电压采样电路、装置以及方法与流程

本发明涉及匹配器，尤其涉及一种电压采样电路、装置以及方法。

背景技术：

1、在射频（rf）应用中，匹配器是至关重要的组件，用于确保功率有效传输，减少反射损耗，提高系统效率。在这一过程中，对射频匹配器中的高电压进行精确采样成为一项挑战，特别是在需要监控和调整匹配状态以适应不断变化的负载条件时。

2、传统的高电压采样技术通常涉及使用电阻或电容直接连接至高电压点，通过分压原理将高电压降低至可测量的水平，然后通过整流和滤波电路将信号转换为直流电压进行读取。尽管这种方法在某些应用中足够有效，但它存在一个显著缺点：缺乏电气隔离。这种直接连接方式使得采样电路暴露于高电压环境中，增加了设备的安全风险，可能对操作人员和敏感电子设备构成威胁。

技术实现思路

1、本发明的主要目的在于提供一种电压采样电路、装置以及方法，旨在解决现有技术中把电压采样电路物理上连接到射频匹配器的高电压位置，没有隔离，容易产生安全事故的技术问题。

2、为实现上述目的，本发明提供一种电压采样电路，所述电路应用于射频匹配器，所述电压采样电路包括：采样探头和电压处理模块；

3、其中，所述采样探头与射频匹配器采样点之间间隔预设采样距离，所述采样探头还与所述电压处理模块连接，所述电压处理模块与外部设备连接；

4、所述采样探头，用于通过电气间隙感应所述射频匹配器输出的高频高压信号，并将所述高频高压信号输出至所述电压处理模块；

5、所述电压处理模块，用于对所述高频高压信号进行处理获得所述射频匹配器采样点的电压值，并输出所述电压值至所述外部设备。

6、可选地，所述采样探头的数量为多个，各个所述采样探头以预设间隔分布。

7、可选地，所述电压采样电路还包括：整流模块；

8、其中，所述整流模块分别与所述采样探头和所述电压处理模块连接；

9、所述采样探头，还用于将所述高频高压信号输出至所述整流模块；

10、所述整流模块，用于对所述高频高压信号进行整流，并输出整流后的高频高压信号至所述电压处理模块。

11、可选地，所述电压采样电路还包括：滤波模块；

12、其中，所述滤波模块分别与所述整流模块和所述电压处理模块连接；

13、所述整流模块，还用于输出整流后的高频高压信号至所述滤波模块；

14、所述滤波模块，用于对所述整流后的高频高压信号进行滤波，并输出滤波后的高频高压信号至所述电压处理模块。

15、可选地，所述电压采样电路还包括：分压模块；

16、其中，所述分压模块分别与所述滤波模块和所述电压处理模块连接；

17、所述滤波模块，还用于输出滤波后的高频高压信号至所述分压模块；

18、所述分压模块，用于对所述滤波后的高频高压信号进行分压，并输出分压后的高频高压信号至所述电压处理模块。

19、此外，为实现上述目的，本发明还提供一种电压采样装置，所述电压采样装置包括上文任一项所述的电压采样电路。

20、此外，为实现上述目的，本发明还提供一种电压采样方法，所述方法应用于如上文所述的电压采样装置，所述电压采样方法包括：

21、通过预设电气间隙采集射频匹配器输出的高频高压信号；

22、对所述高频高压信号进行处理获得射频匹配器采样点的电压值，并输出所述电压值至外部设备。

23、可选地，所述对所述高频高压信号进行处理获得射频匹配器采样点的电压值，并输出所述电压值至外部设备之前，还包括：

24、对所述高频高压信号进行整流；

25、相应地，所述对所述高频高压信号进行处理获得射频匹配器采样点的电压值，并输出所述电压值至外部设备，包括：

26、对整流后的高频高压信号进行处理获得射频匹配器采样点的电压值，并输出所述电压值至外部设备。

27、可选地，所述对所述高频高压信号进行整流之后，还包括：

28、对整流后的高频高压信号进行滤波；

29、相应地，所述对整流后的高频高压信号进行处理获得射频匹配器采样点的电压值，并输出所述电压值至外部设备，包括：

30、对滤波后的高频高压信号进行处理获得射频匹配器采样点的电压值，并输出所述电压值至外部设备。

31、可选地，所述对整流后的高频高压信号进行滤波之后，还包括：

32、对滤波后的高频高压信号进行分压；

33、相应地，所述对滤波后的高频高压信号进行处理获得射频匹配器采样点的电压值，并输出所述电压值至外部设备，包括：

34、对分压后的高频高压信号进行处理获得射频匹配器采样点的电压值，并输出所述电压值至外部设备。

35、本发明公开了一种电压采样电路，所述电路应用于射频匹配器，所述电压采样电路包括：采样探头和电压处理模块；其中，所述采样探头与射频匹配器采样点之间间隔预设采样距离，所述采样探头还与所述电压处理模块连接，所述电压处理模块与外部设备连接；所述采样探头，用于通过电气间隙感应所述射频匹配器输出的高频高压信号，并将所述高频高压信号输出至所述电压处理模块；所述电压处理模块，用于对所述高频高压信号进行处理获得所述射频匹配器采样点的电压值，并输出所述电压值至所述外部设备。本发明通过在采样点和采样电路之间建立一个电气间隙，从而实现了对高电压信号的非接触式采样。这不仅解决了传统采样技术中存在的电气隔离问题，还有助于射频匹配器的高效、安全运行。

技术特征：

1.一种电压采样电路，其特征在于，所述电路应用于射频匹配器，所述电压采样电路包括：采样探头和电压处理模块；

2.如权利要求1所述的电压采样电路，其特征在于，所述采样探头的数量为多个，各个所述采样探头以预设间隔分布。

3.如权利要求1所述的电压采样电路，其特征在于，所述电压采样电路还包括：整流模块；

4.如权利要求3所述的电压采样电路，其特征在于，所述电压采样电路还包括：滤波模块；

5.如权利要求4所述的电压采样电路，其特征在于，所述电压采样电路还包括：分压模块；

6.一种电压采样装置，其特征在于，所述电压采样装置包括权利要求1至5中任一项所述的电压采样电路。

7.一种电压采样方法，其特征在于，所述方法应用于如权利要求6所述的电压采样装置，所述电压采样方法包括：

8.如权利要求7所述的电压采样方法，其特征在于，所述对所述高频高压信号进行处理获得射频匹配器采样点的电压值，并输出所述电压值至外部设备之前，还包括：

9.如权利要求8所述的电压采样方法，其特征在于，所述对所述高频高压信号进行整流之后，还包括：

10.如权利要求9所述的电压采样方法，其特征在于，所述对整流后的高频高压信号进行滤波之后，还包括：

技术总结本发明涉及匹配器技术领域，尤其涉及一种电压采样电路、装置以及方法，电路应用于射频匹配器，电压采样电路包括：采样探头和电压处理模块；其中，采样探头与射频匹配器采样点之间间隔预设采样距离，采样探头还与电压处理模块连接，电压处理模块与外部设备连接；采样探头用于通过电气间隙感应射频匹配器输出的高频高压信号，并将高频高压信号输出至电压处理模块；电压处理模块用于对高频高压信号进行处理获得射频匹配器采样点的电压值，并输出电压值至外部设备。本发明通过在采样点和采样电路之间建立一个电气间隙，从而实现了对高电压信号的非接触式采样。这不仅解决了传统采样技术中存在的电气隔离问题，还有助于射频匹配器的高效、安全运行。技术研发人员：林伟群,郭启亮受保护的技术使用者：深圳市恒运昌真空技术股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/8/20