干式真空泵的制作方法

本发明涉及一种配置有一级或多级收容有一对罗茨转子的泵室的干式真空泵。更详细而言，涉及一种能够供给对凝缩性气体、腐蚀性气体等吸引气体进行稀释的净化气体的干式真空泵。

背景技术：

1、关于对半导体晶片、液晶面板等基板实施蚀刻处理、cvd处理等的半导体制造装置，为了将真空腔室内抽成真空而使用干式真空泵。若将凝缩性或腐蚀性的工艺气体导入至干式真空泵，则生成物有可能在泵室内表面、罗茨转子表面析出、堆积、或者泵室内表面、罗茨转子表面有可能腐蚀。

2、为了避免这种弊端，将用于对泵室内流通的吸引对象的气体进行稀释的净化气体(氮气等非活性气体)导入至泵内(参照专利文献1)。

3、本发明的发明人提出了如下方案：在干式真空泵中，仅使罗茨转子的轴向端面的外周缘部分以能够保持气密性的微小间隙与泵室端面对置，并使由该外周缘部分包围的剩余的端面部分以较大的间隙与泵室端面对置(参照专利文献2)。关于该结构的罗茨转子，能够尽量减小为了确保气密性而以微小间隙与泵室端面对置的端面部分的面积，并能够使剩余的较大面积的端面部分以有可能导致生成物等异物堵塞的的较大间隙与泵室端面对置。能够避免附着、堆积于泵室端面的生成物在泵室端面与罗茨转子的轴向端面之间的微小间隙堵塞而阻碍罗茨转子的正常旋转的弊端。

4、专利文献1：日本特开2004-293466号公报

5、专利文献2：国际公开第2020/234947号

技术实现思路

1、此处，优选地，将净化气体还积极地导入至罗茨转子的轴向端面与泵室端面之间，从而能够防止生成物附着、堆积于这些部分、以及这些部分腐蚀等。特别地，在罗茨转子的轴向端面的外周侧部分以微小间隙与泵室端面对置、且其内侧部分以较大间隙与泵室端面对置的情况下，难以经由作为气密部分而发挥功能的外周侧的微小间隙的部分将净化气体供给至内侧的较大间隙的部分。优选能够高效地将净化气体导入至这种部分。

2、本发明的目的在于，提供能够高效地将对凝缩性气体、腐蚀性气体等吸引气体进行稀释的净化气体供给至罗茨转子的轴向的转子端面与泵室的室内端面之间的干式真空泵。

3、为了解决上述课题，本发明的干式真空泵具备：

4、泵室；

5、转子轴，其以旋转自如的状态将在所述泵室的室内端面开口的轴孔贯通并延伸；

6、罗茨转子，其位于所述泵室内，且安装于所述转子轴；

7、气体密封用的第一间隙部分，其在所述泵室的所述室内端面与所述罗茨转子的转子端面之间使得所述转子端面的外周缘部分以第一间隙与所述室内端面对置；以及

8、第二间隙部分，其在所述泵室的所述室内端面与所述转子端面之间使得所述转子端面以大于所述第一间隙的间隙与所述室内端面对置，其特征在于，

9、所述干式真空泵具备：

10、净化气体导入路，其从在泵外壳的外周面开口的净化气体导入口延伸至在所述轴孔的内周面开口的内周面开口；

11、轴侧连通路，其形成于所述转子轴，且与所述轴孔的所述内周面开口连通；以及

12、转子侧连通路，其形成于所述罗茨转子的所述转子端面，且将所述轴侧连通路与所述第二间隙部分之间连通。

13、在本发明中，所述转子轴具备：外周面部分，其与所述轴孔的内周面对置；以及圆环状的阶梯端面，其形成于与上述外周面部分相邻的位置，

14、有时所述罗茨转子的所述转子端面具备与所述转子轴的所述阶梯端面抵接的圆环状端面。

15、在该情况下，作为所述轴侧连通路而配置有：环状槽，其在所述转子轴的所述外周面部分遍及整周地形成；以及至少1个连通孔，其一端与上述环状槽连通，另一端在所述阶梯端面开口。

16、作为所述转子侧连通路，形成有在所述圆环状端面部分形成的连通槽，在与在所述阶梯端面开口的所述连通孔对应的位置形成该连通槽且使该连通槽与所述第二间隙部分连通。

17、由此，形成：在作为固定侧的泵室的端壁形成的净化气体导入路与在旋转的转子轴形成的轴侧连通路之间的连通状态。将净化气体向由发挥气体密封功能的第一间隙部分包围的第二间隙部分供给。

18、此处，使转子轴的轴向的一侧为以轴向上的移动受到限制的状态被支承的固定侧，使另一侧为以能够在轴向上移动的状态被支承的自由侧，允许转子轴的因热变形引起的轴向的伸缩。以下，在本说明书中，根据需要而将泵室的轴向的两侧的室内端面中的固定侧轴端部侧称为固定侧的室内端面，且将与该固定侧的室内端面对置的罗茨转子端面称为固定侧的转子端面。

19、在该情况下，在泵运转时，转子轴因热膨胀而伸长，因此，与泵运转时相比，泵停止时的固定侧的转子端面与泵室内端面的间隙更小。因此，与运转时相比，泵停止后的再启动时变为更小的间隙，从而容易与生成物抵接。因此，只要至少将净化气体导入至在泵室的固定侧的室内端面与同该固定侧的室内端面对置的罗茨转子的转子端面之间形成的第二间隙部分即可。

20、此外，可以在罗茨转子的外周缘部分的一部分形成以比第一间隙更小的间隙与泵室的室内端面对置的异物刮除部分。若罗茨转子旋转，则利用以比第一间隙更小的间隙与泵室的室内端面对置的异物刮除部分将附着于泵室的室内端面的生成物等异物刮除。

21、发明效果

22、关于本发明的干式真空泵，在泵室的室内端面与罗茨转子的转子端面之间沿转子端面的外周缘部分形成有能够维持气密性的第一间隙部分，并形成有由第一间隙部分包围的更大面积的第二间隙部分。经由净化气体供给路径从外部而将净化气体供给至第二间隙部分。罗茨转子在净化气体滞留于间隙部分的状态下旋转。因而，泵室的室内端面附近的吸引气体被稀释，避免、抑制了生成物析出并堆积于室内端面、以及室内端面、转子端面腐蚀等弊端。

技术特征：

1.一种干式真空泵，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的干式真空泵，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的干式真空泵，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，

技术总结干式真空泵(1)具备净化气体供给路径(9)。在泵室(6)的固定侧的室内端面(63)与罗茨转子(24)的转子端面(243)之间沿转子端面(243)的外周缘部分形成有能够维持气密性的微小间隙部分，并形成有由微小间隙部分包围的更大面积的间隙部分(94)。经由净化气体供给路径(9)而将净化气体向间隙部分(94)供给。罗茨转子(24)在净化气体滞留于间隙部分(94)的状态下旋转，将泵室(6)的室内端面(63)附近的吸引气体稀释。抑制了生成物析出并堆积于室内端面(63)、以及室内端面(63)、转子端面(243)腐蚀等弊端。技术研发人员：武井治,油井将希,岩下航己,姜柳成,松永克树受保护的技术使用者：樫山工业株式会社技术研发日：技术公布日：2024/8/1