一种机械臂装置的制作方法

本技术涉及半导体，具体地说，涉及一种机械臂装置。

背景技术：

1、机械臂装置广泛的应用与各个领域，如汽车制造，半导体制造等，其用于实现代替人工操作，以降低劳动强度，增加工作效率。

2、专利号为cn213967415u的专利中公开了一种自动旋涂机，包括上料冶具、夹爪组精密注射泵、点胶组件、旋涂主体、曝光组成品冶具、双层密封机壳、控制面板。虽然该自动旋涂机能够非常有效的提高旋涂的良品率，也能够提高旋涂的效率，但是该旋涂机种的夹具组件有两片夹爪，且为横插式拿取硅片的方法，这样的拿取方式使硅片受到两片夹爪相对的力，其在实际夹取时，硅片可能会向未受力的方向倾斜，导致夹取不稳,故有待改进。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的夹具组件有两片夹爪，且为横插式拿取硅片的方法，这样的拿取方式使硅片受到两片夹爪相对的力，其在实际夹取时，硅片可能会向未受力的方向倾斜，导致夹取不稳的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种机械臂装置，包括底座、升降臂和夹持组件，升降臂可升降地设于底座上，夹持组件设于升降臂的一端上；夹持组件包括固连于升降臂一端的安装板，安装板的下端设有呈十字状的安装支架，安装支架的端部处铰接有夹爪，夹爪呈弯折状，夹爪的弯折处设有一端铰接连接于夹爪上的连接杆，连接杆的另一端均铰接连接于一升降支架上，安装支架的下端面且位于中部处设有用于驱动升降支架升降的驱动，升降支架上升用于驱动夹爪夹紧；安装板上设有用于对安装支架进行调平的调平组件。

4、进一步地，安装板内设有向下开口的安装腔，安装腔内设有连接轴和安装块，连接轴贯穿安装块设置，安装块的下端固连安装支架，调平组件包括螺栓和螺母，螺栓相对设于安装板两侧且贯穿安装板设置，螺母通过安装件安装在安装腔内，螺栓螺纹穿过对应的螺母抵紧安装支架的上端。

5、进一步地，座包括上底板和下底板，上底板通过转动轴转动连接于下底板，下底板上设有用于驱动上底板转动的驱动组件。

6、进一步地，驱动组件包括设于下底板上的电机，电机的输出轴上设有锥齿轮，上底板的底壁处设有安装环，安装环上设有锥齿，锥齿轮与锥齿相啮合。

7、进一步地，升降臂包括弯折的大臂和呈直线状的小臂，大臂的一端铰接连接于上底板，上底板铰接连接有第一伸缩杆，第一伸缩杆的伸缩端铰接连接于大臂的弯折部下端处，大臂的弯折处上端铰接连接有第二伸缩杆，小臂的一端固连安装板，小臂的另一端铰接连接于第二伸缩杆的输出端，小臂的中部铰接于大臂弯折部的端部处。

8、进一步地，安装支架的侧壁上设有水平仪。

9、进一步地，抓夹的底端弯折形成挤压部，挤压部上设有防滑纹。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1、本实用新型，通过设置升降臂和四个相对的夹爪，使得夹取硅片时受力均匀，与现有的通过两片夹爪，且为横插式拿取相比，本实用新型能够通过设置升降臂和四个相对的夹爪，拿取硅片时，硅片四周受力更均匀，不会倾斜，且竖直拿取，从而保证拿取硅片时，硅片能够保持水平，后续旋涂时硅片上未固化的料浆不会滴落。

12、2、本实用新型，通过调平组件的设置，使得当安装支架歪斜时能够通过调平组件对安装支架进行调平，保证了安装支架的平衡，从而保证夹爪夹取物体的平衡。

技术特征：

1.一种机械臂装置，其特征在于：包括底座(100)、升降臂(110)和夹持组件(120)，升降臂(110)可升降地设于底座(100)上，夹持组件(120)设于升降臂(110)的一端上；夹持组件(120)包括固连于升降臂(110)一端的安装板(200)，安装板(200)的下端设有呈十字状的安装支架(210)，安装支架(210)的端部处铰接有夹爪(250)，夹爪(250)呈弯折状，夹爪(250)的弯折处设有一端铰接连接于夹爪(250)上的连接杆(240)，连接杆(240)的另一端均铰接连接于一升降支架(230)上，安装支架(210)的下端面且位于中部处设有用于驱动升降支架(230)升降的驱动件(220)，升降支架(230)上升用于驱动夹爪(250)夹紧；安装板(200)上设有用于对安装支架(210)进行调平的调平组件。

2.根据权利要求1所述的一种机械臂装置，其特征在于：安装板(200)内设有向下开口的安装腔(300)，安装腔(300)内设有连接轴(321)和安装块(320)，连接轴(321)贯穿安装块(320)设置，安装块(320)的下端固连安装支架(210)，调平组件包括螺栓(310)和螺母(311)，螺栓(310)相对设于安装板(200)两侧且贯穿安装板(200)设置，螺母(311)通过安装件(312)安装在安装腔(300)内，螺栓(310)螺纹穿过对应的螺母(311)抵紧安装支架(210)的上端。

3.根据权利要求1所述的一种机械臂装置，其特征在于：底座(100)包括上底板(401)和下底板(402)，上底板(401)通过转动轴(404)转动连接于下底板(402)，下底板(402)上设有用于驱动上底板(401)转动的驱动组件。

4.根据权利要求3所述的一种机械臂装置，其特征在于：驱动组件包括设于下底板(402)上的电机(410)，电机(410)的输出轴上设有锥齿轮(411)，上底板(401)的底壁处设有安装环(403)，安装环(403)上设有锥齿，锥齿轮(411)与锥齿相啮合。

5.根据权利要求4所述的一种机械臂装置，其特征在于：升降臂(110)包括弯折的大臂(111)和呈直线状的小臂(112)，大臂(111)的一端铰接连接于上底板(401)，上底板(401)铰接连接有第一伸缩杆(113)，第一伸缩杆(113)的伸缩端铰接连接于大臂(111)的弯折部下端处，大臂(111)的弯折处上端铰接连接有第二伸缩杆(114)，小臂(112)的一端固连安装板(200)，小臂(112)的另一端铰接连接于第二伸缩杆(114)的输出端，小臂(112)的中部铰接于大臂(111)弯折部的端部处。

6.根据权利要求2所述的一种机械臂装置，其特征在于：安装支架(210)的侧壁上设有水平仪(211)。

7.根据权利要求1所述的一种机械臂装置，其特征在于：夹爪(250)的底端弯折形成挤压部，挤压部上设有防滑纹。

技术总结本技术涉及半导体技术领域，公开了一种机械臂装置，包括底座、升降臂和夹持组件，升降臂可升降地设于底座上，夹持组件设于升降臂的一端上；夹持组件包括固连于升降臂一端的安装板，安装板的下端设有呈十字状的安装支架，安装支架的端部处铰接有夹爪，夹爪的弯折处设有一端铰接连接于夹爪上的连接杆，连接杆的另一端均铰接连接于一升降支架上，安装支架的下端面且位于中部处设有用于驱动升降支架升降的驱动，升降支架上升用于驱动夹爪夹紧；安装板上设有用于对安装支架进行调平的调平组件。通过设置升降臂和四个相对的夹爪，使得夹取硅片时受力均匀，避免硅片倾斜，从而保证旋涂时硅片上未固化的料浆不会滴落。技术研发人员：鲁聪聪,陈慧受保护的技术使用者：上海邃铸科技有限公司技术研发日：20231027技术公布日：2024/9/19