蒸镀机的对位装置的制作方法

本申请涉及器件制造领域，尤其涉及一种蒸镀机的对位装置。

背景技术：

1、蒸镀机是实现材料沉积的一种常用方法，在蒸镀过程中，器件材料在真空环境下加热至蒸发点，变成气态粒子，气态粒子在基板上冷凝沉积，得到器件。器件可以为有机发光二极管(organic light emitting diode，简称oled)器件。

2、蒸镀机的腔室内包括基板以及掩膜板，基板是器件材料沉积的目标表面，掩膜板包括镂空区域，器件材料可穿过镂空区域。当基板和掩膜板精确对位并固定相对位置时，器件材料穿过镂空区域沉积到基板的预设位置，从而得到预设形貌的器件。实际应用中，蒸镀机在工作时会产生振动，振动会导致基板和掩膜板的相对位置改变，进而导致器件不符合预期。

3、在相关技术中，通过减振措施例如安装减振垫以减少蒸镀机的振动，然而这种方法仍会产生细微的振动导致生产器件的准确性低的问题。

技术实现思路

1、本申请提供一种蒸镀机的对位装置，用以提升生产器件的准确性。

2、第一方面，本申请提供一种蒸镀机的对位装置，包括，基板、掩膜板、第一载台、第二载台、以及振动补偿模块，其中，所述第一载台与所述基板连接，所述第一载台用于支撑所述基板以及调整所述基板的位置，所述基板用于承载器件材料；所述第二载台与所述掩膜板连接，所述第二载台用于支撑所述掩膜板以及调整所述掩膜板的位置，所述掩膜板用于控制器件材料在所述基板的预设位置沉积；所述振动补偿模块与所述第一载台以及所述第二载台连接，所述振动补偿模块用于控制所述第一载台以及所述第二载台振动，以抵消蒸镀机的振动引起的所述基板以及所述掩膜板的位移。

3、在一种可能的实施方式中，所述振动补偿模块包括振动量测量单元，其中，所述振动量测量单元与所述第一载台以及所述第二载台连接，所述振动量测量单元用于测量所述第一载台的第一振动数据以及所述第二载台的第二振动数据，所述第一振动数据包括第一位移量以及第一时间数据，所述第二振动数据包括第二位移量以及第二时间数据。

4、在一种可能的实施方式中，所述振动补偿模块还包括振动分析单元，其中，所述振动分析单元与所述振动量测量单元连接，所述振动分析单元用于接收所述第一振动数据以及所述第二振动数据；所述振动分析单元还用于根据所述第一振动数据计算得到第一补偿数据以及第二补偿数据。

5、在一种可能的实施方式中，所述振动分析单元包括比例积分控制器，其中，所述比例积分控制器用于对第一补偿数据进行放大处理以及随时间的积分处理，得到第一信号；所述比例积分控制器用于对第二补偿数据进行放大处理以及随时间的积分处理，得到第二信号。

6、在一种可能的实施方式中，所述振动分析单元还包括滤波器，其中，所述滤波器用于过滤所述第一振动数据以及所述第二振动数据中的非振动相关的噪声。

7、在一种可能的实施方式中，所述振动补偿模块还包括振动抵消单元，其中，所述振动抵消单元与所述振动分析单元、所述第一载台、以及所述第二载台连接，所述振动抵消单元用于接收所述第一补偿数据以及所述第二补偿数据；所述振动抵消单元还用于根据所述第一补偿数据控制所述第一载台振动以及根据所述第二补偿数据控制所述第二载台振动。

8、在一种可能的实施方式中，所述振动补偿模块还包括反馈模块，其中，所述反馈模块与所述振动量测量单元、所述振动分析单元、以及所述振动抵消单元连接，所述反馈模块用于根据所述振动量测量单元测量的数据确定反馈信息，所述反馈信息包括所述振动抵消单元是否抵消蒸镀机的振动引起的位移；所述反馈模块还用于向所述振动分析单元发送所述反馈信息，以使所述振动分析单元根据所述反馈信息，生成更新后的补偿数据。

9、在一种可能的实施方式中，所述振动补偿模块还包括统计模块，其中，所述统计模块与所述反馈模块连接，所述统计模块用于接收所述反馈模块发送的反馈信息；所述统计模块用于根据所述反馈信息以及预设规则生成告警信息。

10、在一种可能的实施方式中，所述振动补偿模块还包括采集单元，其中，所述采集单元与所述振动抵消单元连接，所述采集单元用于采集当前环境数据；所述采集单元还用于将所述当前环境数据输入预测模型得到预测补偿数据，并向所述振动抵消单元发送预测补偿数据，以使所述振动抵消单元根据所述预测补偿数据控制所述第一载台以及所述第二载台振动。

11、在一种可能的实施方式中，所述装置还包括控制模块以及覆盖板，其中，所述控制模块与所述振动补偿模块以及所述覆盖板连接；所述控制模块用于若检测到所述振动补偿模块为工作状态，则控制所述覆盖板覆盖所述掩膜板，以使所述蒸镀机暂停沉积。

12、本申请提供的蒸镀机的对位装置，包括：基板、掩膜板、第一载台、第二载台、以及振动补偿模块，其中，所述第一载台与所述基板连接，所述第一载台用于支撑所述基板以及调整所述基板的位置，所述基板用于承载器件材料；所述第二载台与所述掩膜板连接，所述第二载台用于支撑所述掩膜板以及调整所述掩膜板的位置，所述掩膜板用于控制器件材料在所述基板的预设位置沉积；所述振动补偿模块与所述第一载台以及所述第二载台连接，所述振动补偿模块用于控制所述第一载台以及所述第二载台振动，以抵消蒸镀机的振动引起的所述基板以及所述掩膜板的位移。以上方案，通过振动补偿模块检测振动并根据检测结果进行振动补偿，可以有效抵消蒸镀机工作的振动，实现精细对位，从而提升生产器件的准确性。

技术特征：

1.一种蒸镀机的对位装置，其特征在于，包括，基板、掩膜板、第一载台、第二载台、以及振动补偿模块，其中，

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述振动补偿模块包括振动量测量单元，其中，

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述振动补偿模块还包括振动分析单元，其中，

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述振动分析单元包括比例积分控制器，其中，

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述振动分析单元还包括滤波器，其中，

6.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述振动补偿模块还包括振动抵消单元，其中，

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述振动补偿模块还包括反馈模块，其中，

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述振动补偿模块还包括统计模块，其中，

9.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述振动补偿模块还包括采集单元，其中，

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括控制模块以及覆盖板，其中，

技术总结本申请提供一种蒸镀机的对位装置，包括：基板、掩膜板、第一载台、第二载台、以及振动补偿模块，其中，第一载台与基板连接，第一载台用于支撑基板以及调整基板的位置，基板用于承载器件材料；第二载台与掩膜板连接，第二载台用于支撑掩膜板以及调整掩膜板的位置，掩膜板用于控制器件材料在基板的预设位置沉积；振动补偿模块与第一载台以及第二载台连接，振动补偿模块用于控制第一载台以及第二载台振动，以抵消蒸镀机的振动引起的基板以及掩膜板的位移。以上方案，通过振动补偿模块检测振动并根据检测结果进行振动补偿，可以有效抵消蒸镀机工作的振动，实现精细对位，从而提升生产器件的准确性。技术研发人员：鲁俊瑞,文炯敦,姜汉默,轩景泉,彭勃,崔晶植,冯利凯受保护的技术使用者：上海升翕光电科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/4