信息处理装置、基板处理装置、信息处理方法及存储介质与流程

本发明涉及一种信息处理装置、基板处理装置、信息处理方法及计算机可读存储介质。

背景技术：

1、作为对半导体晶片等基板进行各种处理的基板处理装置之一，已知有进行化学机械研磨(chemical mechanical polishing，cmp)处理的基板处理装置。此种基板处理装置例如包括：研磨单元，进行基板的研磨处理；精加工单元，进行研磨处理后的基板的精加工处理(例如清洗处理或干燥处理)；以及搬送单元，进行在各单元间搬送基板的搬送处理，且构成为，通过使各单元依次运行来执行一系列的处理(例如参照专利文献1)。

2、[现有技术文献]

3、[专利文献]

4、[专利文献1]日本专利特开2004-265906号公报

技术实现思路

1、[发明所要解决的问题]

2、为了提高处理效率，基板处理装置例如包括多个研磨单元、多个精加工单元与多个搬送单元而构成。因此，在基板处理装置中，在将规定片数的基板作为处理对象来使各单元依次运行的情况下，要求以对所有基板的各处理结束的时间变得最短的方式来适当决定各单元的运行顺序或运行时机，由此来制作各处理的基板处理计划表(schedule)。此时，在搬送单元的装置结构中包含不能同时执行的搬送处理的情况下(例如相当于后述的研磨处理后移送处理及研磨处理前移送处理)，基板的等待时间根据优先地执行这些搬送处理中的哪一个而发生变化，因此存在基板处理计划表的评估指标根据优先的搬送处理的选择而劣化的可能性。

3、本发明鉴于所述课题，其目的在于提供一种在搬送单元的装置结构中包含不能同时执行的搬送处理的情况下，能够适当地制作基板处理计划表的信息处理装置、基板处理装置、信息处理方法及信息处理程序。

4、[解决问题的技术手段]

5、为了达成所述目的，本发明的一实施例的信息处理装置制作在基板处理装置中对规定片数的基板依次进行各处理时的基板处理计划表，所述基板处理装置包括：

6、一个或多个研磨单元，进行所述基板的研磨处理，并且能够进接至用于所述基板的交接的研磨单元交接位置；

7、一个或多个精加工单元，进行所述研磨处理后的基板的精加工处理；

8、第一搬送单元，进行研磨处理前搬送处理，所述研磨处理前搬送处理是将所述研磨处理前的基板从第一搬送开始位置搬送至第一搬送结束位置；

9、第二搬送单元，包括多个搬送机构，所述搬送机构进行研磨处理前搬入处理以及研磨处理后搬出处理，所述研磨处理前搬入处理是将所述研磨处理前的基板从移送机器人交接位置搬送至所述研磨单元交接位置，所述研磨处理后搬出处理是将所述研磨处理后的基板从所述研磨单元交接位置搬送至所述移送机器人交接位置；

10、第三搬送单元，进行研磨处理后搬送处理，所述研磨处理后搬送处理是将所述研磨处理后的基板从第三搬送开始位置搬送至所述精加工单元；

11、供给排出机器人，进行基板供给处理以及基板排出处理，所述基板供给处理是从基板匣盒取出所述研磨处理前的基板并供给至所述第一搬送单元，所述基板排出处理是从所述精加工单元接收所述精加工处理后的基板并收纳于所述基板匣盒中；以及

12、移送机器人，进行研磨处理前移送处理以及研磨处理后移送处理，所述研磨处理前移送处理是在所述第一搬送结束位置从所述第一搬送单元接收所述研磨处理前的基板并在所述移送机器人交接位置交接至所述第二搬送单元，所述研磨处理后移送处理是在所述移送机器人交接位置从所述第二搬送单元接收所述研磨处理后的基板并在所述第三搬送开始位置交接至所述第三搬送单元，所述信息处理装置包括：

13、基板处理时间获取部，基于表示所述研磨处理及所述精加工处理的处理内容的配方信息，获取所述研磨处理所需的研磨时间及所述精加工处理所需的精加工时间；

14、搬送处理时间获取部，获取所述基板供给处理、所述研磨处理前搬送处理、所述研磨处理前移送处理、所述研磨处理前搬入处理、所述研磨处理后搬出处理、所述研磨处理后移送处理、所述研磨处理后搬送处理、及所述基板排出处理各自所需的搬送时间；以及

15、计划表制作部，将对进行所述各处理的顺序进行规定的处理顺序条件、对所述各处理中的能或不能同时进行的处理进行规定的同时处理条件、以及对相对于所述研磨处理后移送处理使所述研磨处理前移送处理优先进行规定的移送处理优先条件设为数学最优化的限制条件，将使在变量中包含所述研磨时间及所述精加工时间以及所述搬送时间的、最后一片所述基板的最终处理结束时间成为最短设为所述数学最优化的目标函数，进行决定所述各处理的开始时机的所述数学最优化，由此制作所述基板处理计划表。

16、[发明的效果]

17、根据本发明的一实施例的信息处理装置，计划表制作部将对进行各处理的顺序进行规定的处理顺序条件、对各处理中的能或不能同时进行的处理进行规定的同时处理条件、以及对相对于研磨处理后移送处理使研磨处理前移送处理优先进行规定的移送处理优先条件设为数学最优化的限制条件，将使在变量中包含研磨时间及精加工时间以及搬送时间的、最后一片基板的最终处理结束时间成为最短设为数学最优化的目标函数，进行决定各处理的开始时机的数学最优化，由此制作基板处理计划表。因此，即便在搬送单元的装置结构中包含移送机器人所进行的研磨处理前移送处理及研磨处理后移送处理以作为不能同时执行的搬送处理的情况下，也在基板处理计划表中反映出对相对于研磨处理后移送处理使研磨处理前移送处理优先进行规定的移送处理优先条件，因此可适当地制作基板处理计划表。

18、所述以外的课题、结构以及效果将通过后述的具体实施方式而变得明确。

技术特征：

1.一种信息处理装置，制作在基板处理装置中对规定片数的基板依次进行各处理时的基板处理计划表，所述基板处理装置包括：

2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中

3.根据权利要求2所述的信息处理装置，其中

4.根据权利要求1至3中任一项所述的信息处理装置，还包括计划表评估部，

5.一种信息处理装置，制作在基板处理装置中对规定片数的基板依次进行各处理时的基板处理计划表，所述基板处理装置包括：

6.一种基板处理装置，包括：

7.一种信息处理方法，制作在基板处理装置中对规定片数的基板依次进行各处理时的基板处理计划表，所述基板处理装置包括：

8.一种信息处理方法，制作在基板处理装置中对规定片数的基板依次进行各处理时的基板处理计划表，所述基板处理装置包括：

9.一种计算机可读存储介质，其上存储有信息处理程序，制作在基板处理装置中对规定片数的基板依次进行各处理时的基板处理计划表，所述基板处理装置包括：

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有信息处理程序，制作在基板处理装置中对规定片数的基板依次进行各处理时的基板处理计划表，所述基板处理装置包括：

技术总结本发明提供一种能够适当地制作基板处理计划表的信息处理装置、基板处理装置、信息处理方法及存储介质。信息处理装置制作在基板处理装置中对规定片数的基板依次进行各处理时的基板处理计划表。信息处理装置包括：基板处理时间获取部，基于配方信息来获取研磨时间及精加工时间；搬送处理时间获取部，获取搬送时间；以及计划表制作部，将处理顺序条件、同时处理条件、以及对相对于研磨处理后移送处理使研磨处理前移送处理优先进行规定的移送处理优先条件设为数学最优化的限制条件，将使最后一片基板的最终处理结束时间成为最短设为数学最优化的目标函数，进行决定各处理的开始时机的数学最优化，由此制作基板处理计划表。技术研发人员：大滝裕史,一瀬翔,中村贵正受保护的技术使用者：株式会社荏原制作所技术研发日：技术公布日：2024/9/12