传感器组件的制作方法

本发明涉及一种传感器组件，并且更具体地，涉及一种包括具有膜片(diaphragm)的传感器的传感器组件。

背景技术：

1、压力传感器通常具有壳体和附接到壳体的膜片。油设置在壳体的通道内，并且感测管芯在壳体中设置在油内。当外部压力施加到膜片时，膜片偏转，将外部压力传递到管芯周围的油，这将相同的外部压力赋予管芯。管芯根据外部压力偏转以产生表示外部压力的电信号。

2、随着膜片的尺寸增加，膜片变得刚性较小，并且可以吸收由于温度变化引起的油体积的增加，而内部压力的变化较小；大膜片用于在低压范围应用中需要更好性能的传感器中。然而，这些压力传感器的现代应用，例如在质量流量控制器中，需要薄的传感器厚度，以便减小分组在一起的一个或多个传感器的总体占用面积。因此，在低压范围应用中的具有膜片的压力传感器由于对由传感器的最大允许厚度决定的最大膜片尺寸的限制而遭受降低的性能。

技术实现思路

1、传感器组件包括传感器和连接到传感器的适配器。该传感器包括具有端口和腔的壳体、设置在端口中并封闭腔的膜片、以及设置在腔中的管芯。膜片在第一平面中延伸。适配器具有连接到壳体的基部部段和从基部部段延伸的端部部段。端部部段具有在垂直于第一平面的第二平面中延伸的配合面。适配器具有延伸穿过适配器的适配器通道，该适配器通道将配合面连接到壳体的端口。

技术特征：

1.一种传感器组件(1)，包括：

2.根据权利要求1所述的传感器组件(1)，其中，所述壳体(100)具有主体(110)，所述主体(110)具有第一面(112)和与所述第一面(112)相反的第二面(114)，所述端口(150)从所述第一面(112)延伸。

3.根据权利要求2所述的传感器组件(1)，其中，所述基部部段(32)具有连接到所述壳体(100)的所述端口(150)的内表面(34)和背离所述壳体(100)的外表面(36)，所述适配器通道(40)延伸到所述内表面(34)中。

4.根据权利要求3所述的传感器组件(1)，其中，所述适配器通道(40)具有从所述内表面(34)平行于所述第二平面(p2)沿第一方向延伸的第一部分(42)和从所述第一部分(42)延伸到所述配合面(52)的第二部分(44)，所述第二部分(44)垂直于所述第一部分(42)。

5.根据权利要求3所述的传感器组件(1)，其中，所述基部部段(32)具有室(37)，所述室(37)延伸到所述内表面(34)中并面向所述膜片(200)，所述适配器通道(40)终止于所述室(37)中。

6.根据权利要求1所述的传感器组件(1)，其中，所述配合面(52)具有延伸到所述配合面(52)中的凹部(54)，所述适配器通道(40)终止于所述配合面(52)的所述凹部(54)中。

7.根据权利要求6所述的传感器组件(1)，还包括设置在所述凹部(54)中的适配器密封件(60)，所述适配器密封件(60)是弹性体材料或金属材料。

8.根据权利要求1所述的传感器组件(1)，还包括设置在所述传感器(10)和所述适配器(30)之间的主体密封件(20)，所述主体密封件(20)在所述膜片(200)的与所述腔(160)相反的一侧上设置在所述端口(150)中。

9.根据权利要求8所述的传感器组件(1)，其中，所述主体密封件(20)通过焊接部(29)连接到所述壳体(100)和所述适配器(30)。

10.根据权利要求8所述的传感器组件(1)，其中，所述主体密封件(20)具有中央通道(28)，所述中央通道(28)延伸穿过所述主体密封件(20)并将所述适配器通道(40)与所述端口(150)连接。

11.根据权利要求1所述的传感器组件(1)，其中，所述传感器组件(1)在平行于所述第二平面(p2)的方向上的组件厚度(t)小于在平行于所述第一平面(p1)的方向上的组件高度(h)。

12.根据权利要求1所述的传感器组件(1)，其中，所述管芯(300)具有膜(302)，所述膜(302)能够根据所述腔(160)中的压力而偏转。

13.根据权利要求12所述的传感器组件(1)，其中，所述端口(150)是第一端口(152)，所述腔(160)是第一腔(162)，并且所述膜片(200)是所述传感器(10)的第一膜片(202)，所述传感器(10)包括第二端口(154)、第二腔(164)和设置在所述第二端口(154)中并封闭所述第二腔(164)的第二膜片(204)，所述膜(302)能够根据所述第一腔(162)中的第一压力(p1)与所述第二腔(164)中的第二压力(p2)之间的压差而偏转。

14.根据权利要求13所述的传感器组件(1)，其中，所述壳体(100)具有连接所述第一端口(152)和所述第二端口(154)的层流通道(146)，并且还包括设置在所述层流通道(146)中的层流元件(62)。

15.根据权利要求1所述的传感器组件(1)，还包括加热元件(90)和温度传感器(80)，所述加热元件(90)设置在所述适配器(30)的端部部段(50)与所述壳体(100)之间，所述温度传感器(80)测量所述端口(150)中的流体介质的温度。

技术总结一种传感器组件(1)，包括传感器(10)和适配器(30)。传感器(10)包括具有端口(150)和腔(160)的壳体(100)、设置在端口(150)中并封闭腔(160)的膜片(200)和设置在腔(160)中的管芯(300)。膜片(200)在第一平面(P1)中延伸。适配器(30)具有连接到壳体(100)的基部(32)和从基部(32)延伸的端部部段(50)。端部部段(50)具有配合面(52)，配合面(52)在垂直于第一平面(P1)的第二平面(P2)中延伸。适配器(30)具有延伸穿过适配器(30)的适配器通道(40)，适配器通道(40)将配合面(52)连接到壳体(100)的端口(150)。技术研发人员：D·E·瓦格纳,V·王,C·阮受保护的技术使用者：泰科电子连接解决方案有限责任公司技术研发日：技术公布日：2024/10/17