固定机构和镀膜设备的制作方法

本申请涉及半导体或光伏材料制造加工领域，更具体的说，涉及一种固定机构和镀膜设备。

背景技术：

1、在光伏电池制造过程中，经常使用镀膜设备给硅片镀上不同功能的薄膜。镀膜设备一般需要用到载板，用来承载硅片。目前，安放硅片的方式，一般先将硅片放到载板的放置槽内，然后通过螺丝连接将压针固定在载板上，压针抵顶着硅片，从而将硅片固定在载板上。这种方式，安装和卸载硅片都需要扭螺丝，导致安装和卸载硅片的效率较低。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种固定机构，其可简单操作实现与载板的固定，该固定机构包括：

2、固定件，开设有沿其轴向贯穿其的通孔；

3、转动件，至少部分位于所述通孔内，且包括位于所述通孔外的卡持部，所述卡持部与所述固定件之间用于卡持物品；

4、联动件，沿所述轴向可滑动地设置在所述通孔中，所述联动件与所转动件相配合，以当所述联动件被按压时驱动所述转动件沿所述轴向移动并绕所述轴向转动；

5、限位部，凸设在所述通孔的孔壁上，所述限位部与所述联动件配合，以导向所述联动件沿所述轴向滑动，所述限位部和所述联动件用于交替抵顶所述转动件；

6、第一弹性件，套设所述转动件上且位于所述通孔中，所述第一弹性件的第一端抵顶所述通孔的一端部，所述第一弹性件的第二端抵顶所述转动件的一部分，按压所述联动件时所述第一弹性件被压缩。

7、本申请的固定机构通过设置相互配合的联动件和转动件，按压联动件沿轴向运动驱动转动件移动，使限位部释放转动件，联动件进一步驱动转动件沿轴向运动并绕轴向转动，从而实现卡持部与固定件之间对物品的卡持与释放。停止按压联动件后，第一弹性件的回弹力带动联动件和转动件沿轴向移动，使限位部再次卡持转动件。采用本申请的固定机构，只需进行简单的按压动作，就可以实现固定机构对物品的卡持和释放，操作方便快捷，从而可以极大地提升效率。

8、本申请还提供一种镀膜设备，包括：

9、上述的固定机构；

10、载板，所述载板上开设有贯穿其厚度方向的贯穿孔，所述贯穿孔用以供所述卡持部穿过，且在所述转动件绕所述轴向转动后所述卡持部与所述固定件相配合卡持所述载板；以及

11、压持元件，连接所述固定件。

12、本申请的镀膜设备通过固定机构配合简单的压持元件，就可以轻松将硅片固定在载板上。将固定机构安装在载板上时，只需将卡持部对准穿过贯穿孔，按压联动件使转动件转动，从而实现将载板卡持在卡持部与固定件之间；另外，配合简单的压持元件就可以轻松将硅片固定在载板上。之后，再次按压联动件使转动件转动，卡持部可从贯穿孔中穿出，从而可将固定结构从载板上移除。本申请的镀膜设备，只需进行简单的操作，就可以实现固定机构在载板上的安装和移除，整体操作方便快捷，从而可以极大地提升效率。

技术特征：

1.一种固定机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的固定机构，其特征在于，所述转动件至少设有一个沿所述轴向盘旋的斜面和一个沿所述轴向平行的断面，所述斜面的一侧边和所述断面的一侧边相接；

3.根据权利要求2所述的固定机构，其特征在于，所述限位部沿所述轴向延伸呈长条状，所述联动件开设有沿所述轴向延伸的滑槽，所述滑槽与所述限位部相配合，使所述联动件沿所述限位部在所述通孔中滑动。

4.根据权利要求3所述的固定机构，其特征在于，所述转动件还包括杆部和头部，所述卡持部和所述头部分别连接所述杆部的相对两端，所述头部位于所述通孔内，所述第一弹性件套设在所述杆部；

5.根据权利要求1所述的固定机构，其特征在于，所述固定机构还包括可移除地设置在所述固定件上的按压提拉件，所述按压提拉件包括按压部，所述按压部伸入所述通孔中以按压并推动所述联动件。

6.根据权利要求5所述的固定机构，其特征在于，所述按压提拉件开设有容纳槽，所述按压部凸设在所述容纳槽的槽壁上，所述容纳槽用以容纳所述固定件的部分；

7.根据权利要求6所述的固定机构，其特征在于，所述固定件包括圆台部，所述通孔贯穿所述圆台部，所述圆台部为圆台状且包括相对的顶面和底面以及连接在所述顶面和底面之间的侧面，由所述顶面指向所述底面的方向，所述圆台部沿所述轴向逐渐变粗，所述卡爪件用于所述圆台部相配合，以从所述圆台部的所述底面侧托起所述圆台部；

8.根据权利要求7所述的固定机构，其特征在于，所述固定件还包括连接部和主体部，所述圆台部、所述连接部和所述主体部沿所述轴向依次连接，所述通孔贯穿所述圆台部、所述连接部和所述主体部，所述连接部的外径分别小于所述圆台部和所述主体部的外径；

9.根据权利要求8所述的固定机构，其特征在于，所述主体部上还沿垂直所述轴向的方向凸设有限位凸起。

10.根据权利要求7所述的固定机构，其特征在于，所述卡爪件还包括主部和尾部，所述尾部和所述爪部分别连接所述主部的相对两端，所述尾部位于所述滑槽孔外，所述主部伸入所述滑槽孔中，所述尾部的外径和所述爪部的外径均大于所述主部的外径，所述第二弹性件套设在所述主部上。

11.一种镀膜设备，其特征在于，包括：

技术总结一种固定机构，可简单操作实现对物品的固定。该固定机构包括固定件、转动件、第一弹性件、联动件和限位部。固定件开设有沿其轴向贯穿其的通孔。转动件至少部分位于通孔内，且包括位于通孔外的卡持部。卡持部与固定件之间用于卡持物品。联动件沿轴向可滑动地设置在通孔中。联动件与转动件相配合驱动转动件沿轴向移动并绕轴向转动。限位部凸设在通孔的孔壁上，限位部用以导向联动件沿轴向滑动。限位部和联动件用于交替抵顶转动件。第一弹性件套设在转动件上且位于通孔中，第一弹性件的第一端抵顶通孔的一端部，第二端抵顶转动件的一部分。按压联动件时第一弹性件被压缩。本申请还提供包括上述固定机构的镀膜设备。技术研发人员：朱鹤囡,戴佳,孔琪,董雪迪,张武受保护的技术使用者：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/26