一种晶圆清洗花篮的制作方法

本发明属于半导体器件制造过程中处理晶圆片的专用载体，尤其涉及一种晶圆清洗花篮。

背景技术：

1、晶圆在加工制备过程中，需要经过多道清洗工序。目前晶圆的主要清洗方法是，将晶圆竖直插设在清洗花篮内，然后将装有晶圆的清洗花篮静置清洗槽内，然后利用清洗槽设置的超声波对晶圆进行清洗。为保证清洗效果防止相邻的晶圆贴附，现有的花篮侧壁上通常开设有卡槽，用于卡设晶圆，为增加花篮对晶圆的容纳数量，以提高单次清洗量，相邻的卡槽之间通常仅预留较小的间隙，对晶圆的取放存在较大的影响，并且为了方便取放晶圆，现有的卡槽多数为形状及尺寸固定的结构，并且卡槽的宽度大于晶圆的厚度，在清洗或转移过程中，晶圆在花篮内的晃动幅度较大；另一方面，现有的花篮顶部多数为敞口结构，所以在清洗时仅能将花篮静置在清洗槽内，以此来防止晶圆从花篮中脱离。

技术实现思路

1、为解决现有技术不足，本发明提供一种晶圆清洗花篮，可在清洗时进行翻转或摆动，并能防止晶圆掉落，并且晶圆的装取更加方便。

2、为了实现本发明的目的，拟采用以下方案：

3、一种晶圆清洗花篮，包括：两个框体，框体均布有至少三根相互平行的支撑杆，且同一个框体的支撑杆围成的轨迹为四分之三圆弧，且圆弧开口的一方设定为框体的顶部，圆弧底部则对应框体的底部，支撑杆的两端分别连接于两块端板，两个框体顶部的一侧边转动相连，转动的轴线与支撑杆平行，当两个框体转动至顶部相互接触时，两个框体呈盖合状态，且两个框体的支撑杆围成圆形轨迹，两个框体之间设有锁紧结构，用于使两个框体保持盖合状态。

4、支撑杆上均沿长度方向阵列套设有多个夹套，相邻夹套之间均套设有衬套，衬套的长度与夹套的长度相同，且衬套与夹套之间具有间隔，同一框体的多根支撑杆相同截面上均设置夹套或均设置衬套，两个框体上的夹套与衬套沿着支撑杆的长度方向错位设置；夹套包括同轴设置的两片环形结构的侧压板，两块侧压板相对一侧的内圈之间通过一鼓形套相连，鼓形套具有弹性，其中部沿圆周向外拱起，当鼓形套自然拱起时，两块侧压板之间的距离小于或等于晶圆的厚度，当鼓形套的中部向支撑杆的轴线压缩时，两块侧压板沿支撑杆的轴线向两侧滑动，两块侧压板之间的距离将大于晶圆的厚度；衬套的外径大于鼓形套中部的外径。

5、两个框体盖合之后，沿支撑杆同一截面上的衬套与鼓形套外表面之间形成的最小圆形轨迹的内径小于晶圆的外径。

6、本发明的有益效果在于：

7、1、与现有技术的花篮相比，在排布相同密度的晶圆时，本申请可将花篮展开为两个框体，晶圆则交错设置在两个框体内，相当于单个框体内晶圆之间的距离是现有花篮中晶圆之间距离的两倍，因而更加方便晶圆的装取。

8、2、花篮采用两个盖合的框体构成，从晶圆的周侧对其实现了全方位的防护，可有效防止晶圆掉落，从而便能在清洗时对花篮进行摆动或翻转，有助于提高晶圆的清洁效果，并且可同时用于甩干工序，也能有效防止晶圆掉落。

9、3、夹套的侧压板在框体展开时可对晶圆进行固定夹持，以防止在盖合翻转框体的过程中晶圆掉落，而当两个框体盖合为整体花篮结构时，侧压板则会与晶圆分离，以避免影响晶圆表面的清洁效果，并且即使侧压板与晶圆分离之后，侧压板也始终存在与晶圆之间对晶圆进行限位，防止花篮受到较大冲击时晶圆产生过大的位移，以及防止晶圆相互贴附。

技术特征：

1.一种晶圆清洗花篮，其特征在于，包括：两个框体（1），框体（1）均布有至少三根相互平行的支撑杆（2），且同一个框体（1）的支撑杆（2）围成的轨迹为四分之三圆弧，且圆弧开口的一方设定为框体（1）的顶部，圆弧底部则对应框体（1）的底部，支撑杆（2）的两端分别连接于两块端板（3），两个框体（1）顶部的一侧边转动相连，转动的轴线与支撑杆（2）平行，当两个框体（1）转动至顶部相互接触时，两个框体（1）呈盖合状态，且两个框体（1）的支撑杆（2）围成圆形轨迹，两个框体（1）之间设有锁紧结构，用于使两个框体（1）保持盖合状态；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗花篮，其特征在于，侧压板（41）与鼓形套（42）采用橡胶一体形成。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗花篮，其特征在于，侧压板（41）的内圈设有滑动环（411），滑动环（411）为硬质材料。

4.根据权利要求2或3所述的一种晶圆清洗花篮，其特征在于，侧压板（41）内部嵌设有环形板（412）。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗花篮，其特征在于，端板（3）的截面为等腰梯形结构，其两腰对应框体（1）的两个侧面，等腰梯形的短边对应框体（1）的底面，长边对应框体（1）的顶面，当两个框体（1）盖合之后，花篮整体呈六棱柱结构。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗花篮，其特征在于，锁紧结构包括设有花篮两端的连接柱（6），当两个框体（1）盖合之后，连接柱（6）与花篮同轴。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆清洗花篮，其特征在于，连接柱（6）前端面的下部连接于其中一个框体（1）对应的端板（3）外壁，连接柱（6）的上部穿设有与其轴线平行的插销（61），另一个框体（1）的端板（3）上开设有定位孔（31），当两个框体（1）盖合之后，定位孔（31）与插销（61）对齐。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆清洗花篮，其特征在于，连接柱（6）的后端开设有沉孔（601），插销（61）的后端垂直设有扣板（611），扣板（611）位于沉孔（601）内，且扣板（611）与沉孔（601）的底面之间通过弹簧（62）相连，当弹簧（62）处于自然状态时，插销（61）的前端凸出于连接柱（6）的前端面，且插销（61）前端具有朝向连接柱（6）前端上方的斜面。

技术总结一种晶圆清洗花篮，属于晶圆片的专用载体技术领域，花篮包括：两个框体，框体均布有至少三根相互平行的支撑杆，支撑杆的两端分别连接于两块端板，两个框体顶部的一侧边转动相连。支撑杆上均沿长度方向阵列套设有多个夹套，相邻夹套之间均套设有衬套，两个框体上的夹套与衬套沿着支撑杆的长度方向错位设置；夹套包括同轴设置的两片环形结构的侧压板，两块侧压板相对一侧的内圈之间通过一鼓形套相连，鼓形套具有弹性，其中部沿圆周向外拱起。两个框体盖合之后，沿支撑杆同一截面上的衬套与鼓形套外表面之间形成的最小圆形轨迹的内径小于晶圆的外径。本方案可在清洗时进行翻转或摆动，并能防止晶圆掉落，并且晶圆的装取更加方便。技术研发人员：李健儿,冯艾诚,冯永,颜英慧,胡仲波,胥凤蓉受保护的技术使用者：四川上特科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/29