一种石英晶体谐振器刻蚀微调机的制作方法

本发明涉及石英晶片加工，具体涉及一种石英晶体谐振器刻蚀微调机。

背景技术：

1、石英晶体谐振器是一种精度高、稳定好的振荡器，广泛应用于雷达、导航、遥测、无线电和仪器仪表等领域，以及通信系统中的频率发生器，在生产石英晶体谐振器时需要经过毛胚筛选，根据需要选择合适角度的毛胚进行加工，然后对其进行研磨，通过粗磨切割圆的角度和厚度，并通过中磨和精磨对晶圆厚度进行微调，然后进行点胶，再电极与金属片的接触处涂上一层电胶，最后通过蚀刻机利用高速粒子束刻石英晶片上的镀膜层，最后进行组装和测试。

2、石英晶片通常是呈圆形和矩形，在对石英晶片进行微调的时候，一般是将石英晶片放置到载具上，并且载具上开设有与石英晶片形状相匹配的放置槽，然后将载具推到蚀刻机内，进行微调操作，但是因为石英晶片通常呈圆形和矩形，所以一般需要准备与两种形状相对应的载具，并且在将适应晶片放到放置槽内的时候，石英晶片会对放置槽的内壁造成磨损，时间长了之后，会是放置槽扩大，导致石英晶片会在放置槽内松动，从而使得石英晶片的微调工作效率降低。

技术实现思路

1、本发明提出一种石英晶体谐振器刻蚀微调机，解决了相关技术中石英晶片会对放置槽造成磨损，时间长久后石英晶片会在放置槽内松动，导致石英晶片刻蚀工作效率降低的问题。

2、本发明的技术方案如下：一种石英晶体谐振器刻蚀微调机，包括：

3、刻蚀机体，所述刻蚀机体上固定安装有控制器；

4、承载壳体，所述承载壳体滑动安装在所述刻蚀机体内部，所述承载壳体内部固定安装有两个适合所述承载壳体滑动的承载滑槽；

5、支撑组件，所述承载壳体的内底壁上设置有两个所述支撑组件，用于对石英晶片进行支撑；

6、校准组件，每个所述支撑组件的一侧均设置有校准组件；

7、固定支罩，所述固定支罩固定安装在所述承载壳体上；

8、升降管，所述升降管滑动安装在所述固定支罩上；

9、连接壳体，所述升降管贯穿所述承载壳体连接有所述连接壳体；

10、驱动组件，所述连接壳体两侧均设置有多个所述驱动组件，多个所述驱动组件在所述连接壳体的两侧分为上下两组；

11、第一夹持模具，所述第一夹持模具设置在其中一组所述驱动组件上，用于对矩形石英晶片进行夹持；

12、第二夹持模具，所述第二夹持模具设置在另一组所述驱动组件上，用于对圆形石英晶片进行夹持；

13、升降组件，所述升降组件设置在所述刻蚀机体顶部，所述升降组件的输出端贯穿所述刻蚀机体延伸到内部，并且所述升降管与所述升降组件的输出端滑动连接。

14、进一步的，所述支撑组件包括：

15、支撑滑槽，所述支撑滑槽固定安装在所述承载壳体的内底壁上；

16、支撑凸块，所述支撑滑槽上滑动安装有多个所述支撑滑块；

17、支撑底座，每个所述支撑凸块顶部固定安装有支撑底座。

18、再进一步的，所述校准组件包括：

19、校准壳体，所述校准壳体固定安装在所述支撑滑槽的一侧；

20、电机，所述电机固定安装在所述校准壳体顶部；

21、齿轮，所述电机的输出端贯穿所述校准壳体连接有所述齿轮，所述支撑凸块上固定安装有多个与所述齿轮啮合的齿块。

22、更进一步的，所述驱动组件包括：

23、驱动滑槽，所述驱动滑槽固定安装在所述连接壳体上；

24、驱动杆，所述驱动杆滑动安装在所述驱动滑槽上，所述驱动杆远离所述驱动滑槽的一端开设有驱动气腔；

25、驱动支管，每个所述驱动气腔上均连通有所述驱动支管；

26、伸缩杆，每个所述驱动气腔均滑动安装有所述伸缩杆；

27、其中，所述连接壳体每一侧的多个所述驱动支管均连通有驱动主管，所述驱动主管贯穿所述升降管延伸到外界。

28、作为本发明进一步的方案，所述夹持模具包括：

29、夹持方板，其中一组所述伸缩杆上均安装有所述夹持方板；

30、橡胶垫一，每个所述夹持方板上均固定安装有所述橡胶垫一。

31、在前述方案的基础上，优选的，所述第二夹持模具包括：

32、夹持弧板，另一组所述伸缩杆上均固定安装有所述夹持弧板；

33、橡胶垫二，每个所述夹持弧板上均固定安装有所述橡胶垫二。

34、进一步的，所述升降组件包括：

35、气缸，所述气缸固定安装在所述刻蚀机体上；

36、升降块，所述气缸的输出端贯穿所述刻蚀机体顶部连接有所述升降块，所述升降块底部开设有倾斜槽；

37、连接气管，所述连接气管设置在所述升降块上；

38、固定滑槽，所述固定滑槽固定安装在所述升降管上；

39、连接凸块，所述连接凸块滑动安装在所述固定滑槽内，并且所述连接凸块顶部与所述升降块底部固定连接。

40、再进一步的，所述升降管上固定安装有两个弹性部件，两个所述弹性部件套设在所述驱动主管上。

41、本发明的工作原理及有益效果为：

42、1、本发明中，通过安装支撑组件和校准组件相配合，通过电机带动齿轮转动，齿轮带动支撑凸块移动，直到红外线检测仪检测到石英晶片中心位置与红外线对齐，使得石英晶片可以与刻蚀部件对其进行精确操作；

43、2、本发明中，通过升降组件、驱动组件、第一夹持模具和第二夹持模具相配合，根据石英晶片的形状，通过气泵向驱动主管内供气，并且驱动主管将气体导向驱动支管内，当石英晶片为矩形时，夹持方板带动橡胶垫一对石英晶片进行夹持，当石英晶片为圆形的时候，夹持弧板带动橡胶垫二对石英晶片进行夹持，在需要变换夹持模具的时候，气缸一带动升降管升降，连接壳体、夹持方板和夹持弧板随着升降，直到夹持方板或夹持弧板将石英晶片夹住，减少了石英晶片对放置槽的磨损，不需要根据不同石英晶片的形状准备多个载具；

44、3、本发明中，通过安装支撑组件、校准组件、驱动组件、第一夹持模具、第二夹持模具和升降组件相互配合，解决了相关技术中需要对不同形状的石英晶片使用不同的载具，在对石英晶片进行放置的时候，石英晶片会对放置槽造成磨损，时间长久后石英晶片会在放置槽内松动，导致石英晶片刻蚀工作效率降低的问题。

技术特征：

1.一种石英晶体谐振器刻蚀微调机，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器刻蚀微调机，其特征在于，所述支撑组件包括：

3.根据权利要求2所述的一种石英晶体谐振器刻蚀微调机，其特征在于，所述校准组件包括：

4.根据权利要求3所述的一种石英晶体谐振器刻蚀微调机，其特征在于，所述驱动组件包括：

5.根据权利要求4所述的一种石英晶体谐振器刻蚀微调机，其特征在于，所述夹持模具包括：

6.根据权利要求5所述的一种石英晶体谐振器刻蚀微调机，其特征在于，所述第二夹持模具包括：

7.根据权利要求6所述的一种石英晶体谐振器刻蚀微调机，其特征在于，所述升降组件包括：

8.根据权利要求7所述的一种石英晶体谐振器刻蚀微调机，其特征在于，所述升降管（6）上固定安装有两个弹性部件（28），两个所述弹性部件（28）套设在所述驱动主管（18）上。

技术总结本发明涉及石英晶片加工技术领域，提出了一种石英晶体谐振器刻蚀微调机，包括：刻蚀机体、承载壳体、支撑组件、校准组件、固定支罩、升降管、连接壳体、驱动组件、第一夹持模具、第二夹持模具和升降组件，承载壳体的内底壁上设置有两个支撑组件，连接壳体两侧均设置有多个驱动组件，第一夹持模具设置在其中一组驱动组件上，第二夹持模具设置在另一组驱动组件上，升降组件设置在刻蚀主体顶部，通过上述技术方案，解决了相关技术中需要对不同形状的石英晶片使用不同的载具，在对石英晶片进行放置的时候，石英晶片会对放置槽造成磨损，时间长久后石英晶片会在放置槽内松动，导致石英晶片刻蚀工作效率降低的问题。技术研发人员：郑春旺,王臣受保护的技术使用者：唐山汇讯电子科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/29