一种基于激光剥离技术的OLED屏幕加工工艺及加工设备的制作方法

本发明涉及机械设备，具体为一种基于激光剥离技术的oled屏幕加工工艺及加工设备。

背景技术：

1、oled又称为有机电激光显示、有机发光半导体，oled属于一种电流型的有机发光器件，是通过载流子的注入和复合而致发光的现象，发光强度与注入的电流成正比，oled在电场的作用下，阳极产生的空穴和阴极产生的电子就会发生移动，分别向空穴传输层和电子传输层注入，迁移到发光层，当二者在发光层相遇时，产生能量激子，从而激发发光分子最终产生可见光，由于其发光特性，可以制备柔性屏幕，目前的柔性oled屏幕制备工艺为：首先采用涂布的方式将聚酰亚胺薄膜固着在玻璃载体上，然后在柔性聚酰亚胺薄膜上利用蒸镀的方式制备晶体二极管(tft)和oled器件等，之后再利用激光进行切割，最后通过剥离技术将pi薄膜及其上制作的tft、oled器件等从玻璃载体上一同剥离下来，形成柔性oled屏幕，剥离方式主要为机械式剥离或激光剥离，由于机械式剥离易对柔性面板造成损伤，因此目前多采用激光剥离技术来剥离柔性oled屏幕，激光剥离是采用激光照射剥离载体，使得聚酰亚胺薄膜与玻璃失去粘性，即可剥离出柔性屏幕，但是目前的采用激光剥离技术制备oled屏幕的方式有以下缺陷：

2、在整个制备过程中，需要进行激光切割以及激光剥离，需要两台激光设备，激光设备本身较为昂贵，提高了加工成本；此外在进行激光剥离时，玻璃载体表面以及玻璃载体与聚酰亚胺薄膜连接处容易出现颗粒杂质，这样在进行剥离时会遮挡激光，剥离后容易在聚酰亚胺薄膜上形成缺陷。

3、为此我们提出一种基于激光剥离技术的oled屏幕加工工艺及加工设备用于解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种基于激光剥离技术的oled屏幕加工工艺及加工设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种基于激光剥离技术的oled屏幕加工设备，包括涂布机、蒸镀机、清洗部件及激光加工部件，所述涂布机上开设有进料口，所述进料口处设置有除尘组件，所述激光加工部件包括工作台，所述工作台顶面固接第二真空吸附台，所述工作台顶面四角处垂直固接四个立柱，四个所述立柱顶端设置有三轴移动机构，所述三轴移动机构上设置有切换式激光头结构；

3、所述切换式激光头结构包括纵方壳及横方壳，所述横方壳水平固接在纵方壳顶端侧壁，所述纵方壳内垂直开设第一光路腔，所述横方壳内水平开设第二光路腔，所述第二光路腔连通第一光路腔顶部，所述横方壳远离纵方壳的端部顶面固接第一激光器、底面固接第二激光器，所述第一激光器及第二激光器与水平均呈十五度夹角，所述第二光路腔内部固接梯形块，所述梯形块顶面及底面固接两个第一反射镜，所述第一光路腔顶部固接第二反射镜，所述纵方壳上设置有聚焦结构，所述第一光路腔内位于聚焦结构下方位置固接准直镜；

4、所述聚焦结构包括外壳，所述外壳内开设滑腔，所述滑腔内水平滑动套接内壳，所述纵方壳侧壁位于外壳下方位置水平固接横支板，所述横支板上固接第二电动推杆，所述第二电动推杆输出轴端部穿过外壳侧壁并固接内壳端部，所述外壳对应第一光路腔位置垂直开设通口，所述内壳上垂直开设第一滑孔及第二滑孔，所述第一滑孔内垂直滑动连接第一滑环，所述第一滑环内侧固接第一聚焦镜，所述第二滑孔内垂直滑动连接第二滑环，所述第二滑环内侧固接第二聚焦镜。

5、优选的，所述除尘组件包括l型板，所述l型板一侧固接在进料口内，所述l型板上水平开设进口，所述l型板侧壁位于进口上方位置水平固接横架，所述横架顶面固接储尘仓及吸尘泵，所述横架底面固接吸尘板，所述吸尘板底面固接并连通多个吸尘头，所述吸尘泵连通吸尘板及储尘仓，所述l型板表面混匀转动连接多个下输送辊，所述l型板侧壁水平固接两个支架，两个所述支架之间转动连接第二上输送辊，所述进口顶面转动连接第一上输送辊。

6、优选的，所述l型板、其中一个支架内部开设传动腔，多个所述下输送辊端部中心水平固接多个第一短轴，多个所述第一短轴端部位于传动腔内，所述第一上输送辊端部中心水平固接第二短轴，所述第二上输送辊端部中心水平固接第三短轴，所述第二短轴、第三短轴端部均位于传动腔内，每个所述第一短轴上固定套接两个第一带轮，相邻的两个所述第一短轴上的第一带轮上套接第一同步带，所述l型板远离进口一端侧壁固接第一伺服减速电机，所述第一伺服减速电机转轴端位于传动腔内并固接半齿齿轮，远离所述进口的第一短轴上还固定套接从动齿轮，所述半齿齿轮啮合连接从动齿轮，所述传动腔内位于第二短轴下方位置转动连接两个第四短轴，两个所述第四短轴上固定套接两个齿轮，两个所述齿轮啮合连接，两个所述第四短轴上固定套接两个第三带轮，靠近所述第四短轴的第一短轴上固定套接第二带轮，所述第二带轮及位于下方的第三带轮上套接第二同步带，所述第二短轴上固定套接第四带轮及第五带轮，所述第四带轮及位于上方的第三带轮上套接第三同步带，所述第三短轴上固定套接第六带轮，所述第六带轮及第五带轮上套接第四同步带。

7、优选的，所述清洗部件包括斜面工作台，所述斜面工作台顶面固接第一真空吸附台，所述斜面工作台顶面较高一端的两侧开设两个槽口，两个所述槽口内水平滑动连接两个导向块，两个所述导向块顶面固接推板，所述推板靠近第一真空吸附台一侧设置有防水板，所述防水板侧壁开设多个防水槽，所述斜面工作台较低一端的侧壁固接l型架，所述l型架上固接六轴机械臂，所述六轴机械臂输出端固接高速电机，所述高速电机转轴端固接研磨轮。

8、优选的，所述斜面工作台底面固接水箱，所述水箱顶面两侧固接并连通两个水泵，两个所述水泵顶面固接并连通两个l型管，两个所述l型管顶端之间固接并连通横管，所述横管底面固接并连通多个喷头，所述横管位于第一真空吸附台上方，所述推板靠近防水板一侧开设t型槽，所述防水板侧壁固接t型条，所述t型条滑动插接t型槽，所述防水板一端侧壁固接固定板，所述推板靠近固定板一端开设两个螺纹孔，所述固定板上开设两个螺纹通孔，所述螺纹孔及螺纹通孔螺纹连接螺栓，所述斜面工作台靠近推板一端固接第一电动推杆，所述第一电动推杆输出轴固接推板侧壁。

9、优选的，所述三轴移动机构包括两个横杆，两个所述横杆固接在四个立柱顶端，两个所述横杆相互靠近一侧开设两个第一滑槽，两个所述第一滑槽内水平滑动连接两个第一滑块，两个所述第一滑块之间水平固接滑移杆，所述滑移杆上水平滑动套接滑套，所述滑套侧壁固接气动推杆，所述气动推杆输出端底端固接压块，所述压块底端固接切换式激光头结构的纵方壳顶端。

10、优选的，两个所述横杆一端之间固接连接板，两个所述横杆内部及连接板两端内部开设共两个内腔，所述内腔底部连通第一滑槽，所述连接板内水平转动连接长转杆，所述长转杆贯穿两个内腔端部，所述长转杆位于两个内腔内位置固定套接两个从动带轮，所述内腔远离从动带轮一端转动连接主动带轮，所述主动带轮及从动带轮上套接第五同步带，所述第五同步带固接第一滑块，所述连接板端部固接第二伺服减速电机，所述第二伺服减速电机转轴端固接长转杆端部，所述滑移杆底面开设第二滑槽，所述滑套内侧壁底面固接第二滑块，所述第二滑块水平滑动连接在第二滑槽内，所述第二滑槽内转动连接横丝杆，所述第二滑块内固接横螺纹套筒，所述横丝杆螺纹连接横螺纹套筒，所述滑移杆顶面一端固接第三伺服减速电机，所述第三伺服减速电机转轴端底端位于滑移杆内部并固接主动锥齿轮，所述横丝杆端部固接从动锥齿轮，所述主动锥齿轮啮合连接从动锥齿轮。

11、优选的，所述内壳远离第二电动推杆一端上部转动连接第一阻尼转柱，所述第一阻尼转柱端部固接第一花键轴，所述内壳远离第二电动推杆一端下部转动连接第二阻尼转柱，所述第二阻尼转柱端部固接第二花键轴，所述外壳侧壁靠近第一阻尼转柱位置转动连接第一轴柱，所述第一轴柱靠近第一阻尼转柱一端开设第一花键槽，所述第一轴柱另一端固接第一旋钮，所述第一花键轴插接第一花键槽，所述外壳靠近第二阻尼转柱位置转动连接第二轴柱，所述第二轴柱靠近第二阻尼转柱一端开设第二花键槽，所述第二轴柱另一端固接第二旋钮，所述第二花键槽插接第二花键轴。

12、优选的，所述第一滑孔两侧开设两个第一侧滑槽，所述第一滑环两侧固接两个第一侧滑块，所述第一侧滑块垂直滑动连接在第一侧滑槽内，所述内壳内部靠近第一阻尼转柱位置转动连接第一转杆，所述内壳内部位于第一转杆两端与两个第一侧滑槽顶端之间位置转动连接两个第二转杆，所述第一侧滑槽内垂直转动连接第一竖丝杆，所述第一侧滑块内固接第一螺纹套筒，所述第一竖丝杆螺纹连接第一螺纹套筒，所述第一阻尼转柱转轴端固接第一锥齿轮，所述第一转杆中部固定套接第二锥齿轮，所述第一转杆两端固接两个第三锥齿轮，所述第二转杆靠近第一转杆一端固接第四锥齿轮，所述第二转杆另一端固接第五锥齿轮，所述第一竖丝杆顶端位于内壳内部并固接第六锥齿轮，所述第一锥齿轮啮合连接第二锥齿轮，所述第三锥齿轮啮合连接第四锥齿轮，所述第五锥齿轮啮合连接第六锥齿轮，所述第二滑孔两侧开设两个第二侧滑槽，所述第二滑环两侧固接两个第二侧滑块，所述第二侧滑块垂直滑动连接在第二侧滑槽内，所述内壳内部靠近第二阻尼转柱位置转动连接第三转杆，所述内壳内部位于第三转杆两端与两个第二侧滑槽底端之间位置转动连接两个第四转杆，所述第二侧滑槽内垂直转动连接第二竖丝杆，所述第二侧滑块内固接第二螺纹套筒，所述第二竖丝杆螺纹连接第二螺纹套筒，所述第二阻尼转柱转轴端固接第七锥齿轮，所述第三转杆中部固定套接第八锥齿轮，所述第三转杆两端固接两个第九锥齿轮，所述第四转杆靠近第三转杆一端固接第十锥齿轮，所述第四转杆另一端固接第十一锥齿轮，所述第二竖丝杆底端位于内壳内部并固接第十二锥齿轮，所述第七锥齿轮啮合连接第八锥齿轮，所述第九锥齿轮啮合连接第十锥齿轮，所述第十一锥齿轮啮合连接第十二锥齿轮。

13、本发明还提供了一种基于激光剥离技术的oled屏幕加工设备的加工工艺，包括以下步骤：

14、步骤一涂布：将玻璃载体通过除尘组件送入涂布机中涂布聚酰亚胺，涂布固化后在玻璃载体表面形成聚酰亚胺薄膜；

15、步骤二蒸镀：将涂布后的玻璃载体送入蒸镀机中，在聚酰亚胺薄膜表面进行多层蒸镀，蒸镀出各个功能层，得到蒸镀后屏幕；

16、步骤三封装：将蒸镀后屏幕送入封装生产线，在侧部安装柔性电路板，并进行封装，得到封装后屏幕；

17、步骤四研磨清洗：将封装后屏幕置于清洗部件内的第一真空吸附台表面固定，使得玻璃载体一侧朝向上方，并且推板移动使得防水槽与柔性电路板连接，之后进行研磨清洗，得到清洗后屏幕；

18、步骤四激光切割：将清洗后屏幕置于激光加工部件的第二真空吸附台表面，使得玻璃载体一面朝向上方，打开切换式激光头结构的第一激光器，并通过第二电动推杆调整第一聚焦镜位于通口位置，形成点聚焦，根据路径对清洗后屏幕进行切割；

19、步骤五激光剥离：切割完毕后，关闭第一激光器，打开第二激光器，并且通过第二电动推杆调整第二聚焦镜位于通口处，形成线聚焦，对玻璃载体进行照射，使得聚酰亚胺薄膜与玻璃载体分离，完成剥离，去除玻璃载体后得到柔性oled屏幕。

20、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

21、本发明激光加工部件中的切换式激光头结构采用了不同类型的两个激光器，配合不同类型的聚焦镜，每个激光器对应每个聚焦镜，可以进行切换，使用第一激光器配合第一聚焦镜进行切割，使用第二激光器配合第二聚焦镜进行照射剥离，这样只需一个激光设备即可实现切割和激光剥离的工作，降低了生产成本；本发明在涂布聚酰亚胺薄膜时增加了除尘组件，可以对涂布前的玻璃载体表面进行清洁，避免玻璃载体与聚酰亚胺薄膜之间出现颗粒杂质，还设置了清洗部件，采用研磨清洗的方式清洁玻璃载体表面，避免玻璃载体表面出现颗粒杂质，这样在进行剥离时，不会出现颗粒杂质对激光造成阻挡的现象，保证了剥离的质量。