基板对准调节系统及蒸镀机的制作方法

本发明涉及蒸镀机，尤其涉及一种基板对准调节系统及蒸镀机。

背景技术：

1、蒸镀机中的基板在进行表面蒸镀工艺前，需要和掩膜版进行对准，对准时，一般将基板固定在基板的固定平台上，然后通过调节固定平台的位姿从而调节基板的位置和姿态，以实现基板和掩膜版的对准。

2、现有技术中，一般通过机械夹将基板固定在基板固定平台上，然而，这种固定方式由于使得机械夹和基板刚性接触，容易对基板造成损伤。

技术实现思路

1、为了解决背景技术中提到的至少一个问题，本发明提供一种基板对准调节系统及蒸镀机，可以对基板进行保护。

2、为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、第一方面，本发明提供一种基板对准调节系统，包括支撑台、真空吸附装置以及调节装置，基板被配置为安置在支撑台的第一面上；

4、真空吸附装置包括吸嘴、吸气管以及负压设备，吸嘴的第一端连通于吸气管的第一端，吸气管的第二端连通于负压设备，支撑台具有沿自身厚度方向贯穿的安装孔，吸气管的第一端穿设于安装孔中，以使吸嘴的第二端延伸至支撑台的第一面，负压设备被配置为对吸气管进行抽气，以通过吸嘴的第二端将基板吸附于支撑台的第一面；

5、调节装置连接于支撑台，调节装置用于在吸嘴吸附基板时调节支撑台和基板的位姿，以使基板和掩膜版对准。

6、作为一种可选的实施方式，支撑台还具有沿自身厚度方向贯穿的多个进气孔，基板对准调节系统还包括输气设备，输气设备连通于进气孔的第一端，输气设备用于向进气孔中输入气体，以通过从进气孔的第二端输出的气体使基板悬浮。

7、作为一种可选的实施方式，还包括导气管组，导气管组包括第一导气管、第二导气管以及第三导气管，第一导气管具有多个，多个第一导气管的第一端和进气孔的第一端一一对应连通，多个进气孔的第二端均连通于第二导气管，第三导气管连通于第二导气管和输气设备之间。

8、作为一种可选的实施方式，进气孔的直径小于安装孔的直径。

9、作为一种可选的实施方式，进气孔的横截面呈圆形或者方形。

10、作为一种可选的实施方式，多个进气孔在支撑台上呈阵列均匀排布。

11、作为一种可选的实施方式，吸嘴为弹性波纹管结构，且吸嘴的第二端被配置为从支撑台的第一面伸出。

12、作为一种可选的实施方式，负压设备和输气设备均固定连接于调节装置。

13、作为一种可选的实施方式，真空吸附装置具有至少两个，至少两个真空吸附装置用于共同将基板吸附于支撑台的第一面。

14、第二方面，本发明还提供一种蒸镀机，包括第一方面任意一项中的基板对准调节系统，基板对准调节系统用于进行基板和掩膜版的对准。

15、本发明提供的基板对准调节系统包括支撑台、真空吸附装置以及调节装置，基板被配置为安置在支撑台的第一面上；真空吸附装置包括吸嘴、吸气管以及负压设备，吸嘴的第一端连通于吸气管的第一端，吸气管的第二端连通于负压设备，支撑台具有沿自身厚度方向贯穿的安装孔，吸气管的第一端穿设于安装孔中，以使吸嘴的第二端延伸至支撑台的第一面，负压设备被配置为对吸气管进行抽气，以通过吸嘴的第二端将基板吸附于支撑台的第一面；调节装置连接于支撑台，调节装置用于在吸嘴吸附基板时调节支撑台和基板的位姿，以使基板和掩膜版对准。本发明提供的基板对准调节系统可以通过负压设备使吸气管和吸嘴处产生负压，从而通过吸嘴将基板吸附在支撑台表面，然后通过调节装置调节支撑台和基板的位姿，从而实现将基板和掩膜版对准，其中，通过负压吸附的方式对基板进行固定，可以避免对基板造成损伤，对基板起到了保护作用，提高了成品率。

技术特征：

1.一种基板对准调节系统，其特征在于，包括支撑台、真空吸附装置以及调节装置，所述基板被配置为安置在所述支撑台的第一面上；

2.根据权利要求1所述的基板对准调节系统，其特征在于，所述支撑台还具有沿自身厚度方向贯穿的多个进气孔，所述基板对准调节系统还包括输气设备，所述输气设备连通于所述进气孔的第一端，所述输气设备用于向所述进气孔中输入气体，以通过从所述进气孔的第二端输出的所述气体使所述基板悬浮。

3.根据权利要求2所述的基板对准调节系统，其特征在于，还包括导气管组，所述导气管组包括第一导气管、第二导气管以及第三导气管，所述第一导气管具有多个，多个所述第一导气管的第一端和所述进气孔的第一端一一对应连通，多个所述进气孔的第二端均连通于所述第二导气管，所述第三导气管连通于所述第二导气管和所述输气设备之间。

4.根据权利要求3所述的基板对准调节系统，其特征在于，所述进气孔的直径小于所述安装孔的直径。

5.根据权利要求4所述的基板对准调节系统，其特征在于，所述进气孔的横截面呈圆形或者方形。

6.根据权利要求5所述的基板对准调节系统，其特征在于，多个所述进气孔在所述支撑台上呈阵列均匀排布。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的基板对准调节系统，其特征在于，所述吸嘴为弹性波纹管结构，且所述吸嘴的第二端被配置为从所述支撑台的第一面伸出。

8.根据权利要求2-6任意一项所述的基板对准调节系统，其特征在于，所述负压设备和所述输气设备均固定连接于所述调节装置。

9.根据权利要求1-6任意一项所述的基板对准调节系统，其特征在于，所述真空吸附装置具有至少两个，至少两个所述真空吸附装置用于共同将所述基板吸附于所述支撑台的第一面。

10.一种蒸镀机，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项中所述的基板对准调节系统，所述基板对准调节系统用于进行所述基板和掩膜版的对准。

技术总结本发明提供一种基板对准调节系统及蒸镀机，涉及蒸镀机技术领域。本发明提供的基板对准调节系统包括支撑台、真空吸附装置以及调节装置，基板被配置为安置在支撑台的第一面上；真空吸附装置包括吸嘴、吸气管以及负压设备，吸嘴的第一端连通于吸气管的第一端，吸气管的第二端连通于负压设备，支撑台具有沿自身厚度方向贯穿的安装孔，吸气管的第一端穿设于安装孔中，以使吸嘴的第二端延伸至支撑台的第一面，负压设备被配置为对吸气管进行抽气，以通过吸嘴的第二端将基板吸附于支撑台的第一面；调节装置连接于支撑台，调节装置用于在吸嘴吸附基板时调节支撑台和基板的位姿。本发明提供一种基板对准调节系统及蒸镀机，可以对基板进行保护。技术研发人员：鲁俊瑞,姜汉默,池元圭,崔晶植,冯利凯,文炯敦,轩景泉,彭勃受保护的技术使用者：上海升翕光电科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/4