铰链结构、半导体沉积腔室及机械设备的制作方法

本发明涉及机械设备，具体涉及铰链结构、半导体沉积腔室及机械设备。

背景技术：

1、机械设备广泛应用于各个领域，包括制造业、建筑业、农业、交通运输等。机械设备的分类很多，可以按照不同的标准进行划分，例如根据用途可以分为生产设备、运输设备、建筑设备、作业机械等。

2、现有技术中，腔体和盖体通常通过铰链结构连接，以实现盖体的开启和关闭。为了确保在关闭状态下的密封性，通常在腔体或盖体上设置了密封圈。密封圈凸出于腔体或盖体的表面，在关闭盖体时，靠近铰链结构一侧的盖体会首先与密封圈接触，造成该区域的密封圈受到多方向的挤压，影响了密封圈的寿命。

技术实现思路

1、有鉴于此，本发明提供了一种铰链结构、半导体沉积腔室及机械设备，以解决现有的铰链结构导致密封圈受力不均的问题。

2、第一方面，本发明提供了一种铰链结构，包括：

3、第一铰链座，开设有销孔和安装槽；

4、销轴，可移动地设于所述销孔内，所述销轴适于朝向所述销孔的内壁方向移动；

5、连接件，与所述销轴成角度设置，所述连接件的一端与所述销轴连接；

6、弹性件，一端与所述第一铰链座抵接，另一端与所述连接件的另一端抵接；

7、第二铰链座，设于所述安装槽中与所述销轴可转动连接，所述第二铰链座适于沿所述安装槽的长度方向移动，所述第二铰链座具有伸出状态和缩回状态；

8、所述第二铰链座在所述伸出状态下，所述弹性件处于初始状态，使所述第二铰链座朝向远离所述第一铰链座方向移动；所述第二铰链座在所述缩回状态下，对所述第二铰链座施加朝向所述第一铰链座方向作用力克服所述弹性件的弹性力，使所述弹性件处于压缩状态，所述第二铰链座朝向靠近所述第一铰链座方向移动。

9、有益效果：此铰链结构，第二铰链座设置在安装槽中与销轴可转动连接，使得第二铰链座能够以销轴的轴线为旋转轴线，绕第一铰链座转动。在第二铰链座未受外界作用力的情况下，第二铰链座处于伸出状态，此时弹性件处于初始状态，由于弹性件一端与第一铰链座抵接，另一端与连接件的另一端抵接，弹性件对连接件施加朝向远离第一铰链座方向的弹性力，连接件带动销轴以及第二铰链座朝向远离第一铰链座方向移动，此时第二铰链座相对远离第一铰链座。

10、当外界对第二铰链座施加朝向第一铰链座方向的作用力时，第二铰链座上所承受的作用力传递至连接件处，进而对弹性件施加作用力，直至作用力克服弹性件的弹性力，使得弹性件从初始状态进入压缩状态，此时第二铰链座带动连接件和销轴朝向靠近第一铰链座方向移动，此时第二铰链座相对靠近第一铰链座。当撤销第二铰链座上的作用力时，弹性件从压缩状态进入初始状态，弹性件对连接件施加朝向远离第一铰链座方向的弹性力，连接件带动销轴以及第二铰链座朝向远离第一铰链座方向移动，此时第二铰链座回归至伸出状态。

11、将该铰链结构设置在腔体和盖体上，在关闭盖体的过程中，由于第二铰链座未受到外界的作用力，因此第二铰链座处于伸出状态，使得盖体与腔体之间留有间隙，此时，盖体与密封圈未接触，避免靠近铰链结构区域的密封圈受到多方向的挤压力，延长密封圈的使用寿命。当盖体盖设在腔体上方时，外界对盖体施加朝向腔体方向的作用力，弹性件从初始状态进入压缩状态，此时第二铰链座带动连接件和销轴朝向靠近第一铰链座方向移动，盖体均匀挤压密封圈，直至盖体与腔体密封，整个密封过程中密封圈受力均匀；在打开盖体的过程中，撤销盖体上的作用力，弹性件从压缩状态进入初始状态，盖体逐渐远离腔体，密封圈所受压力均匀撤销，避免应力集中导致密封圈损伤。

12、在一种可选的实施方式中，所述连接件的一端与所述销轴可拆卸连接。

13、有益效果：将连接件与销轴可拆卸连接，当需要更换或维修铰链结构上的某个部件时，仅需拆卸连接件和销轴即可进行必要的操作，极大地简化了维护程序，降低了维护成本和时间。同时，铰链结构在不同的应用场景下，对弹性件的弹性力要求不同，可以通过拆卸连接件和销轴来更换不同规格的弹性件，从而提高铰链结构的适应性，满足不同使用条件下的性能要求。

14、在一种可选的实施方式中，所述销轴的周壁上对应所述连接件的一端开设有连接孔。

15、有益效果：在销轴的周壁上开设与连接件对应的连接孔，使得连接件能够稳固地固定在销轴上，避免在铰链结构运转过程中连接件松动或脱离，确保整体结构的稳定性和可靠性。

16、在一种可选的实施方式中，所述连接件与所述销轴垂直设置。

17、有益效果：连接件与销轴垂直设置，可以确保连接件与销轴之间的力矩传递直接有效，能够更好地将弹性件提供的力均匀地传导到第二铰链座上，进而确保第二铰链座能够在伸出状态和缩回状态之间正常切换。垂直连接有助于提升整个铰链结构的稳定性，尤其是在承受垂直于销轴方向的力时，可以防止连接件因受力方向改变而产生晃动或错位，保证铰链结构的正常工作。并且，垂直设置的连接件与销轴更容易定位和安装，简化了维护和装配过程。

18、在一种可选的实施方式中，所述销孔为长圆孔，所述长圆孔沿所述安装槽的长度方向延伸。

19、有益效果：将销孔设置为长圆孔，销轴设置在长圆孔内，当第二铰链座在伸出状态和缩回状态切换时，使得销轴能够沿着长圆孔的延伸方向移动。当第二铰链座处于伸出状态和缩回状态时，销轴周壁的一侧可以与长圆孔的内壁充分接触，使得销轴能够承受较大的压力。

20、在一种可选的实施方式中，所述第一铰链座上开设有与所述销孔连通的安装孔，所述弹性件套设于所述连接件的外表面并安装于所述安装孔内，所述连接件穿过所述安装孔与所述销轴连接。

21、有益效果：通过在第一铰链座上设置安装孔，将弹性件设置在安装孔内，使得弹性件安装在第一铰链座内部，实现紧凑、合理的布局，减少外部空间占用，提升整体结构的紧凑性和简洁性。将弹性件设置在第一铰链座内部，能够有效地保护弹性件免受外部因素(如尘埃、水分、机械撞击等)的影响，延长其使用寿命。将弹性件套设在连接件的外表面，使弹性件能稳定地向连接件提供所需的弹性力，确保第二铰链座能够在伸出状态和缩回状态之间正常切换。

22、在一种可选的实施方式中，所述弹性件与所述连接件一一对应设有多个，多个所述弹性件与所述连接件分别设于所述第二铰链座的两侧。

23、有益效果：通过设置多个弹性件，来提高弹性件对第二铰链座施加的弹性力，使得第二铰链座能够承受较大的负载。通过在第二铰链座两侧分别设置弹性件和连接件，可以实现对第二铰链座的两侧均衡施加弹性力，从而保证第二铰链座在伸出或缩入第一铰链座时受力均匀，避免单边受力过大导致的不稳定或损坏，确保第二铰链座移动过程中的稳定性。

24、在一种可选的实施方式中，所述第二铰链座在所述伸出状态下，所述连接件的另一端凸出于所述第一铰链座的外表面。

25、有益效果：第二铰链座在伸出状态下，由于连接件的另一端凸出于第一铰链座的外表面，工作人员可以通过观察连接件的位置，来直接判断第二铰链座是否处于伸出状态。

26、第二方面，本发明还提供了一种半导体沉积腔室，包括：

27、腔体；

28、盖体，可开闭地设于所述腔体上，所述盖体与所述腔体之间设有密封圈；

29、铰链结构，所述第一铰链座与所述第二铰链座二者中一者设于所述腔体上，另一者设于所述盖体上；

30、在所述盖体盖设于所述腔体上且所述第二铰链座在所述伸出状态下，所述盖体下表面与所述腔体上表面相互平行且留有间隙，通过所述腔体内部负压吸引所述盖体垂直朝向所述腔体方向移动，所述密封圈受到垂直作用力。

31、有益效果：此半导体沉积腔室，将铰链结构设置在腔体和盖体上，在关闭盖体的过程中，第二铰链座处于伸出状态，使得盖体与腔体之间留有间隙，此时，盖体与密封圈未接触，避免靠近铰链结构区域的密封圈受到多方向的挤压力，延长密封圈的使用寿命。当盖体盖设在腔体上方时，对腔体内进行抽真空，在负压的作用下，盖体受到朝向腔体方向的吸力，盖体垂直朝向腔体方向移动，使得弹性件从初始状态进入压缩状态，此时第二铰链座带动连接件和销轴朝向靠近第一铰链座方向移动，盖体均匀挤压密封圈，密封圈受到垂直作用力，直至盖体与腔体密封，整个密封过程中密封圈受力均匀；当需要打开盖体时，消除腔体内的负压环境，即撤销盖体朝向腔体方向的吸力，弹性件从压缩状态进入初始状态，盖体逐渐远离腔体，密封圈所受压力均匀撤销，避免应力集中导致密封圈损伤。

32、第三方面，本发明还提供了一种机械设备，包括铰链结构。

33、有益效果：此机械设备，将铰链结构设置在机械设备上，由于第二铰链座能够在伸出状态和缩回状态之间切换，可以有效避免靠近铰链结构区域的密封圈受到多方向的挤压力，延长密封圈的使用寿命。