应用于声表面波谐振器的变速结构、谐振器及滤波器的制作方法

本技术涉及声表面波谐振器，尤其涉及一种应用于声表面波谐振器的变速结构、谐振器及滤波器。

背景技术：

1、对于任何一种类型的saw谐振器而言，横向传播的声波导致谐振器出现横向谐振模，即在通带内及通带附近出现杂波，该杂波会增大器件损耗，使品质因数q值出现大幅度波动，降低谐振器、滤波器的性能。

2、针对如何在声表面波谐振器中抑制横向杂散模式，可以利用piston（活塞）模式抑制横向杂模，但是piston结构受到半导体表面工艺的限制，其大小尺寸存在极限，因此对于杂散模式反射从而消除横向谐振模的效果也存在调节极限。

3、因此，如何扩大piston结构的调节范围，从而提高谐振器的杂模抑制效果，是本技术方案所要解决的关键问题。

技术实现思路

1、为了解决背景技术中提到的至少一个技术问题，本实用新型的目的在于提供一种应用于声表面波谐振器的变速结构、谐振器及滤波器，可以扩大piston模式的调节范围。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、第一方面，本实用新型实施例提供了一种应用于声表面波谐振器的变速结构，包括

4、设置在指条末端的第一结构体和位于所述第一结构体的垂直投影区域的至少两个在第一方向上间隔的第二结构体，所述第一方向为沿着所述指条的方向；

5、所述第一结构体的高度等于所述指条且宽度大于所述指条。

6、进一步的，所述第二结构体设置在所述第一结构体的第一表面或第二表面，所述第一表面为所述第一结构体远离压电衬底的一侧，所述第二表面为所述第一结构体靠近压电衬底的一侧。

7、进一步的，所述多个第二结构体在第一方向上的宽度不同，和/或在第二方向上的宽度不同，所述第一方向和第二方向互相垂直。

8、进一步的，所述第二结构体在第二方向上的边界与所述第一结构体的边界齐平。

9、进一步的，所述第二结构体的材质包括cu或pt。

10、进一步的，相邻第二结构体的内间距为外间距的0.1~0.9倍。

11、第二方面，本实用新型实施例提供了一种声表面波谐振器，包括

12、压电衬底；

13、位于所述压电衬底沿第三方向一侧表面的叉指结构层；所述叉指结构层包括在第一方向上相对设置的第一汇流条和第二汇流条，以及位于所述第一汇流条和所述第二汇流条上交叉排布的指条；所述第一汇流条上的指条在第二方向上间隔排布，所述第二汇流条上的指条在第二方向上间隔排布；所述第一方向和第二方向平行于所述压电衬底表面，所述第一方向和第二方向互相垂直；其特征在于，所述指条的末端设置有上述任意一种变速结构。

14、进一步的，在所述指条接近所述变速结构的部位，设置有至少一个在第三方向上的投影不超过所述指条的边界的第二结构体；

15、所述指条上与相邻指条的第二结构体对应的部位也设置有至少一个在第三方向上的投影不超过所述指条的边界的第二结构体。

16、进一步的，

17、所述叉指结构层还包括假指，所述假指和所述指条在所述第一汇流条和所述第二汇流条上交替排布，第一汇流条上的指条与第二汇流条上的假指一一对应，第二汇流条上的指条与第一汇流条上的假指一一对应，相对应的所述指条和所述假指位于同一直线上，且所述指条和所述假指之间具有间隙；

18、所述假指的末端也设置有所述第一结构体。

19、进一步的，在所述假指接近所述第一结构体的部位，也设置有至少一个在第三方向上的投影不超过所述假指的边界的第二结构体。

20、进一步的，还包括

21、位于所述叉指结构层两侧的一对反射栅，所述反射栅具有多个栅条；

22、所述栅条上与所述变速结构对应的部位也设置有变速结构；

23、所述栅条上与所述第二结构体对应的部位也设置有在第三方向上的投影不超过所述栅条的边界的第二结构体。

24、进一步的，所述指条的材质包括cu或al。

25、第三方面，本实用新型实施例提供了一种滤波器，所述滤波器包括上述任一声表面波谐振器。

26、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

27、在指条的末端设置变速结构，第一结构体（即piston结构）和位于第一结构体的垂直投影区域的第二结构体结合，能够同时带来平面方向和竖直方向上的声阻抗不连续性的变化，可以扩大piston结构的调节范围，从而提高谐振器的杂模抑制效果，并且不影响主声学模式的激发和传播。

技术特征：

1.一种应用于声表面波谐振器的变速结构，其特征在于，包括设置在指条末端的第一结构体和位于所述第一结构体的垂直投影区域的至少两个在第一方向上间隔的第二结构体，所述第一方向为沿着所述指条的方向；

2.根据权利要求1所述的应用于声表面波谐振器的变速结构，其特征在于，所述第二结构体设置在所述第一结构体的第一表面或第二表面，所述第一表面为所述第一结构体远离压电衬底的一侧，所述第二表面为所述第一结构体靠近压电衬底的一侧。

3.根据权利要求1所述的应用于声表面波谐振器的变速结构，其特征在于，所述多个第二结构体在第一方向上的宽度不同，和/或在第二方向上的宽度不同，所述第一方向和第二方向互相垂直。

4.根据权利要求1所述的应用于声表面波谐振器的变速结构，其特征在于，所述第二结构体在第二方向上的边界与所述第一结构体的边界齐平。

5.根据权利要求1所述的应用于声表面波谐振器的变速结构，其特征在于，所述第二结构体的材质包括cu或pt。

6.根据权利要求1所述的应用于声表面波谐振器的变速结构，其特征在于，相邻第二结构体的内间距为外间距的0.1~0.9倍。

7.一种声表面波谐振器，包括

8.根据权利要求7所述的声表面波谐振器，其特征在于，在所述指条接近所述变速结构的部位，设置有至少一个在第三方向上的投影不超过所述指条的边界的第二结构体；

9.根据权利要求7所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述叉指结构层还包括假指，所述假指和所述指条在所述第一汇流条和所述第二汇流条上交替排布，第一汇流条上的指条与第二汇流条上的假指一一对应，第二汇流条上的指条与第一汇流条上的假指一一对应，相对应的所述指条和所述假指位于同一直线上，且所述指条和所述假指之间具有间隙；

10.根据权利要求9所述的声表面波谐振器，其特征在于，在所述假指接近所述第一结构体的部位，也设置有至少一个在第三方向上的投影不超过所述假指的边界的第二结构体。

11.根据权利要求7-10中任意一项所述的声表面波谐振器，其特征在于，还包括

12.根据权利要求7所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述指条的材质包括cu或al。

13.一种滤波器，其特征在于，所述滤波器包括权利要求7-12任意一项所述的声表面波谐振器。

技术总结本技术公开了一种应用于声表面波谐振器的变速结构、谐振器及滤波器，涉及声表面波谐振器技术领域。在指条的末端设置变速结构，第一结构体（即Piston结构）和位于第一结构体的垂直投影区域的第二结构体结合，能够同时带来平面方向和竖直方向上的声阻抗不连续性的变化，可以扩大Piston结构的调节范围，从而提高谐振器的杂模抑制效果，并且不影响主声学模式的激发和传播。技术研发人员：高安明,路晓明,姜伟受保护的技术使用者：浙江星曜半导体有限公司技术研发日：20231207技术公布日：2024/7/15