一种带扫片功能的盒站装置及其扫片方法与流程

本发明属于盒站，具体涉及一种带扫片功能的盒站装置及其扫片方法。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，一般呈圆形片状。在检测晶圆之前，需要检查片盒的晶圆槽内部是否存在晶圆，这个过程称为扫片。带扫片功能的盒站装置主要由盒站板和扫片模块组成，盒站板用于存放晶圆片盒，通过扫片模块对晶圆进行扫描，以获得晶圆数量等信息。常见的晶圆扫描方法有对射型和反射型两种，反射型扫描方法虽然结构简单，但是对晶圆叠片的分辨能力较差，对射型扫描方法更稳定可靠。

2、现有的带扫片功能的盒站装置在扫片过程中，扫片模块一般只适配一种尺寸规格的片盒，难以对不同尺寸规格的片盒进行扫片，适用性不足，且扫片模块通常只能获得晶圆数量和晶圆是否在晶圆槽内部等信息，难以获得晶圆发生叠片和斜片等信息，便捷性不足，且盒站板一般只适配一种尺寸规格的片盒，若强行更换不同尺寸的片盒，容易使得晶圆与晶圆突出检测器相互重叠或间距过大，影响晶圆突出检测器的检测，向外凸出的晶圆容易被折断或损坏，这会减少产量甚至导致停工，适用性不足。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种带扫片功能的盒站装置及其扫片方法，能够通过扫片机构对定位钣金和片盒同步扫描，获得晶圆发生叠片和斜片等信息，提高便捷性，通过更换不同规格的定位钣金能够适配不同尺寸规格的片盒，提高适用性，通过限位机构在片盒放置于盒站板的过程中调整两个片盒在位检测组件的间距以及限位组件与晶圆突出检测器的间距，以适配不同尺寸规格的片盒，提高适用性。

2、本发明采取的技术方案具体如下：

3、一种带扫片功能的盒站装置，包括：

4、盒站板，所述盒站板的内部固定连接有晶圆突出检测器，所述盒站板的内部滑动连接有限位组件和两个片盒在位检测组件且片盒在位检测组件与限位组件的滑动方向相互垂直；

5、片盒，所述片盒设置于盒站板的顶部，所述片盒的内部沿竖直方向开设有多个晶圆槽，所述晶圆槽的内部设置有晶圆；

6、定位钣金，所述定位钣金固定连接在盒站板上，所述定位钣金的内部沿竖直方向开设有多个晶圆定位槽，所述晶圆定位槽的间距与晶圆槽的间距相适配；

7、扫片机构，所述扫片机构沿竖直方向滑动安装在盒站板上，用于对定位钣金和片盒同步扫描，所述扫片机构包括滑板、位置传感器、扫片组件和气缸，所述滑板通过以滑轨可滑动安装在盒站板上，所述位置传感器设置于定位钣金的外部，所述扫片组件设置于片盒的外部，所述位置传感器和扫片组件均与滑板固定连接，所述气缸固定连接在盒站板上，所述气缸的输出端与滑板固定连接，且当所述气缸动作时可驱动所述扫片组件沿着片盒上下移动；

8、限位机构，所述限位机构设置于盒站板的底部，所述限位组件和片盒在位检测组件均与限位机构固定连接，用于对片盒定位；

9、其中，所述片盒置于盒站板上后，使所述限位机构调整两个片盒在位检测组件的间距以及限位组件与晶圆突出检测器的间距从而对片盒进行定位，所述扫片机构动作后对晶圆进行扫片并检测晶圆是否出现叠片和斜片。

10、作为本发明所述一种带扫片功能的盒站装置的一种优选方案，其中：所述晶圆槽与晶圆定位槽一一对应，当所述位置传感器位于一个晶圆定位槽的下侧时，所述扫片组件位于该晶圆定位槽所对应的晶圆槽的下侧，所述晶圆定位槽为条形通孔，所述条形通孔沿竖直方向的宽度尺寸等于所述晶圆沿竖直方向的厚度尺寸，相邻两个所述晶圆定位槽下侧之间的距离等于相邻两个晶圆槽下侧之间的距离，所述晶圆槽沿竖直方向的宽度尺寸大于晶圆沿竖直方向的厚度尺寸。

11、作为本发明所述一种带扫片功能的盒站装置的一种优选方案，其中：所述扫片组件包括扫片连接臂和扫片传感器，所述扫片连接臂固定连接在滑板上，所述扫片传感器设置有两个且分别固定连接在扫片连接臂的两端。

12、作为本发明所述一种带扫片功能的盒站装置的一种优选方案，其中：所述限位机构包括固定连接在限位组件底部的底板，所述底板的两侧均设置有滑动板，所述滑动板滑动安装在盒站板上，所述滑动板与底板之间设置有连接杆，所述滑动板和底板均与连接杆转动连接，所述滑动板的一端与片盒在位检测组件固定连接，所述滑动板的另一端固定连接有挡块，所述挡块穿设于盒站板的内部，所述滑动板与盒站板之间固定安装有多个弹簧。

13、作为本发明所述一种带扫片功能的盒站装置的一种优选方案，其中：所述挡块的顶部固定设有倾斜部，所述倾斜部向外侧倾斜。

14、作为本发明所述一种带扫片功能的盒站装置的一种优选方案，其中：所述滑动板远离片盒在位检测组件的一端设有连接板，所述连接板固定连接在盒站板上，所述连接板与滑动板滑动配合。

15、作为本发明所述一种带扫片功能的盒站装置的一种优选方案，其中：所述片盒的底部两侧均固定设有底边，所述底边之间设有加强筋，所述加强筋固定连接在片盒上。

16、作为本发明所述一种带扫片功能的盒站装置的一种优选方案，其中：所述限位组件包括滑块和限位块，所述滑块滑动连接在盒站板上，所述滑块与限位机构固定连接，所述限位块设置有两个且分别固定安装在滑块的顶部两端，两个所述限位块的间距与加强筋相适配。

17、作为本发明所述一种带扫片功能的盒站装置的一种优选方案，其中：所述片盒在位检测组件包括滑动盖板和片盒在位检测器，所述滑动盖板与盒站板滑动连接，所述片盒在位检测器固定连接在滑动盖板上，所述片盒在位检测器与限位机构固定连接，所述片盒在位检测器与底边相适配。

18、带扫片功能的盒站装置的扫片方法，该带扫片功能的盒站装置的扫片方法适用于上述的带扫片功能的盒站装置，具体使用方法为：

19、s1：首先将片盒自上而下放置于盒站板上，片盒带动限位机构动作，限位机构动作后调整两个片盒在位检测组件的间距以及限位组件与晶圆突出检测器的间距从而对片盒进行定位；

20、s2：片盒在位检测组件检测片盒是否在位，晶圆突出检测器检测晶圆是否凸出；

21、s3：扫片机构动作后沿竖直方向上下滑动，扫片机构对定位钣金和片盒同步扫描，从而对晶圆进行扫片并检测晶圆是否出现叠片和斜片。

22、本发明取得的技术效果为：

23、本发明采用扫片机构的设计，扫片机构能够对定位钣金和片盒同步扫描，气缸动作后带动滑板沿竖直方向上下滑动，滑板带动位置传感器和扫片组件上下移动，使得位置传感器对定位钣金扫描的同时扫片组件对片盒进行扫描，当扫片机构扫描片盒有信号值变化时，若扫片机构扫描定位钣金时无信号值变化，则表示所在位置有晶圆但位置错误，此时为叠片或斜片等问题，从而便于报警，提高便捷性，且通过调整晶圆定位槽的间距设计以适配不同间距的晶圆槽，从而通过更换不同规格的定位钣金能够适配不同尺寸规格的片盒，提高适用性；

24、本发明采用限位机构的设计，限位机构能够在片盒放置于盒站板的过程中调整两个片盒在位检测组件的间距以及限位组件与晶圆突出检测器的间距，便于限位组件对片盒与片盒在位检测组件之间的距离进行限位，从而便于放置不同尺寸规格的片盒的情况下晶圆突出检测器检测晶圆是否凸出，便于片盒在位检测组件检测片盒是否在位，进而适配不同尺寸规格的片盒，提高适用性。