一种集成式半导体废水处理工艺的制作方法

本发明涉及含氟废水处理工艺，具体为一种集成式半导体废水处理工艺。

背景技术：

1、目前，半导体工业已经超过传统的钢铁工业、汽车工业，成为一种高附加值、高科技产业。

2、半导体废水主要来源于生产废水，主要包括清洗车间废水、机加车间废水、切片车间高浓有机废水及切片车间低浓废水。

3、其中清洗车间废水主要含氟化物以及酸碱，机加车间废水主要含悬浮物；切片车间高浓有机废水主要含高浓度有机污染物废水，切片车间低浓废水主要包括脱胶废水和切片清洗废水，脱胶废水主要为将切片后的单晶硅片用热水剥离模板的废水，切片清洗废水主要为使用纯水清洗单晶硅切片产生的废水，废水中主要污染物为ss。

4、现有废水处理系统没有完全能够处理半导体工业产生的这四股废水，从而需要不同的系统进行单独处理，造成处理工艺的复杂。

5、因此，我们提出一种集成式半导体废水处理工艺，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种集成式半导体废水处理工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种集成式半导体废水处理工艺，包括：清洗车间废水预处理系统、机加车间废水处理系统、切片车间高浓有机废水预处理系统、切片车间低浓废水预处理系统和综合废水处理系统；

3、所述清洗车间废水预处理系统、机加车间废水处理系统、切片车间高浓有机废水预处理系统、切片车间低浓废水预处理系统预处理后的废水和生活废水导入综合废水处理系统再处理。

4、优选的，所述清洗车间废水预处理系统的处理步骤如下：

5、s1、将清洗车间含氟清洗废水通过管线进入含氟废水调节池以调节水质水量，发生事故工况时，清洗车间含氟清洗废水先进入氟废水事故池暂存暂存，再进入含氟废水调节池处理；

6、s2、含氟废水调节池出水通过污水提升泵打入一级混凝沉淀池，加入熟石灰和混凝剂，通过碱性溶液与氟化物化学反应生成氟化钙沉淀物从而去除氟化物；

7、s3、一级混凝沉淀池产生的清液自流入二级混凝沉淀池，通过混凝反应，进一步去除悬浮物和氟化物；

8、s4、二级混凝沉淀池处理后的水进入a/o生化池，经过微生物的生化降解，降低水中的总氮等污染物质，减轻后续综合废水处理系统的总氮负荷；

9、s5、经过生化反应后出水自流至中间水池，再通过提升泵至综合废水a/o生化池。

10、优选的，所述机加车间废水处理系统的处理步骤如下：

11、s1、机加车间废水由管线进入机加废水调节池，通过机加废水调节池调节水质水量；

12、s2、机加废水调节池出水通过污水提升泵打入机加混凝沉淀池，加入混凝剂和絮凝剂，通过混凝反应，去除悬浮物污染物；

13、s3、机加混凝沉淀池的出水进入机加废水中间水池后，再排入清水池。

14、优选的，所述切片车间高浓有机废水预处理系统的处理步骤如下：

15、s1、切片车间高浓有机废水由独立收集排水管线进入高浓废水调节池，通过高浓废水调节池调节水质水量，出现事故工况时，切片车间高浓有机废水先进入事故池暂存，而后缓慢均匀小流量进入高浓废水调节池；

16、s2、高浓废水调节池出水通过污水提升泵进入高压隔膜压滤机；

17、s3、高压隔膜压滤机的压滤液进入高浓废水中间水池；

18、s4、高浓废水中间水池出水通过污水提升泵打入高浓混凝沉淀池，加入混凝剂和絮凝剂，通过混凝反应，去除悬浮物污染物；

19、s5、高浓混凝沉淀池出水排入综合废水调节池。

20、优选的，所述切片车间低浓废水预处理系统的处理步骤如下：

21、s1、切片车间低浓废水由管线进入低浓废水调节池，通过低浓废水调节池调节水质水量；

22、s2、低浓废水调节池出水通过污水提升泵打入低浓混凝沉淀池，加入混凝剂和絮凝剂，通过混凝反应，去除悬浮物污染物；

23、s3、低浓混凝沉淀池出水排入综合废水调节池。

24、优选的，所述综合废水处理系统的处理步骤如下：

25、s1、综合废水包括经过预处理的切片高浓有机废水和切片低浓废水以及直接进入的生活污水，经过预处理的清洗车间废水进入ao生化池，经过预处理的机加废水、循环塔水、ro浓水直接进入清水池；

26、s2、项目综合废水事故工况时，进入综合废水事故池后进入综合废水调节池，正常工况时，直接进入综合废水调节池调节水质水量；

27、s3、综合废水调节池出水进入水解酸化池，通过生物水解酸化反应，将大分子有机物转变为容易降解的小分子有机物，产生的污泥导入综合生化污泥池；

28、s4、水解酸化池出水进入ao生化池，ao生化池分为缺氧池和好氧池，污水首先进入缺氧池，在缺氧池内污泥中的反硝化菌利用剩余的有机物和回流的硝酸盐进行反硝化作用脱氮，脱氮反应完成后，进入好氧池，在此污泥中的硝化菌进行硝化作用将废水中的氨氮转化为硝酸盐，剩余的有机物也在此被好氧细菌氧化；

29、s5、ao生化池的出水进入二沉池进行泥水分离，出水进入清水池最后由排放槽达标排放，含泥不达标的通过泵体导回二沉池再次进入ao生化池再处理，产生的污泥排入综合生化污泥池，出水成分在不达标情况时先进入气浮池处理，而后进入清水池达标排放；

30、s6、系统产生的污泥排至综合生化污泥池后，经污泥泵提升进入高压隔膜板框压滤机，压滤的泥饼外运。

31、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

32、针对半导体工业产生的清洗车间废水、机加车间废水、切片车间高浓有机废水及切片车间低浓废水进行集中处理，其中清洗车间废水、切片车间高浓有机废水及切片车间低浓废水经预处理后进入综合废水处理系统，与经过预处理的机加废水、直接进入的循环塔水、ro浓水混合后排放，最终达到《污水综合排放标准》(gb8978-1996)三级标准、《污水排入城镇下水道水质标准》(gb/t31962-2015)b级标准及《电子工业水污染物排放标准》(gb39731-202020)间接排放标准，从而无需将三种废水通过不同的废水处理系统进行处理，简化工艺，节约布局空间，并且节约成本。

技术特征：

1.一种集成式半导体废水处理工艺，其特征在于，包括：清洗车间废水预处理系统、机加车间废水处理系统、切片车间高浓有机废水预处理系统、切片车间低浓废水预处理系统和综合废水处理系统；

2.根据权利要求1所述的一种集成式半导体废水处理工艺，其特征在于，所述清洗车间废水预处理系统的处理步骤如下：

3.根据权利要求1所述的一种集成式半导体废水处理工艺，其特征在于，所述机加车间废水处理系统的处理步骤如下：

4.根据权利要求1所述的一种集成式半导体废水处理工艺，其特征在于，所述切片车间高浓有机废水预处理系统的处理步骤如下：

5.根据权利要求1所述的一种集成式半导体废水处理工艺，其特征在于，所述切片车间低浓废水预处理系统的处理步骤如下：

6.根据权利要求1所述的一种集成式半导体废水处理工艺，其特征在于，所述综合废水处理系统的处理步骤如下：

技术总结本发明公开了一种集成式半导体废水处理工艺，包括：清洗车间废水预处理系统、机加车间废水处理系统、切片车间高浓有机废水预处理系统、切片车间低浓废水预处理系统和综合废水处理系统，本发明将清洗车间废水、切片车间高浓有机废水及切片车间低浓废水经预处理后进入综合废水处理系统，与经过预处理的机加废水、直接进入的循环塔水、RO浓水混合后排放，最终达到《污水综合排放标准》(GB8978‑1996)三级标准、《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962‑2015)B级标准及《电子工业水污染物排放标准》(GB39731‑202020)间接排放标准，从而无需将三种废水通过不同的废水处理系统进行处理，简化工艺，节约布局空间，并且节约成本。技术研发人员：周晶,赵媛媛,史天宝受保护的技术使用者：上海淳济环保科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/29