基板保持操作手和基板搬运机器人的制作方法

本公开涉及基板保持操作手和基板搬运机器人。

背景技术：

1、以往，公知有具备基板搬运操作手的基板搬运机器人。在日本特开2006-313865号公报中公开有一种基板保持装置，该基板保持装置具备：多个托片，保持基板；和间距变更机构部，变更托片彼此之间的间距。在日本特开2006-313865号公报中，间距变更机构部包括分别安装于多个托片的基端侧的托片安装用板。多个托片安装用板安装于间距变换用气缸。通过间距变换用气缸使托片安装用板往复移动来变更托片彼此之间的间距。通过气压驱动间距变换用气缸。间距变换用气缸将托片彼此之间的间距变更为较宽的间距和较窄的间距这两个阶段。

2、专利文献1：日本特开2006-313865号公报

3、在日本特开2006-313865号公报的基板保持装置中，通过间距变换用气缸使托片安装用板往复移动来变更多个托片的间距。这里，在进行基板保持装置的维护等作业时，存在停止间距变换用气缸的驱动的情况。在该情况下，不向间距变换用气缸供给空气，因此因托片的自重而托片向下方移动，从而托片彼此之间的间距变窄。因此，期望一种即使在驱动力不对保持基板的托片发挥作用的情况下，也维持托片彼此之间的间距的技术。

技术实现思路

1、本公开是为了解决上述那样的课题而完成的，其提供一种即使在驱动力不对保持基板的托片发挥作用的情况下，也能够维持托片彼此之间的间距的基板保持操作手和基板搬运机器人。

2、本公开的第1方面所涉及的基板保持操作手具备：多个托片，分别支承基板，并在相互分离的状态下层叠；连杆机构，支承多个托片，并变更托片彼此之间的间距；以及力赋予部件，被配置为独立于驱动连杆机构的驱动部，对连杆机构向托片彼此之间的间距变大的方向赋予力。

3、如上述那样，本公开的第1方面所涉及的基板保持操作手具备力赋予部件，该力赋予部件被配置为独立于驱动连杆机构的驱动部，对连杆机构向托片彼此之间的间距变大的方向赋予力。由此，通过力赋予部件，对连杆机构向托片彼此之间的间距变大的方向赋予力，因此即使在驱动力不对保持基板的托片发挥作用的情况下，也能够维持托片彼此之间的间距。

4、本公开的第2方面所涉及的基板搬运机器人具备机器人臂、和配置于机器人臂的前端的基板保持操作手，基板保持操作手具备：多个托片，分别支承基板，并在相互分离的状态下层叠；连杆机构，支承多个托片，并变更托片彼此之间的间距；以及力赋予部件，被配置为独立于驱动连杆机构的驱动部，对连杆机构向托片彼此之间的间距变大的方向赋予力。

5、如上述那样，本公开的第2方面所涉及的基板搬运机器人具备力赋予部件，该力赋予部件被独立于驱动连杆机构的驱动部，对连杆机构向托片彼此之间的间距变大的方向赋予力。由此，通过力赋予部件，对连杆机构向托片彼此之间的间距变大的方向赋予力，因此可以提供一种即使在驱动力不对保持基板的托片发挥作用的情况下，也能够维持托片彼此之间的间距的基板搬运机器人。

6、根据本公开，即使在驱动力不对保持基板的托片发挥作用的情况下，也能够维持托片彼此之间的间距。

技术特征：

1.一种基板保持操作手，其中，

2.根据权利要求1所述的基板保持操作手，其中，

3.根据权利要求1所述的基板保持操作手，其中，

4.根据权利要求3所述的基板保持操作手，其中，

5.根据权利要求3所述的基板保持操作手，其中，

6.根据权利要求3所述的基板保持操作手，其中，

7.根据权利要求5所述的基板保持操作手，其中，

8.根据权利要求3所述的基板保持操作手，其中，

9.根据权利要求3所述的基板保持操作手，其中，

10.根据权利要求1所述的基板保持操作手，其中，

11.一种基板搬运机器人，其中，

技术总结本公开涉及基板保持操作手和基板搬运机器人。本发明的基板保持操作手(20)具备：多个托片(30)；连杆机构(40)，支承多个托片(30)；以及力赋予部件(70)，对连杆机构(40)向托片(40)彼此之间的间距(p)变大的方向赋予力。技术研发人员：木下真也受保护的技术使用者：川崎重工业株式会社技术研发日：技术公布日：2024/8/5