基板输送装置及真空镀膜设备的制作方法

本发明涉及真空镀膜设备，尤其涉及基板输送装置及真空镀膜设备。

背景技术：

1、近年来，随着汽车等行业的发展，市场对车载玻璃等大型基板的镀膜需求日益增强。为了提高大型基板的镀膜等工序的工作效率，提升大型基板输送装置的输送性能变得刻不容缓。现有技术中，通常采用导轨或滚轮的方式输送大型基板。

2、对于采用滚轮方式输送大型基板而言，现有技术中，基板输送装置通常包括输送平台，输送平台上间隔设置有若干传送辊，每个传送辊的传送轴沿轴向间隔设有多个滚轮，驱动组件同步带动多个转动设置于平台的传送轴，以带动设置在传送轴上方的大型基板移动，实现大型基板的自动化输送。但是，由于加工和安装误差等原因，现有滚轮输送机构有时会发生传送轴断裂或电机过载等故障，输送稳定性还有待提高。尤其在采用现有滚轮机构以竖立方式自动化输送大型异形基板时，滚轮输送机构的故障率较高，影响了输送机构的工作效率和使用寿命。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供基板输送装置及真空镀膜设备，以解决现有技术中的基板输送装置的输送稳定性存在的缺陷。

2、为达此目的，本发明采用以下技术方案：

3、基板输送装置，用于输送基板，其包括输送机构，所述输送机构包括：

4、滚轮组件，所述滚轮组件包括多个沿第一方向间隔分布的滚轮组，所述滚轮组包括多个沿第二方向间隔分布且均转动设置于安装基体的滚轮，沿所述滚轮的轴向，至少两个相邻的所述滚轮的轮轴之间通过活动结构连接，所述基板能放置于所述滚轮上，所述第一方向与所述第二方向垂直；

5、第一驱动组件，所述第一驱动组件被配置为能带动多个所述滚轮组的滚轮转动于所述安装基体。

6、作为优选，所述活动结构包括万向传动结构。

7、作为优选，所述活动结构包括同步轴和两个第一万向节，所述同步轴的两端分别与两个所述第一万向节的一端固定连接，两个所述第一万向节的另一端均用于与所述滚轮的轮轴固定连接。

8、作为优选，所述滚轮组件还包括第一安装座和第二安装座，多个所述滚轮组沿轴向的第一端的轮轴转动设置于所述第一安装座，多个所述滚轮组沿轴向的第二端的轮轴转动设置于所述第二安装座，所述第二安装座被配置为能够沿第三方向调节一个或多个所述滚轮组的滚轮的高度，所述第三方向平行于所述安装基体的高度方向。

9、作为优选，所述第二安装座包括多个沿所述第一方向间隔分布的调节座，所述调节座包括调节底座和连接于所述调节底座的调节板，所述调节底座用于与所述安装基体可拆卸连接，所述调节板用于与所述滚轮组沿轴向的第二端的轮轴转动连接。

10、作为优选，所述第二安装座还包括连接板，所述连接板用于连接沿所述第一方向相邻的所述调节座。

11、作为优选，所述第二安装座还包括调节垫片，所述调节垫片用于设置于所述调节底座与所述安装基体的连接处，且所述调节垫片位于所述调节底座与所述安装基体之间。

12、作为优选，所述第一安装座和所述第二安装座均设置有导向轮组，两个所述导向轮组沿所述第二方向间隔分布，且多个所述滚轮组均位于两个所述导向轮组之间。

13、作为优选，所述输送机构还包括多个沿第一方向间隔设置的传送轮结构，所述传送轮结构包括传送轴和设置于所述传送轴的传送轮，所述传送轴的两端分别与所述第一安装座和所述第二安装座连接。

14、作为优选，所述第一驱动组件被配置为能带动多个所述滚轮组的滚轮同步转动于所述安装基体。

15、作为优选，所述第一驱动组件包括第一驱动件和传动组件，所述传动组件包括多个第一斜齿轮、转动设置于所述第一安装座的传动轴，以及固定设置于所述传动轴的多个第二斜齿轮，多个所述第一斜齿轮与多个所述滚轮组一一对应设置，所述第一斜齿轮固定设置于所述第一端的轮轴，多个所述第一斜齿轮还与多个所述第二斜齿轮一一对应设置并啮合；

16、所述第一驱动件的输出轴与其一所述滚轮组的轮轴传动连接；或，所述第一驱动件的输出轴与所述传动轴的一端连接。

17、作为优选，所述第一驱动组件包括沿所述第一方向依次间隔设置的多个驱动组，所述驱动组能够带动至少一个所述滚轮组的滚轮转动于所述安装基体。

18、作为优选，所述滚轮组件的数量为多个，多个所述滚轮组件沿所述第一方向间隔分布。

19、作为优选，所述基板输送装置还包括防倾倒机构，沿第三方向，所述防倾倒机构间隔设置于所述输送机构的上方，所述基板位于所述防倾倒机构和所述输送机构之间，所述防倾倒机构能够限定所述基板的位置，所述第三方向与所述安装基体的高度方向平行。

20、作为优选，所述防倾倒机构包括设置于所述安装基体的第二驱动件，以及连接于所述第二驱动件的输出轴的第一防倾倒件，所述第二驱动件能够带动所述第一防倾倒件沿所述第三方向移动，所述基板能与所述第一防倾倒件抵接。

21、作为优选，所述第一防倾倒件包括相连接的第一防倾倒部和第二防倾倒部，所述第一防倾倒部能与所述基板的顶壁抵接，所述第二防倾倒部能与所述基板的侧壁抵接。

22、作为优选，所述防倾倒机构还包括固定设置于所述安装基体的第二防倾倒件，所述第二防倾倒部和所述第二防倾倒件沿所述第二方向间隔分布，所述第二防倾倒件能与所述基板的侧壁抵接。

23、作为优选，所述防倾倒机构的数量为多个，多个所述防倾倒机构沿所述第一方向间隔分布。

24、真空镀膜设备，其包括上述的基板输送装置。

25、本发明的有益效果：

26、本发明的目的在于提供了基板输送装置及真空镀膜设备，该基板输送装置，当输送基板时，第一驱动组件带动多个滚轮组转动，基板设置于滚轮上，从而带动基板沿第一方向移动，以实现输送基板。其中，对于每一个滚轮组而言，滚轮组上至少有两个相邻的滚轮的轮轴之间通过活动结构连接，活动结构将相邻两个滚轮的轮轴活动连接，能够有效降低对滚轮和轮轴的加工精度要求，便于加工和安装滚轮的轮轴，也便于在安装过程中和/或后期使用过程中调节相邻两个滚轮的轮轴间隔且平行设置；其次，在第一驱动组件带动该滚轮组转动的过程中，活动结构能够消耗第一驱动组件传递的一部分扭转力矩，从而有效减小传递至该滚轮组的轮轴的扭转力矩，降低该滚轮组的轮轴被拧断的风险，也降低了电机过载报警的几率，提升了基板输送装置的输送稳定性，也提升了基板输送装置的使用寿命和使用安全性；其次，在第一驱动组件带动该滚轮组转动的过程中，活动结构能够保证将第一驱动组件的驱动力有效传递至滚轮组的各个轮轴，使得滚轮组的各个轮轴有效带动滚轮转动。

技术特征：

1.基板输送装置，用于输送基板(100)，其特征在于，包括输送机构，所述输送机构包括：

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，所述活动结构(112)包括万向传动结构。

3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，所述活动结构(112)包括同步轴(1122)和两个第一万向节(1121)，所述同步轴(1122)的两端分别与两个所述第一万向节(1121)的一端固定连接，两个所述第一万向节(1121)的另一端均用于与所述滚轮(111)的轮轴固定连接。

4.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，所述滚轮组件(1)还包括第一安装座(12)和第二安装座(13)，多个所述滚轮组(11)沿轴向的第一端的轮轴转动设置于所述第一安装座(12)，多个所述滚轮组(11)沿轴向的第二端的轮轴转动设置于所述第二安装座(13)，所述第二安装座(13)被配置为能够沿第三方向调节一个或多个所述滚轮组(11)的滚轮(111)的高度，所述第三方向平行于所述安装基体(2)的高度方向。

5.根据权利要求4所述的基板输送装置，其特征在于，所述第二安装座(13)包括多个沿所述第一方向间隔分布的调节座(131)，所述调节座(131)包括调节底座(1311)和连接于所述调节底座(1311)的调节板(1312)，所述调节底座(1311)用于与所述安装基体(2)可拆卸连接，所述调节板(1312)用于与所述滚轮组(11)沿轴向的第二端的轮轴转动连接。

6.根据权利要求5所述的基板输送装置，其特征在于，所述第二安装座(13)还包括连接板，所述连接板用于连接沿所述第一方向相邻的所述调节座(131)。

7.根据权利要求5所述的基板输送装置，其特征在于，所述第二安装座(13)还包括调节垫片(132)，所述调节垫片(132)用于设置于所述调节底座(1311)与所述安装基体(2)的连接处，且所述调节垫片(132)位于所述调节底座(1311)与所述安装基体(2)之间。

8.根据权利要求4所述的基板输送装置，其特征在于，所述第一安装座(12)和所述第二安装座(13)均设置有导向轮组，两个所述导向轮组沿所述第二方向间隔分布，且多个所述滚轮组(11)均位于两个所述导向轮组之间。

9.根据权利要求4所述的基板输送装置，其特征在于，所述输送机构还包括多个沿第一方向间隔设置的传送轮结构，所述传送轮结构包括传送轴和设置于所述传送轴的传送轮，所述传送轴的两端分别与所述第一安装座(12)和所述第二安装座(13)连接。

10.根据权利要求4-9任一项所述的基板输送装置，其特征在于，所述第一驱动组件(3)被配置为能带动多个所述滚轮组(11)的滚轮(111)同步转动于所述安装基体(2)。

11.根据权利要求10所述的基板输送装置，其特征在于，所述第一驱动组件(3)包括第一驱动件(31)和传动组件，所述传动组件包括多个第一斜齿轮(32)、转动设置于所述第一安装座(12)的传动轴(34)，以及固定设置于所述传动轴(34)的多个第二斜齿轮(33)，多个所述第一斜齿轮(32)与多个所述滚轮组(11)一一对应设置，所述第一斜齿轮(32)固定设置于所述第一端的轮轴，多个所述第一斜齿轮(32)还与多个所述第二斜齿轮(33)一一对应设置并啮合；

12.根据权利要求1-9任一项所述的基板输送装置，其特征在于，所述第一驱动组件(3)包括沿所述第一方向依次间隔设置的多个驱动组，所述驱动组能够带动至少一个所述滚轮组(11)的滚轮(111)转动于所述安装基体(2)。

13.根据权利要求1-9任一项所述的基板输送装置，其特征在于，所述滚轮组件(1)的数量为多个，多个所述滚轮组件(1)沿所述第一方向间隔分布。

14.根据权利要求1-9任一项所述的基板输送装置，其特征在于，所述基板输送装置还包括防倾倒机构(4)，沿第三方向，所述防倾倒机构(4)间隔设置于所述输送机构的上方，所述基板(100)位于所述防倾倒机构(4)和所述输送机构之间，所述防倾倒机构(4)能够限定所述基板(100)的位置，所述第三方向与所述安装基体(2)的高度方向平行。

15.根据权利要求14所述的基板输送装置，其特征在于，所述防倾倒机构(4)包括设置于所述安装基体(2)的第二驱动件(41)，以及连接于所述第二驱动件(41)的输出轴的第一防倾倒件(42)，所述第二驱动件(41)能够带动所述第一防倾倒件(42)沿所述第三方向移动，所述基板(100)能与所述第一防倾倒件(42)抵接。

16.根据权利要求15所述的基板输送装置，其特征在于，所述第一防倾倒件(42)包括相连接的第一防倾倒部(421)和第二防倾倒部(422)，所述第一防倾倒部(421)能与所述基板(100)的顶壁抵接，所述第二防倾倒部(422)能与所述基板(100)的侧壁抵接。

17.根据权利要求16所述的基板输送装置，其特征在于，所述防倾倒机构(4)还包括固定设置于所述安装基体(2)的第二防倾倒件(43)，所述第二防倾倒部(422)和所述第二防倾倒件(43)沿所述第二方向间隔分布，所述第二防倾倒件(43)能与所述基板(100)的侧壁抵接。

18.根据权利要求14所述的基板输送装置，其特征在于，所述防倾倒机构(4)的数量为多个，多个所述防倾倒机构(4)沿所述第一方向间隔分布。

19.真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-18任一项所述的基板输送装置。

技术总结本发明公开了基板输送装置及真空镀膜设备，该基板输送装置包括输送机构，输送机构包括滚轮组件和第一驱动组件，滚轮组件包括多个沿第一方向间隔分布的滚轮组，滚轮组包括多个沿第二方向间隔分布且均转动设置于安装基体的滚轮，沿滚轮的轴向，至少两个相邻的滚轮的轮轴之间通过活动结构连接，基板能放置于滚轮上，第一方向与第二方向垂直；第一驱动组件被配置为能带动多个滚轮组的滚轮转动于安装基体。能够降低滚轮和轮轴的加工精度要求，便于加工和安装滚轮的轮轴，能够减小传递至滚轮组的轮轴的扭转力矩，降低滚轮组的轮轴被拧断的风险，降低电机过载报警的几率，提升基板输送装置的使用寿命和使用安全性。技术研发人员：汪晨洁,余海春,杨启忠,戴晓东受保护的技术使用者：光驰科技（上海）有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/12