缸，所述旋转盘能够将所述驱动气缸输出的旋转运动转换为所述推板的直线运动，以带动所述夹爪夹持或松开所述晶圆盒盖体。

5.根据权利要求4所述的夹持装置，其特征在于，所述推板的一端连接有紧固件；所述旋转盘上设置有与所述紧固件适配的滑槽，所述驱动气缸驱动所述旋转盘转动带动所述紧固件沿所述滑槽运动；其中，所述滑槽至所述旋转盘边缘的距离不等。

6.根据权利要求5所述的夹持装置，其特征在于，所述旋转盘沿第一方向转动，所述推板朝向远离所述旋转盘的方向移动，所述夹爪松开所述晶圆盒盖体；所述旋转盘沿第二方向转动，所述推板朝向靠近所述旋转盘的方向移动，所述夹爪夹紧所述晶圆盒盖体；其中，所述滑槽至所述旋转盘边缘的距离沿第一方向逐渐递减。

7.根据权利要求6所述的夹持装置，其特征在于，所述安装板上设有导向柱，所述推板上设置有与所述导向柱适配的导向槽，所述导向槽沿所述推板的移动方向设置，所述导向柱插入所述推板的导向槽内，所述推板可相对所述导向柱上下移动。

8.根据权利要求1所述的夹持装置，其特征在于，所述晶圆盒盖体具有主体部及相对所述主体部厚度减薄的边缘部，所述边缘部围绕所述主体部设置，所述夹爪具有对应所述边缘部的容纳部，在夹持时，所述边缘部位于所述容纳部中。

9.根据权利要求8所述的夹持装置，其特征在于，在夹持时，所述边缘部抵在所述容纳部的壁上，同时所述夹持部和所述夹持斜面共同抵在所述晶圆盒盖体上，或所述夹持斜面抵在所述晶圆盒盖体上。

10.一种干燥系统，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的夹持装置，所述干燥系统还包括壳体，所述安装板铰接于所述壳体上。

技术总结本技术公开了一种晶圆盒盖体的夹持装置及干燥系统，夹持装置包括安装板及用于夹持多种不同晶圆盒盖体的夹爪，所述夹爪通过枢轴可转动地连接于所述安装板，所述晶圆盒盖体具有面向所述晶圆盒内腔的底面，所述夹爪具有和所述底面相对应的夹持斜面，所述夹持斜面和所述枢轴之间具有第一距离和第二距离；在夹持时，所述夹持斜面与所述晶圆盒盖体具有交线，所述枢轴到交线的的距离大于所述第二距离小于所述第一距离。本技术的夹持装置可夹持多种规格的晶圆盒盖体。技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名受保护的技术使用者：江苏芯梦半导体设备有限公司技术研发日：20231127技术公布日：2024/7/25