硅片插片花篮定位设备的制作方法

本发明属于硅片加工，尤其涉及硅片插片花篮定位设备。

背景技术：

1、在硅片的生产流程中，硅片插片机扮演着至关重要的角色，它负责将切割好的硅片自动分料并精准地插入到专用的硅片花篮中，为后续的清洗等处理工序提供便利。

2、然而，目前使用的硅片插片机及其配套的花篮设计存在一些问题，如：无法对硅片花篮可靠快捷的定位固定，从而导致在插入硅片过程中花篮不够稳定，以及不利于空花篮的装载与满载花篮的卸除，影响作业的流畅度，需要进行改进。

3、因此，针对以上现状，迫切需要开发硅片插片花篮定位设备，以克服当前实际应用中的不足。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供硅片插片花篮定位设备，旨在解决上述背景技术中提到的问题。

2、本发明是这样实现的，硅片插片花篮定位设备，包括顶板、立柱和底支座，所述顶板和底支座之间固定有立柱，还包括：

3、限位组件，所述限位组件用于对硅片花篮的上部和下部进行限位；

4、可调锁紧机构，所述可调锁紧机构安装于顶板上，可调锁紧机构用于和限位组件配合对硅片花篮的上端板中间的定位销进行锁紧固定，所述可调锁紧机构包括可调节移动安装在顶板上的安装座，所述安装座的一端转动连接有两根锁紧板，两根锁紧板上跨设固定有用于对定位销弹性卡位固定的卡固组件，两根所述锁紧板远离安装座的一端转动连接有推拉板，两根所述推拉板远离锁紧板的一端与三角板的一角转动连接，所述三角板的二角还与支架转动连接，两根所述支架的下端对应固定于安装座的两侧，所述安装座上还滑动设有移动座，安装座上还固定有用于驱动移动座移动的推拉组件，所述三角板的三角开设有腰形孔，移动座的两侧固定有与两个所述三角板的腰形孔相配合的传动柱；

5、底固定机构，所述底固定机构安装于底支座上，底固定机构用于和限位组件配合对硅片花篮的下端板中部进行固定。

6、进一步的技术方案，所述限位组件包括伸缩缸一、限位块、伸缩缸二和限位板，所述可调锁紧机构的两侧于顶板上分别固定有一个伸缩缸一，伸缩缸一的输出端固定有用于对硅片花篮的上端板进行限位的限位块，所述底支座上还固定有伸缩缸二，伸缩缸二的输出端固定有用于对硅片花篮的下端板中部进行限位的限位板。

7、进一步的技术方案，所述限位块采用倒l形结构，限位块的竖直部下端还与顶板顶部滑动连接；所述限位板的下端还与底支座顶部滑动连接。

8、进一步的技术方案，所述顶板的顶部固定有导轨，安装座与导轨滑动连接，所述安装座一侧的顶板上固定有与导轨平行的伸缩缸五，伸缩缸五的输出端与安装座固定连接；所述三角板采用等边三角形结构；所述推拉组件包括固定板和伸缩缸四，所述安装座远离锁紧板的一端固定有固定板，固定板上固定有伸缩缸四，伸缩缸四的输出端与移动座连接固定。

9、进一步的技术方案，所述卡固组件包括锁紧辊、支撑垫、u形架、滑座和伸缩缸三，所述u形架的中部跨设固定于两根锁紧板上，u形架的两侧分支均开设有滑槽，滑槽上滑动设有滑座，两个所述滑座之间转动安装有锁紧辊，u形架的中部靠近锁紧辊的一侧还固定有支撑垫，所述u形架的两侧还固定有伸缩缸三，两个所述伸缩缸三的输出端对应与两个滑座连接。

10、进一步的技术方案，所述u形架与两根锁紧板垂直设置；所述滑槽的两侧还固定有凸棱，滑座的两侧开设有与凸棱滑动配合的棱槽；所述伸缩缸三平行于滑槽设置。

11、进一步的技术方案，所述锁紧辊的截面为圆形，锁紧辊采用中部弧形内凹结构，支撑垫采用中部远离锁紧辊弧形凹陷结构，锁紧辊的表面设置橡胶层，支撑垫采用橡胶材质。

12、进一步的技术方案，所述滑座内开设有空腔一，空腔一内滑动设有内支板，伸缩缸三的输出端还与内支板固定连接，所述内支板的两侧还设有用于对其弹性支撑的弹簧。

13、进一步的技术方案，所述底固定机构包括伸缩缸六和弧形固定板，所述底支座内开设有空腔二，空腔二内固定有伸缩缸六，伸缩缸六的输出端固定有弧形固定板，底支座的顶部还开设有与空腔二连通并用于弧形固定板进出的伸缩口，所述伸缩缸六用于控制弧形固定板端部抵接固定在下端板远离立柱的一侧中部，并对下端板的中部侧面和顶部进行限位固定。

14、进一步的技术方案，所述伸缩缸六和弧形固定板均采用圆弧形结构，弧形固定板远离伸缩缸六的一端为弧形内凹结构。

15、本发明提供的硅片插片花篮定位设备，具有以下有益效果：

16、为实现硅片花篮的定位与稳固，采用了一套限位组件来限制其相对于顶板、立柱及底支座的移动范围，确保初步定位的准确性。

17、另外，设置可调锁紧机构，旨在上部对硅片花篮实施灵活而牢固的锁定。操作流程如下：首先，依据实际需求调整安装座至预定位置；随后，推拉组件驱动移动座朝硅片花篮方向推进，期间，传动柱作用于三角板促使其旋转，这一动作进一步带动推拉板移动。推拉板的移动会促使锁紧板旋转，利用卡固组件对定位销实施弹性卡位，完成稳固锁紧，这一过程既确保了卡固的稳定性，也便于空花篮的装载与满载花篮的卸除，提升了作业流畅度。

18、此外，底部配置的底固定机构专门针对硅片花篮下端板的中心区域进行固定，由此实现了花篮整体的快速定位，保障在插入硅片过程中花篮的稳定，极大增强了作业的可靠性和效率。

技术特征：

1.硅片插片花篮定位设备，包括顶板（7）、立柱（10）和底支座（12），所述顶板（7）和底支座（12）之间固定有立柱（10），其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的硅片插片花篮定位设备，其特征在于，所述限位组件包括伸缩缸一（8）、限位块（9）、伸缩缸二（11）和限位板（13）；

3.根据权利要求2所述的硅片插片花篮定位设备，其特征在于，所述限位块（9）采用倒l形结构，限位块（9）的竖直部下端还与顶板（7）顶部滑动连接；

4.根据权利要求1-3任一项所述的硅片插片花篮定位设备，其特征在于，所述顶板（7）的顶部固定有导轨（28），安装座（22）与导轨（28）滑动连接，所述安装座（22）一侧的顶板（7）上固定有与导轨（28）平行的伸缩缸五（32），伸缩缸五（32）的输出端与安装座（22）固定连接；

5.根据权利要求4所述的硅片插片花篮定位设备，其特征在于，所述卡固组件包括锁紧辊（15）、支撑垫（16）、u形架（17）、滑座（18）和伸缩缸三（19）；

6.根据权利要求5所述的硅片插片花篮定位设备，其特征在于，所述u形架（17）与两根锁紧板（21）垂直设置；

7.根据权利要求5所述的硅片插片花篮定位设备，其特征在于，所述锁紧辊（15）的截面为圆形，锁紧辊（15）采用中部弧形内凹结构；

8.根据权利要求5所述的硅片插片花篮定位设备，其特征在于，所述滑座（18）内开设有空腔一（33），空腔一（33）内滑动设有内支板（34），伸缩缸三（19）的输出端还与内支板（34）固定连接，所述内支板（34）的两侧还设有用于对其弹性支撑的弹簧（35）。

9.根据权利要求1-3任一项所述的硅片插片花篮定位设备，其特征在于，所述底固定机构（14）包括伸缩缸六（36）和弧形固定板（38）；

10.根据权利要求9所述的硅片插片花篮定位设备，其特征在于，所述伸缩缸六（36）和弧形固定板（38）均采用圆弧形结构，弧形固定板（38）远离伸缩缸六（36）的一端为弧形内凹结构。

技术总结本发明适用于硅片加工技术领域，提供了硅片插片花篮定位设备，包括顶板、立柱和底支座，还包括：限位组件，限位组件用于对硅片花篮的上部和下部进行限位；可调锁紧机构，可调锁紧机构安装于顶板上，可调锁紧机构用于和限位组件配合对硅片花篮的上端板中间的定位销进行锁紧固定；底固定机构，底固定机构安装于底支座上，底固定机构用于和限位组件配合对硅片花篮的下端板中部进行固定。本发明可对硅片花篮可靠快捷的定位固定，利于插入硅片时花篮的稳定，以及花篮的装载与卸除，提升作业的流畅度。技术研发人员：成如诗,毛爱民,李文红,付浩然,吴峰光受保护的技术使用者：深圳市石金科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/29