一种具有真空干燥功能的烘干槽的制作方法

本发明涉及烘干槽，具体为一种具有真空干燥功能的烘干槽。

背景技术：

1、光伏制造行业中，硅片清洗制绒工艺多采用槽式机，烘干槽作为槽式机的最后一个槽体，主要目的是干燥硅片表面的液体残留。烘干槽主要是通过加热的方式，使硅片表面的水分蒸发，从而达到烘干的目的。这种方法的优点是操作简单，但是需要较高的温度和较长的时间，这不仅增加了能耗，也降低了生产效率。现有的解决方案主要是采用烘干槽并联的设计来缩短烘干节拍，提高生产效率，但是烘干槽并联的设计增加了机台烘干槽的数量，导致设备成本的增加。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种具有真空干燥功能的烘干槽，以解决上述背景技术中提出的硅片烘干节拍相对较长以及设备成本相对较大的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种具有真空干燥功能的烘干槽，包括槽体以及设置在槽体顶部的槽盖，所述槽体的内壁安装有用于向中部均匀传递热量的加热组件，在槽体上安装有引导湿气由上往下排出维持真空环境的真空组件，在槽体的外壁安装有与加热组件电性连接的温控器；

3、所述加热组件包括三个呈倾斜布置的走电侧板，相邻两个走电侧板之间安装有若干均匀布置的电加热管，在走电侧板的一侧安装有承托板，承托板上安装有控制电加热管热量倾斜向上随后向下倾斜反射至槽体中部区域均匀分布的风机。

4、作为优选的，所述槽体的内壁安装有穿过三个走电侧板的定位杆，在槽体的内壁安装有用于调整走电侧板倾斜程度的驱动结构。

5、作为优选的，所述驱动结构包括安装在槽体内壁上且位于走电侧板下方的衔接轴一，在衔接轴一上转动套设有圆筒板，中间一个走电侧板的底部转动安装有衔接轴二，圆筒板和衔接轴二之间安装有电动推杆。

6、作为优选的，所述槽体底壁的中部安装有网架结构，在网架结构上放置有硅片花篮。

7、作为优选的，所述硅片花篮的宽度和长度均小于相对两个加热组件之间的间距，且硅片花篮位于风机的侧下方。

8、作为优选的，所述真空组件包括安装在槽体底部的管体结构，在管体结构的一端安装有用于槽体抽真空的真空泵。

9、作为优选的，所述管体结构包括安装在槽体底壁中部的收缩导框；

10、所述网架结构的长度为d1，硅片花篮的长度为d2，收缩导框内壁顶部的长度为d3，满足以下关系：d1＞d3＞d2。

11、作为优选的，所述收缩导框的底部安装有与真空泵输入端连接的真空管，在真空管上安装有用于过滤槽体内被抽出气体中杂质的过滤器。

12、借由上述技术方案，本发明提供了一种具有真空干燥功能的烘干槽，至少具备以下有益效果：

13、1、本发明利用倾斜程度与若干硅片综合长度以及宽度相适配的风机，控制电加热管所产生的热量倾斜向上随后向下倾斜反射至槽体中部区域均匀分布，以此增加热量与若干硅片之间的接触面积和传递效率，缩短了烘干时间，提升烘干效率。

14、2、本发明采用真空干燥的方式，利用真空状态水沸点较低的特性，可以在较低的温度下实现快速干燥，从而大大降低了能耗。相比于传统的加热烘干方式，本发明可以节省大量的能源，降低生产成本。

15、3、本发明可以在较低的温度下和较短的时间内实现硅片的干燥，并且电加热管与槽体内壁之间具有一定距离，因此降低了对槽体制造材料耐热性的要求。

16、4、本发明中，由加热组件和槽体侧壁所构成的三角形形态能够通过电动推杆的伸缩进行调整，从而方便根据所烘干硅片的长度以及宽度来调整电加热管以及风机的倾斜度，以便于提升灵活性。

17、5、本发明中，通过真空组件对槽体内抽真空时，促使槽体内空气由上往下穿过插有硅片的硅片花篮进入收缩导框内部，随后顺着真空管和真空泵向外排出，能够加快硅片表面水分带离的速率。

技术特征：

1.一种具有真空干燥功能的烘干槽，包括槽体(1)以及设置在槽体(1)顶部的槽盖(2)，其特征在于：所述槽体(1)的内壁安装有用于向中部均匀传递热量的加热组件(3)，在槽体(1)上安装有引导湿气由上往下排出维持真空环境的真空组件(4)，在槽体(1)的外壁安装有与加热组件(3)电性连接的温控器(5)；

2.根据权利要求1所述的一种具有真空干燥功能的烘干槽，其特征在于：所述槽体(1)的内壁安装有穿过三个走电侧板(301)的定位杆(305)，在槽体(1)的内壁安装有用于调整走电侧板(301)倾斜程度的驱动结构(306)。

3.根据权利要求2所述的一种具有真空干燥功能的烘干槽，其特征在于：所述驱动结构(306)包括安装在槽体(1)内壁上且位于走电侧板(301)下方的衔接轴一(3061)，在衔接轴一(3061)上转动套设有圆筒板(3062)，中间一个走电侧板(301)的底部转动安装有衔接轴二(3063)，圆筒板(3062)和衔接轴二(3063)之间安装有电动推杆(3064)。

4.根据权利要求1所述的一种具有真空干燥功能的烘干槽，其特征在于：所述槽体(1)底壁的中部安装有网架结构(101)，在网架结构(101)上放置有硅片花篮(102)。

5.根据权利要求4所述的一种具有真空干燥功能的烘干槽，其特征在于：所述硅片花篮(102)的宽度和长度均小于相对两个加热组件(3)之间的间距，且硅片花篮(102)位于风机(304)的侧下方。

6.根据权利要求5所述的一种具有真空干燥功能的烘干槽，其特征在于：所述真空组件(4)包括安装在槽体(1)底部的管体结构(401)，在管体结构(401)的一端安装有用于槽体(1)抽真空的真空泵(402)。

7.根据权利要求6所述的一种具有真空干燥功能的烘干槽，其特征在于：所述管体结构(401)包括安装在槽体(1)底壁中部的收缩导框(4011)；

8.根据权利要求7所述的一种具有真空干燥功能的烘干槽，其特征在于：所述收缩导框(4011)的底部安装有与真空泵(402)输入端连接的真空管(4012)，在真空管(4012)上安装有用于过滤槽体(1)内被抽出气体中杂质的过滤器(4013)。

技术总结本发明公开了一种具有真空干燥功能的烘干槽，包括槽体以及设置在槽体顶部的槽盖，所述槽体的内壁安装有用于向中部均匀传递热量的加热组件，在槽体上安装有引导湿气由上往下排出维持真空环境的真空组件，在槽体的外壁安装有与加热组件电性连接的温控器，所述加热组件包括三个呈倾斜布置的走电侧板，相邻两个走电侧板之间安装有若干均匀布置的电加热管，在走电侧板的一侧安装有承托板。本发明采用真空干燥的方式，利用真空状态水沸点较低的特性，可以在较低的温度下实现快速干燥，并利用倾斜布置的风机，控制电加热管所产生的热量倾斜向上随后向下倾斜反射至槽体中部区域均匀分布，进一步缩短了烘干时间。技术研发人员：张理想受保护的技术使用者：上饶捷泰新能源科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/9