一种用于高纯电子气的新型钢瓶处理系统的制作方法

本技术涉及nh3提纯工艺中的钢瓶处理工艺，尤其涉及一种用于高纯电子气的新型钢瓶处理系统。

背景技术：

1、半导体工业用的气体统称电子气体。储存电子气体的钢瓶也是影响电子气体纯度的重要因素之一，因此需要对钢瓶内部进行除杂处理后才能对电子气体进行储存。

2、现有技术中，中国实用新型专利(cn110410662a)公开了一种超高纯气体的钢瓶处理系统及方法，其中第一集装格和第二集装格为置换气体，可为氮气、氦气或者氩气中的一种，通过对置换气进行组分检测并合格之后对其进行吸附、过滤处理，再次进行含杂分析。对管道进行抽真空，并将钢瓶进行加热排空之后再次进行抽真空，后通入分析合格的置换气体，静置20～30分钟后再次抽真空，反复充置换气抽真空，操作2～4次后，将最靠近总管的一钢瓶充入置换气，其余保持真空状态，待冷却至室温后，接入软管活接头利用分析装置对其进行含杂分析，若含杂分析合格，则代表钢瓶已达到了电子气体使用要求。然而，现有技术存在以下缺陷：

3、1)现有技术方案需要对置换气体进行吸附过滤再分析一系列处理才能使用，使该系统不必要操作增加；

4、2)现有技术方案为检测处理后的钢瓶是否合格，需将一钢瓶进行拆卸并通入分析装置，不仅会使钢瓶接头受到污染，影响钢瓶洁净度，而且操作繁琐，拖慢了生产效率；

5、3)现有技术方案在钢瓶加热时由于液氨蒸发迅速成为液态可能会导致钢瓶或者管道压力过大发生事故；

6、4)现有技术方案处理方式比较单一，只能对一种钢瓶组进行处理，适用性较低；

7、5)现有技术方案对尾气直接进行了排放，使得该系统只能作为惰性气体或者无毒害气体钢瓶处理系统，对于有毒害性的气体钢瓶若气体直接排放会造成环境污染；

8、6)现有技术方案在液体蒸发后直接进行了排放，可能造成环境污染，同时对原料也存在浪费。

9、目前针对相关技术中存在的操作繁琐、生产效率低、影响钢瓶洁净度、存在安全隐患、适用性较低、造成环境污染以及存在原料浪费等问题，尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是针对现有技术中的不足，提供一种用于高纯电子气的新型钢瓶处理系统，以解决相关技术中存在的操作繁琐、生产效率低、影响钢瓶洁净度、存在安全隐患、适用性较低、造成环境污染以及存在原料浪费等问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案是：

3、本实用新型提供一种用于高纯电子气的新型钢瓶处理系统，包括：

4、气体模块，所述气体模块与钢瓶连接，用于获取钢瓶的残余气体以及向钢瓶传输高纯电子气；

5、加热模块，所述加热模块设置于所述气体模块的底部，用于对钢瓶进行加热以使钢瓶的残余液体转换为气体；

6、纯度分析模块，所述纯度分析模块与所述气体模块连通，用于对所述气体模块的气体进行纯度分析；

7、回收模块，所述回收模块与所述气体模块连通，用于将所述气体模块的气体回收至冷凝系统或再生系统；

8、排放模块，所述排放模块与所述气体模块连通，用于排放所述气体模块的气体；

9、真空模块，所述真空模块分别与所述气体模块、所述分析模块连通，用于对与所述气体模块连通的钢瓶进行真空处理。

10、在其中的一些实施例中，所述气体模块包括：

11、气体主管路；

12、若干第一气体管路，若干所述第一气体管路分别与所述气体主管路、t瓶连接，用于获取t瓶的残余气体以及向所述t瓶传输高纯电子气；

13、第一压力监测器，所述第一压力监测器设置于与所述第一气体管路连通的管路，用于监测所述第一气体管路的压力。

14、在其中的一些实施例中，所述加热模块包括：

15、若干第一加热器，所述第一加热器设置于t瓶的底部，用于对t瓶进行加热以使液体转换为气体。

16、在其中的一些实施例中，所述纯度分析模块包括：

17、第一分析管路，所述第一分析管路将气体分析仪与所述气体模块连通，用于对t瓶内的气体进行含杂分析；

18、第二分析管路，所述第二分析管路将气体分析仪与所述真空模块连通，用于对排出气体进行含杂分析。

19、在其中的一些实施例中，所述回收模块包括：

20、第一回收管路，所述第一回收管路将所述气体模块与一级冷凝系统连通，用于在t瓶内气体的纯度符合标准的情况下，将t瓶内的气体输送至一级冷凝系统；

21、第二回收管路，所述第二回收管路将所述气体模块与再生系统连通，用于在t瓶内气体的纯度不符合标准的情况下，将t瓶内的气体输送至再生系统。

22、在其中的一些实施例中，所述排放模块包括：

23、排放管路，所述排放管路将所述气体模块与尾气处理池连通，用于将t瓶内的气体排至尾气处理池。

24、在其中的一些实施例中，所述真空模块包括：

25、第一真空泵，所述第一真空泵分别与所述气体模块、所述纯度分析模块连通，用于对t瓶进行抽真空处理；

26、第二压力监测器，所述第二压力监测器设置于与所述第一真空泵连通的管路，用于监测该管路的压力。

27、在其中的一些实施例中，所述真空模块还包括：

28、第二真空泵，所述第二真空泵与所述气体模块连通，用于在所述第一真空泵作业后再次对t瓶进行抽真空处理；

29、第三压力监测器，所述第二压力监测器设置于与所述第二真空泵连通的管路，用于监测该管路的压力。

30、在其中的一些实施例中，还包括：

31、泄压模块，所述泄压模块分别与所述气体模块、所述排放模块连通，用于在管路的压力超过安全压力阈值的情况下进行泄压。

32、在其中的一些实施例中，还包括：

33、吹扫模块，所述吹扫模块与所述气体模块连通，用于对与所述气体模块连接的钢瓶进行吹扫。

34、在其中的一些实施例中，还包括：

35、测重模块，所述测重模块设置于钢瓶的底部，用于对钢瓶的重量进行监测。

36、在其中的一些实施例中，所述泄压模块包括：

37、泄压管路，所述泄压管路分别与所述气体模块、所述排放模块连通，用于在所述气体模块及管路压力超过预设压力阈值的情况下进行泄压作业；

38、第四压力监测器，所述第二压力监测器设置于所述泄压管路，用于监测所述泄压管路的压力。

39、在其中的一些实施例中，所述测重模块包括：

40、若干第一测重器，所述第一测重器设置于t瓶的底壁，用于对t瓶的重量进行监测。

41、在其中的一些实施例中，所述气体模块还包括：

42、若干第二气体管路，若干第二气体管路分别与所述气体主管路、47l钢瓶连通，用于获取47l钢瓶的残余气体以及向所述47l钢瓶传输高纯电子气；

43、若干翻转器，所述翻转器与47l钢瓶连接，且所述翻转器与47l钢瓶一一对应，用于对47l钢瓶进行翻转。

44、在其中的一些实施例中，所述加热模块还包括：

45、若干第二加热器，所述第二加热器设置于47l钢瓶的底部，用于对47l钢瓶进行加热以使液体转换为气体。

46、在其中的一些实施例中，所述测重模块还包括：

47、若干第二测重器，所述第二测重器设置于47l钢瓶的底部，用于对47l钢瓶的重量进行监测。

48、本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

49、1、通过设置加热模块，使得钢瓶内的液体蒸发为气体进入气体模块，可提升对钢瓶的处理效率。

50、2、还通过设置纯度分析模块和回收模块，可对钢瓶内气体进行含杂分析，在气体符合标准的情况下，将气体通入一级冷凝系统进行二次回收利用，减少原材料的浪费，降低生产成本，在气体不符合标准的情况下，将气体通入再生系统，避免了直接排放所造成的环境污染。