一种用于金属蒸镀过滤的设备的制作方法

本技术属于金属蒸镀，涉及一种用于金属蒸镀过滤的设备。

背景技术：

1、在蒸镀中，有时会产生坩埚内的蒸镀材料因漰沸以液体状或固体状的状态飞出到坩埚外，造成产品损坏，现有技术设置中板结构，防止因漰沸产生的飞溅，但活泼金属表面极容易氧化，活泼金属在通过加热蒸发会产生细小氧化颗粒及微粒，氧化颗粒附着设备会造成设备中一些装置的损坏，降低设备整体寿命。

2、例如中国专利文献cn112301313a公开了一种喷嘴单元、坩埚、蒸发源以及蒸镀装置，其能够抑制液体状或固体状的蒸镀材料到达基板的蒸镀面。喷嘴单元设有具有喷嘴部的喷嘴部件，和设置在比喷嘴部件更靠坩埚的容器本体的内部侧的位置的中板部件，中板部件具有供蒸镀材料通过的多个贯通孔，并且，从作为利用蒸镀材料蒸镀的蒸镀面上的任意位置的第一点，到达作为多个贯通孔内的任意位置的第二点的所有线段，被构成喷嘴单元的多个部件中的至少任意一个部件遮挡。

3、该现有专利虽然具有防止蒸镀材料因漰沸以液体状或固体状的状态飞出到坩埚外的技术优势，但是方案还存在如下技术问题：活泼金属在通过加热蒸发会产生细小氧化颗粒及微粒，氧化颗粒附着设备会造成设备中一些装置的损坏，降低设备整体寿命。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是针对现有技术存在的上述问题，提供一种可以解决上述技术问题的一种用于金属蒸镀过滤的设备。

2、为达到上述目的，本实用新型采用了下列技术方案：

3、本用于金属蒸镀过滤的设备，包括点源坩埚，所述点源坩埚为内部空心的容器，在所述点源坩埚侧壁内设有加热装置，所述点源坩埚一端中心位置设有喷嘴，所述喷嘴连通点源坩埚内部，所述点源坩埚内部设有隔断内部空间的过滤装置，所述过滤装置内布设若干上下连通的弯曲过滤间隙。

4、在上述的用于金属蒸镀过滤的设备，所述过滤装置包括具有夹层的过滤壳体，所述夹层的顶壁和底壁上开设连通孔，所述夹层内填充若干小球，相邻所述小球之间预留缝隙，若干连通的所述缝隙形成所述弯曲过滤间隙。

5、在上述的用于金属蒸镀过滤的设备，所述过滤壳体由顶板、底板和环形围板拼接组成，所述顶板与所述底板开通若干组呈上下对峙的螺纹孔。

6、在上述的用于金属蒸镀过滤的设备，所述顶板上的连通孔为圆形孔，所述底板上的连通孔为长方形孔，所述小球直径大于所述圆形孔直径/所述长方形孔直径。

7、在上述的用于金属蒸镀过滤的设备，所述小球为碳化硅小球。

8、在上述的用于金属蒸镀过滤的设备，所述点源坩埚包括内外套接的内胆和埚壳，所述加热装置均匀分布于所述内胆与所述埚壳之间。

9、在上述的用于金属蒸镀过滤的设备，所述内胆底部为光滑的凹弧面。

10、在上述的用于金属蒸镀过滤的设备，所述加热装置包括加热丝，所述加热丝为钛丝。

11、在上述的用于金属蒸镀过滤的设备，所述喷嘴上方设有基板。

12、与现有的技术相比，本申请的优点在于：

13、1)利用小球进行阻隔，阻止了氧化产物经过，有效防止氧化颗粒影响其它设备。

14、2)喷嘴的设计，使金属原子更加匀速、均匀的附着于基板。

15、3)内胆的光滑凹弧面，使金属材料升温更快，受热更均匀。

16、4)底壁为长方形孔，避免材料过渡沉积在中板内部，同时也避免碳化硅小球堵住底壁通孔。

技术特征：

1.一种用于金属蒸镀过滤的设备，包括点源坩埚（1），其特征在于，所述点源坩埚（1）为内部空心的容器，在所述点源坩埚（1）侧壁内设有加热装置，所述点源坩埚（1）一端中心位置设有喷嘴（2），所述喷嘴（2）连通点源坩埚（1）内部，所述点源坩埚（1）内部设有隔断内部空间的过滤装置，所述过滤装置内布设若干上下连通的弯曲过滤间隙；所述过滤装置包括具有夹层的过滤壳体（3），所述夹层的顶壁和底壁上开设连通孔，所述夹层内填充若干小球（4），相邻所述小球（4）之间预留缝隙，若干连通的所述缝隙形成所述弯曲过滤间隙；所述点源坩埚（1）包括内外套接的内胆（5）和埚壳（7），所述加热装置均匀分布于所述内胆（5）与所述埚壳（7）之间；所述内胆（5）底部为光滑的凹弧面，底壁为长方形孔。

2.根据权利要求1所述的用于金属蒸镀过滤的设备，其特征在于，所述过滤壳体（3）由顶板、底板和环形围板拼接组成，所述顶板与所述底板开通若干组呈上下对峙的螺纹孔（30）。

3.根据权利要求2所述的用于金属蒸镀过滤的设备，其特征在于，所述顶板上的连通孔为圆形孔（31），所述底板上的连通孔为长方形孔（32），所述小球（4）直径大于所述圆形孔（31）直径/所述长方形孔（32）直径。

4.根据权利要求3所述的用于金属蒸镀过滤的设备，其特征在于，所述小球（4）为碳化硅小球。

5.根据权利要求1所述的用于金属蒸镀过滤的设备，其特征在于，所述加热装置包括加热丝（6），所述加热丝（6）为钛丝。

6.根据权利要求1所述的用于金属蒸镀过滤的设备，其特征在于，所述喷嘴（2）上方设有基板。

技术总结本技术涉及一种用于金属蒸镀过滤的设备。它解决了现有技术无法将金属在加热蒸发过程产生的氧化金属颗粒和金属原子分离，影响其它设备正常工作的技术问题。本用于金属蒸镀过滤的设备，包括点源坩埚，所述点源坩埚为内部空心的容器，在所述点源坩埚侧壁内设有加热装置，所述点源坩埚一端中心位置设有喷嘴，所述喷嘴连通点源坩埚内部，所述点源坩埚内部设有隔断内部空间的过滤装置，所述过滤装置内布设若干上下连通的弯曲过滤间隙。本技术优点在于：实现了金属在加热蒸发过程产生的氧化金属颗粒和金属原子的分离，防止氧化金属颗粒影响其它设备。技术研发人员：张帆,赵亮,孙浩,李牧词,邓荣斌受保护的技术使用者：广西自贸区睿显科技有限公司技术研发日：20230912技术公布日：2024/6/13