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一种限位机构及硅片崩边检测装置的制作方法

  • 国知局
  • 2024-07-31 18:36:26

本技术涉及硅片检测,特别是一种限位机构及硅片崩边检测装置。

背景技术:

1、随着半导体和光伏行业的迅猛发展,设备对硅片的质量要求越来越高,而崩边则是硅片最主要的质量缺陷之一。再对硅片进行崩边检测的时候,需要对多种规格的硅片进行检测,硅片的尺寸也会不一样,需要对装置进行调节。

2、现有技术中,在进行崩边检测的时候,不方便根据硅片的尺寸对两个传输件之间的距离进行调节,同时不能够准确对硅片进行观测。

技术实现思路

1、在本部分以及本申请的说明书摘要和实用新型名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和实用新型名称的目的模糊,而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。

2、本实用新型的目的是提供一种限位机构,其能解决不方便根据硅片的尺寸对两个传输件之间的距离进行调节的问题。

3、为解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种限位机构,其包括运输单元,所述运输单元包括支撑架、设置于支撑架上方的动力组件、滑动于动力组件上方的运输组件以及设置于支撑架一侧的限位组件,所述限位组件与运输组件配合使用,所述限位组件与支撑架卡合配合。

4、作为本实用新型所述限位机构的一种优选方案,其中:所述支撑架的一侧开设有多个第一插孔,所述动力组件包括固定于支撑架顶部的三个支撑板、安装于一个支撑板外侧的电机以及设置于另外两个支撑板之间的传动杆和滑轨。

5、作为本实用新型所述限位机构的一种优选方案,其中:所述传动杆转动于两个支撑板之间,所述传动杆靠近电机的一端贯穿支撑板,且传动杆的一端与电机的输出端固定连接,所述滑轨固定于两个支撑板之间,且滑轨固定于支撑架的顶部。

6、作为本实用新型所述限位机构的一种优选方案,其中:所述运输组件包括滑动于两个滑轨上的两个滑座、固定于滑座一侧的固定板以及安装于滑座上方的传输件,所述传输件与传动杆传动连接,所述固定板滑动于支撑架的一侧。

7、作为本实用新型所述限位机构的一种优选方案,其中:所述限位组件包括移动板、固定于移动板一侧的把手以及设置于移动板另一侧的连接件和两个限位件,所述限位件设置于固定板的一侧。

8、作为本实用新型所述限位机构的一种优选方案,其中:所述移动板靠近支撑架的一侧开设有两个滑槽,所述移动板的一侧开设有多个第二插孔,且多个第二插孔分别位于滑槽均上方和下方。

9、作为本实用新型所述限位机构的一种优选方案,其中:所述连接件包括固定于移动板一侧中心的固定杆、活动套设于固定杆外圈的外筒、固定于固定杆一端的第一挡板以及设置于第一挡板一侧的第一弹簧,所述第一弹簧的两端分别固定于第一挡板的一侧和外筒的内壁,所述第一弹簧的一端固定于支撑架的一侧。

10、作为本实用新型所述限位机构的一种优选方案,其中:所述限位件包括滑动于滑槽中的滑块、固定于滑块一侧的第一插杆以及套设于第一插杆外圈的固定筒,所述第一插杆的外圈固定套设有第二挡板,且第二挡板的一侧设置有第二弹簧,所述第二弹簧的两端分别固定于第二挡板的一侧和固定筒的内壁,所述固定筒的一端固定于固定板的一侧,所述固定筒的一侧固定连接有两个第二插杆,所述固定筒与第一插孔相适配,所述第二插杆与第二插孔相适配。

11、本实用新型的有益效果:本实用新型通过支撑架、动力组件和运输组件的配合,能够实现对硅片进行传输,且通过限位组件的作用能够对运输组件进行限位操作,实现对运输组件的固定,同时也方便了工作人员对两个运输组件之间距离的调节,使其能传送不同尺寸的硅片。

12、本实用新型的目的是提供一种硅片崩边检测装置,其能解决不能够准确对硅片进行观测的问题。

13、为解决上述技术问题,本实用新型提供如下技术方案:一种硅片崩边检测装置,其包括检测单元、所述检测单元包括两个安装架、固定于两个安装架顶部的连接架、安装于连接架一侧的多个相机以及设置于两个安装架之间的辅助组件,所述运输单元位于辅助组件的下方。

14、作为本实用新型所述硅片崩边检测装置的一种优选方案,其中:所述辅助组件包括固定于安装架一侧的安装板、安装于安装板一侧的多个调节件以及设置于多个调节件之间的棱镜和光源。

15、本实用新型的有益效果:本实用新型通过辅助组件和相机的设置,能够对硅片进行全方位的检测,通过辅助组件对硅片上投射光,实现相机对硅片观察的更加细致。

技术特征:

1.一种限位机构,其特征在于:包括,

2.如权利要求1所述的限位机构,其特征在于:所述支撑架(101)的一侧开设有多个第一插孔(101a),所述动力组件(102)包括固定于支撑架(101)顶部的三个支撑板(102a)、安装于一个支撑板(102a)外侧的电机(102b)以及设置于另外两个支撑板(102a)之间的传动杆(102c)和滑轨(102d)。

3.如权利要求2所述的限位机构,其特征在于:所述传动杆(102c)转动于两个支撑板(102a)之间,所述传动杆(102c)靠近电机(102b)的一端贯穿支撑板(102a),且传动杆(102c)的一端与电机(102b)的输出端固定连接,所述滑轨(102d)固定于两个支撑板(102a)之间,且滑轨(102d)固定于支撑架(101)的顶部。

4.如权利要求2或3所述的限位机构,其特征在于:所述运输组件(103)包括滑动于两个滑轨(102d)上的两个滑座(103a)、固定于滑座(103a)一侧的固定板(103b)以及安装于滑座(103a)上方的传输件(103c),所述传输件(103c)与传动杆(102c)传动连接,所述固定板(103b)滑动于支撑架(101)的一侧。

5.如权利要求4所述的限位机构,其特征在于:所述限位组件(104)包括移动板(104a)、固定于移动板(104a)一侧的把手(104b)以及设置于移动板(104a)另一侧的连接件(104c)和两个限位件(104d),所述限位件(104d)设置于固定板(103b)的一侧。

6.如权利要求5所述的限位机构,其特征在于:所述移动板(104a)靠近支撑架(101)的一侧开设有两个滑槽(104a-1),所述移动板(104a)的一侧开设有多个第二插孔(104a-2),且多个第二插孔(104a-2)分别位于滑槽(104a-1)均上方和下方。

7.如权利要求5或6所述的限位机构,其特征在于:所述连接件(104c)包括固定于移动板(104a)一侧中心的固定杆(104c-1)、活动套设于固定杆(104c-1)外圈的外筒(104c-2)、固定于固定杆(104c-1)一端的第一挡板(104c-3)以及设置于第一挡板(104c-3)一侧的第一弹簧(104c-4),所述第一弹簧(104c-4)的两端分别固定于第一挡板(104c-3)的一侧和外筒(104c-2)的内壁,所述第一弹簧(104c-4)的一端固定于支撑架(101)的一侧。

8.如权利要求7所述的限位机构,其特征在于:所述限位件(104d)包括滑动于滑槽(104a-1)中的滑块(104d-1)、固定于滑块(104d-1)一侧的第一插杆(104d-2)以及套设于第一插杆(104d-2)外圈的固定筒(104d-3),所述第一插杆(104d-2)的外圈固定套设有第二挡板(104d-5),且第二挡板(104d-5)的一侧设置有第二弹簧(104d-6),所述第二弹簧(104d-6)的两端分别固定于第二挡板(104d-5)的一侧和固定筒(104d-3)的内壁,所述固定筒(104d-3)的一端固定于固定板(103b)的一侧,所述固定筒(104d-3)的一侧固定连接有两个第二插杆(104d-4),所述固定筒(104d-3)与第一插孔(101a)相适配,所述第二插杆(104d-4)与第二插孔(104a-2)相适配。

9.一种硅片崩边检测装置,其特征在于:包括权利要求1~8任一项所述的限位机构;以及

10.如权利要求9所述的硅片崩边检测装置,其特征在于:所述辅助组件(204)包括固定于安装架(201)一侧的安装板(204a)、安装于安装板(204a)一侧的多个调节件(204b)以及设置于多个调节件(204b)之间的棱镜(204c)和光源(204d)。

技术总结本技术涉及硅片检测技术领域,本技术公开了一种限位机构及硅片崩边检测装置,包括运输单元,所述运输单元包括支撑架、设置于支撑架上方的动力组件、滑动于动力组件上方的运输组件以及设置于支撑架一侧的限位组件,所述限位组件与运输组件配合使用,所述限位组件与支撑架卡合配合。本技术的有益效果为通过支撑架、动力组件和运输组件的配合,能够实现对硅片进行传输,且通过限位组件的作用能够对运输组件进行限位操作,方便了工作人员对两个运输组件之间距离的调节,使其能传送不同尺寸的硅片;通过辅助组件和相机的设置,能够对硅片进行全方位的检测,通过辅助组件对硅片上投射光,实现相机对硅片观察的更加细致。技术研发人员:王刚,赵哲,张权,柴尉,黄文受保护的技术使用者:广州市易鸿智能装备股份有限公司技术研发日:20231130技术公布日:2024/7/25

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