一种真空处理系统的制作方法

本技术实施例涉及真空处理，尤其涉及一种真空处理系统。

背景技术：

1、在对电子产品外壳等工件进行真空镀膜和等离子体处理等真空处理过程中，一般在真空镀膜和等离子体处理等真空处理装置中设置旋转式工件夹具，待处理工件装载于旋转式工件夹具上，并通过真空镀膜源和等离子体源等真空处理源的作用对放置于旋转工件夹具中的待处理工件进行真空处理。

2、目前，旋转式工件夹具可能存在复杂的机械结构，使得工件夹具在旋转过程中可能会出现卡顿或过冲等旋转异常现象。在前述情况下，如果真空处理源仍以正常旋转状况下的预设输出功率对工件进行真空处理，则易导致待处理工件上接收到超过或低于预定设计量的真空处理，从而影响待处理工件整体的处理效果。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种真空处理系统，以解决因工件夹具旋转过程中卡顿或过冲等旋转异常而导致的真空处理偏离预定设计量的问题，改善真空处理效果。

2、根据本实用新型的一方面，提供了一种真空处理系统，包括：工件夹具模块、信号处理模块和控制模块；所述工件夹具模块包括角度传感单元，所述工件夹具模块安装有待处理工件，且所述工件夹具模块设置于真空环境中；

3、所述工件夹具模块与所述信号处理模块电连接，所述信号处理模块与所述控制模块电连接；

4、所述工件夹具模块用于带动所述待处理工件旋转，并通过所述角度传感器在真空环境中测量所述待处理工件的旋转角度，生成并输出角度信号至所述信号处理模块；所述信号处理模块用于对接收的所述角度信号进行处理，生成控制信号并输出至所述控制模块；所述控制模块用于根据所述控制信号调控真空处理源的输出，以使所述待处理工件接收预定设计量的真空处理。

5、可选地，所述信号处理模块，包括：信号转换单元；

6、所述信号转换单元的第一端与所述工件夹具模块电连接，所述信号转换单元的第二端与所述信号处理模块的输出端电连接；

7、所述信号转换单元用于将接收的所述角度信号转换为角度电信号，并输出所述角度电信号。

8、可选地，所述信号处理模块，还包括：基准信号输出单元和运算单元；

9、所述运算单元电连接于所述信号转换单元与所述信号处理模块的输出端之间，且所述运算单元与所述基准信号输出单元电连接；

10、所述基准信号输出单元用于输出基准角度电信号至所述运算单元；所述运算单元用于对接收的所述角度电信号与所述基准角度电信号进行运算，生成并输出所述控制信号。

11、可选地，所述工件夹具模块，包括：至少一个工件夹具和旋转支架；

12、至少一个所述工件夹具固定于所述旋转支架上；所述旋转支架用于在平面内旋转时，带动至少一个所述工件夹具共同在所述平面内旋转，并且带动至少一个所述工件夹具围绕自身的轴向方向旋转。

13、可选地，所述旋转支架包括：传动齿盘、至少一个子传动齿盘和驱动电机；

14、至少一个所述子传动齿盘在所述传动齿盘表面的边缘轮廓间隔设置，所述子传动齿盘连接有所述工件夹具；所述驱动电机通过传动轴连接于所述传动齿盘的中心；

15、所述驱动电机用于驱动所述传动齿盘带动至少一个所述子传动齿盘在水平面内旋转。

16、可选地，所述工件夹具包括：旋转端头、固定端头和第一连接件；

17、所述第一连接件的第一端与所述固定端头内的旋转轴承连接，所述第一连接件的第二端与所述旋转端头固定连接；所述待处理工件安装于所述第一连接件上；

18、所述旋转端头通过第二连接件与相应的所述子传动齿盘连接；

19、所述驱动电机还用于驱动所述子传动齿盘通过所述第二连接件带动相应的所述旋转端头和所述第一连接件旋转，使所述旋转端头和所述第一连接件围绕所述第一连接件和所述第二连接件的轴向旋转。

20、可选地，由所述旋转端头表面向内部开设一个开槽，所述开槽内设置有所述角度传感单元；

21、在所述开槽的开口位置设置有盖板，所述盖板用于密封所述开槽。

22、可选地，所述角度传感单元包括：无线姿态传感器；

23、所述无线姿态传感器将测量的所述待处理工件的角度信号通过无线通信传输至所述信号处理模块。

24、本实用新型实施例提供的真空处理系统，工件夹具模块包括角度传感单元，并将安装有待处理工件的工件夹具模块置于真空环境中，可实现角度传感单元在真空环境中实时监测待处理工件的旋转角度。工件夹具模块测得并生成角度信号，输出至信号处理模块，由信号处理模块对角度信号进行转换与处理，根据工件夹具模块的实际旋转角度生成控制信号，并将控制信号输出至控制模块。控制模块根据控制信号调控真空处理源的输出量，可实现根据工件夹具模块的实际旋转情况调节真空处理源的输出量，有利于避免因工件夹具模块出现卡顿或过冲等旋转异常情况，对待处理工件的真空处理效果造成影响，从而使得待处理工件接收到预定设计量的真空处理，可有效改善真空处理效果。

25、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本实用新型的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本实用新型的范围。本实用新型的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

技术特征：

1.一种真空处理系统，其特征在于，包括：工件夹具模块、信号处理模块和控制模块；所述工件夹具模块包括角度传感单元，所述工件夹具模块安装有待处理工件，且所述工件夹具模块设置于真空环境中；

2.根据权利要求1所述的真空处理系统，其特征在于，所述信号处理模块，包括：信号转换单元；

3.根据权利要求2所述的真空处理系统，其特征在于，所述信号处理模块，还包括：基准信号输出单元和运算单元；

4.根据权利要求1所述的真空处理系统，其特征在于，所述工件夹具模块，包括：至少一个工件夹具和旋转支架；

5.根据权利要求4所述的真空处理系统，其特征在于，所述旋转支架包括：传动齿盘、至少一个子传动齿盘和驱动电机；

6.根据权利要求5所述的真空处理系统，其特征在于，所述工件夹具包括：旋转端头、固定端头和第一连接件；

7.根据权利要求6所述的真空处理系统，其特征在于，由所述旋转端头表面向内部开设一个开槽，所述开槽内设置有所述角度传感单元；

8.根据权利要求1所述的真空处理系统，其特征在于，所述角度传感单元包括：无线姿态传感器；

技术总结本技术公开了一种真空处理系统。该真空处理系统包括：工件夹具模块、信号处理模块和控制模块；工件夹具模块包括角度传感单元，工件夹具模块安装有待处理工件，且工件夹具模块设置于真空环境中；工件夹具模块用于带动待处理工件旋转，并通过角度传感器在真空环境中测量待处理工件的旋转角度，生成并输出角度信号至信号处理模块；信号处理模块用于对接收的角度信号进行处理，生成控制信号并输出至控制模块；控制模块用于根据控制信号调控真空处理源的输出，以使待处理工件接收预定设计量的真空处理。本技术实施例的技术方案有利于避免因工件夹具模块出现卡顿等情况，对待处理工件的处理效果造成影响，可有效改善真空处理效果。技术研发人员：张波,余龙,耿生煌,王德智受保护的技术使用者：光驰科技（上海）有限公司技术研发日：20231128技术公布日：2024/9/17