真空蒸镀方法与流程

本发明涉及用于在真空室内使蒸镀材料蒸发而对被蒸镀物进行蒸镀的真空蒸镀方法，更详细地说，涉及使用蒸镀舟皿对被蒸镀物实施蒸镀的方法。

背景技术：

1、在能够实施这种真空蒸镀方法的真空蒸镀装置用的蒸发源中，使用蒸镀舟皿的蒸发源例如在专利文献1中已知。该蒸发源包括：具有蒸镀材料的收纳部的舟皿主体；从该舟皿主体的一个方向两端向上方分别立起的立板部；以及从两立板部的上端向外侧分别伸出的电极安装板部。通常，为了降低成本等，舟皿主体、立板部及电极安装板部等各部由单一的金属材质的板材形成。并且，蒸镀舟皿由上下一对电极板分别保持(夹持)两电极安装板部地设置在真空室内。在真空气氛的真空室内向被蒸镀物蒸镀时，通过电源经由电极板在两电极安装板部之间通电，从而用焦耳热加热舟皿主体。然后，当以与限定该收纳部的舟皿主体的底板抵接的方式从其上方供给线状的蒸镀材料时，蒸镀材料在该收纳部内溶解而润湿铺展，润湿铺展的物质蒸发，该蒸发的蒸镀物质飞散而被蒸镀到被蒸镀物上。此时，润湿铺展的蒸镀材料在收纳部内流动，通过立板部防止该流动的蒸镀材料向电极安装板部攀升。

2、在此，如果在蒸镀时对舟皿主体底板的固定位置供给线状的蒸镀材料，则根据蒸镀舟皿的材质、与蒸镀速率对应的舟皿主体的加热温度、蒸镀材料的供给速度、蒸镀材料的种类，在包括蒸镀材料的与舟皿主体底板的接触部位在内的区域处该底板会局部变形。而且，得知此时的变形量会随着蒸镀时间的增加而变大，不久在底板部分出现开孔，蒸镀舟皿使用寿命提早到期。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、【专利文献1】日本专利公开2007-46106号公报

技术实现思路

1、发明要解决的技术问题

2、鉴于以上情况，本发明的技术问题在于提供一种能够尽量抑制蒸镀舟皿中产生的局部变形的进行而延长蒸镀舟皿的使用寿命的真空蒸镀方法。

3、解决技术问题的手段

4、为了解决上述技术问题，在真空室内使蒸镀材料蒸发而对被蒸镀物进行蒸镀的本发明的真空蒸镀方法中，其特征在于：包括蒸发工序，其使用蒸镀舟皿，以与限定收纳部的舟皿主体的底板抵接的方式从其上方供给线状的蒸镀材料，通过在两电极安装板部间通电来加热舟皿主体，使该收纳部内的蒸镀材料蒸发，所述蒸镀舟皿具有：具有蒸镀材料的该收纳部的作为蒸发源的舟皿主体和分别从该舟皿主体的两端伸出的电极安装板部；还包括移位工序，其在供给线状的蒸镀材料期间，通过与舟皿主体的底板抵接的线状蒸镀材料的前端部相对于舟皿主体的相对移动而使该前端部连续或间歇地移位。

5、在此，本申请发明人等经深入研究得到如下见解，例如在蒸镀舟皿为高熔点金属材质、蒸镀材料为铜材质的情况下，舟皿主体的底板上发生的局部变形是由于由蒸镀材料的供给带来的载荷的作用而发生的高温下的蠕变导致的(蠕变变形)。另一方面，得知例如在蒸镀舟皿为烧结bn和tib2的粉末而成的材质，蒸镀材料为铝材质时，舟皿主体的底板发生的局部变形是由于铝溶解所伴随的腐蚀的进行而导致的。因此，在本发明中，通过在供给蒸镀材料时使与舟皿主体的底板抵接的线状的蒸镀材料的前端部连续或间歇地移位，使得在蒸镀过程中，例如由蒸镀材料的供给带来的载荷所作用的区域分散在舟皿主体的底板面内的各处。从而，能够尽量抑制蒸镀舟皿中产生的局部变形的进行，从而能够延长蒸镀舟皿的使用寿命。

6、另外，已知存在如下情况：在以与限定收纳部的舟皿主体的底板抵接的方式从其上方供给线状的蒸镀材料并使其蒸发时(蒸镀过程中)，在润湿铺展了的蒸镀材料的周围析出蒸镀材料的副产物(杂质)。如果像这样析出的物质没有再次蒸发而是堆积的话，则有时所堆积的物质会造成堵塞，使蒸镀材料润湿铺展的面积(熔融液表面(汤面))变窄，从而产生导致蒸镀速率下降这类不良情况。另外，如果在收纳部内没有蒸镀材料的状态下进行加热，则舟皿主体的底板在其整个面上被大致均等地加热，但在蒸镀材料的供给状态下，浸润铺展了的蒸镀材料所在的舟皿主体的底板部分的温度下降，其周边温度相对变高(即，在舟皿主体的底板面内形成温度梯度)。尤其是，在蒸镀材料与舟皿主体的底板的接触产生固相及面压的条件下，其温度梯度更为显著。此时，根据副产物的堆积状态不同，润湿铺展的蒸镀材料有时会流动到呈较高温度的舟皿主体的底板部分，发生突沸而阻碍良好的蒸镀的不良情况。

7、在本发明中，以在限定所述收纳部的舟皿主体的底板面内彼此正交的两轴方向为x轴方向和y轴方向，另外，以最初线状的蒸镀材料的前端部所抵接的舟皿主体的底板的位置为起点位置，在所述移位工序中，蒸镀材料的前端部可以依次重复从起点位置向x轴方向的相对移动和向y轴方向的相对移动，并返回到该起点位置。在这种情况下，例如，以舟皿主体的底板中心附近为起点位置，以从起点位置起依次重复向x轴方向的相对移动和向y轴方向的相对移动并返回到该起点位置为止作为1个循环，根据蒸镀时间多次重复该1个循环。

8、采用以上设置，在1个循环的相对移动中，以x-y平面中的坐标位置不相互重叠的方式，使蒸镀材料的前端部在舟皿主体的底板面内溶解的位置连续或间歇地变化，由此抑制在舟皿主体的底板面内产生温度梯度，副产物难以堆积，进而能够尽量抑制突沸的发生。即使析出的副产物堆积，当在下个循环中蒸镀材料的前端部相对移动过来时，该副产物也会被溶解并润湿扩展的蒸镀材料向舟皿主体的底板的周缘侧推出，从而在蒸镀过程中，能够确保熔融液表面的面积大致固定。另外，蒸镀材料的前端部相对于舟皿主体的相对移动速度例如可以设置在1mm/sec～1000mm/sec的范围内。另外，朝x轴方向和y轴方向的位移量只要设置在x轴方向和y轴方向的全长的60％～80％的范围内即可，以确保副产物堆积的区域在舟皿主体的底板的周缘部。

技术特征：

1.一种用于使蒸镀材料在真空室内蒸发而对被蒸镀物进行蒸镀的真空蒸镀方法，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的真空蒸镀方法，其特征在于：

技术总结本发明提供一种真空蒸镀方法，能够尽量抑制蒸镀舟皿上产生的局部变形的进行，延长蒸镀舟皿的使用寿命。包含蒸发工序，其使用蒸镀舟皿(3)，以与限定收纳部的舟皿主体的底板抵接的方式从其上方供给线状的蒸镀材料，通过在两电极安装板部间通电而加热舟皿主体，使收纳部内的蒸镀材料蒸发，其中，所述蒸镀舟皿具有：具有蒸镀材料(Em)的收纳部(31a)的作为蒸镀源(BS)的舟皿主体(31)；以及分别从舟皿主体的两端伸出的电极安装板部(33)。还包括移位工序，其在供给线状的蒸镀材料期间，通过与舟皿主体的底板抵接的线状的蒸镀材料的前端部(Em1)相对于舟皿主体的相对移动而使前端部连续或间歇地移位。技术研发人员：木本孝仁,安田仁,仓内利春,佐佐木俊介,氏原祐辅受保护的技术使用者：株式会社爱发科技术研发日：技术公布日：2024/9/12