一种用于水冷模块的检漏工装及检漏方法与流程

本发明涉及半导体生产，具体涉及一种用于水冷模块的检漏工装及检漏方法。

背景技术：

1、pecvd广泛应用于半导体行业薄膜制造以及表面处理等方面，其中沉积温度是一项重要工艺参数，过低的温度可能导致薄膜结构松散，而过高的温度可能导致薄膜氧化或产生其他缺陷，所以可以用来调节温度的水冷模块就起着重要作用。

2、水冷模块一般采用先在主体上加工水道，再焊接其他组件，因此水冷模块上往往存在有多条焊缝。常规情况下在主体加工水道后对水道进行水压检漏和氦气检漏，以此来检验水道的密封性能。然而生产现场偶尔会反馈整个设备真空度无法保持，分析后发现是其他不涉及水道的焊缝存在缺陷，最终导致生产延误，而现有技术还未针对水冷模块焊缝进行检漏。因此，亟需一种新的技术方案解决以上至少一个技术问题。

技术实现思路

1、本发明一个目的是提供一种用于水冷模块的检漏工装，能够模拟水冷模块真实工况，用来检验水冷模块上的焊缝情况，结构简单，易于组装。本发明另一个目的是提供一种检漏方法，检漏过程接近水冷模块真实工况，一次操作能够同时检验水冷模块上所有焊缝，操作简单高效，检漏效果好。

2、为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本发明所采用的技术方案是：一种用于水冷模块的检漏工装，其特征在于,包括壳体、密封设置于所述壳体上侧的外盖板、水冷模块、密封设置于所述水冷模块上侧的内盖板，所述外盖板设置有沿轴向将其贯穿的检漏孔，所述水冷模块密封插设于所述壳体，所述外盖板与所述壳体可拆卸连接，所述内盖板与所述水冷模块可拆卸连接。

3、作为优选的技术方案，所述外盖板下侧设置有容纳槽，所述内盖板位于所述容纳槽。

4、作为优选的技术方案，所述壳体中心设置有沿所述轴向将其贯穿的阶梯孔，所述水冷模块位于所述阶梯孔内。

5、作为优选的技术方案，所述外盖板下侧设置有第一密封槽，所述第一密封槽嵌内设有第一密封圈。

6、作为优选的技术方案，所述水冷模块包括第一段和设置于所述第一段下侧的第二段，所述第一段直径大于所述第二段直径，所述阶梯孔与所述水冷模块相匹配，所述水冷模块上侧设置有第二密封槽，所述第二密封槽内嵌设有第二密封圈。

7、作为优选的技术方案，所述阶梯孔内设置有台阶，所述第一段下侧设置有第三密封槽，所述第三密封槽内嵌设有第三密封圈。

8、作为优选的技术方案，所述阶梯孔内壁底部设置有安装块，所述安装块可拆卸插设有紧固螺栓。

9、作为优选的技术方案，所述外盖板可拆卸插设有第一内六角螺栓，所述内盖板可拆卸插设有第二内六角螺栓，所述外盖板与所述壳体通过第一内六角螺栓所述可拆卸连接，所述内盖板与所述水冷模块通过所述第二内六角螺栓可拆卸连接。

10、作为优选的技术方案，所述第一密封槽、第二密封槽和第三密封槽的表面粗糙度在ra0.4以内,所述外盖板与所述壳体的接触表面粗糙度在ra0.4以内，所述水冷模块与所述内盖板的接触表面粗糙度在ra0.4以内，所述第一段与所述台阶的接触表面粗糙度在ra0.4以内。

11、本发明还提供一种检漏方法，其特征在于，采用所述检漏方法对所述水冷模块进行检漏，包括以下步骤：

12、步骤1、将所述水冷模块密封安装于所述壳体；

13、步骤2、步骤1完成后将内盖板密封安装于水冷模块上侧；

14、步骤3、步骤2完成后将所述外盖板密封安装于所述壳体；

15、步骤4、将检漏仪器与所述外盖板的检漏孔连接进行检漏，所述检漏仪器具有检漏接头，所述检漏接头安装于所述检漏孔。

16、本发明的有益效果是：

17、1）外盖板和壳体密封，壳体与水冷模块密封，盖板与水冷模块密封，多道密封形成密封空间，这样模拟真实的工作环境，用来检验水冷模块上的焊缝情况，结构简单，易于组装；

18、2）容纳槽为了避让内盖板和部分水冷模块，同时能形成检漏的空间，检漏效果更好；

19、3）阶梯孔与水冷模块相匹配，并且设置台阶对水冷模块进行限位，也方便水冷模块与阶梯孔形成密封，更接近真实工况；

20、4）多个密封槽和密封圈配合密封效果好，防止密封效果不好对检漏效果产生影响；

21、5）紧固螺栓紧固水冷模块，检漏时水冷模块更加稳定；

22、6）检漏方法使得检漏过程接近水冷模块真实工况，一次操作能够同时检验水冷模块上所有焊缝，操作简单高效，检漏效果好。

技术特征：

1.一种用于水冷模块的检漏工装，其特征在于,包括壳体、密封设置于所述壳体上侧的外盖板、水冷模块、密封设置于所述水冷模块上侧的内盖板，所述外盖板设置有沿轴向将其贯穿的检漏孔，所述水冷模块密封插设于所述壳体，所述外盖板与所述壳体可拆卸连接，所述内盖板与所述水冷模块可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的半导体液体加热器快速老化寿命测试方法，其特征在于，所述外盖板下侧设置有容纳槽，所述内盖板位于所述容纳槽。

3.根据权利要求1所述的用于水冷模块的检漏工装，其特征在于，所述壳体中心设置有沿所述轴向将其贯穿的阶梯孔，所述水冷模块位于所述阶梯孔内。

4.根据权利要求1所述的用于水冷模块的检漏工装，其特征在于，所述外盖板下侧设置有第一密封槽，所述第一密封槽嵌内设有第一密封圈。

5.根据权利要求4所述的用于水冷模块的检漏工装，其特征在于，所述水冷模块包括第一段和设置于所述第一段下侧的第二段，所述第一段直径大于所述第二段直径，所述阶梯孔与所述水冷模块相匹配，所述水冷模块上侧设置有第二密封槽，所述第二密封槽内嵌设有第二密封圈。

6.根据权利要求5所述的用于水冷模块的检漏工装，其特征在于，所述阶梯孔内设置有台阶，所述第一段下侧设置有第三密封槽，所述第三密封槽内嵌设有第三密封圈。

7.根据权利要求3所述的用于水冷模块的检漏工装，其特征在于，所述阶梯孔内壁底部设置有安装块，所述安装块可拆卸插设有紧固螺栓。

8.根据权利要求1所述的用于水冷模块的检漏工装，其特征在于，所述外盖板可拆卸插设有第一内六角螺栓，所述内盖板可拆卸插设有第二内六角螺栓，所述外盖板与所述壳体通过第一内六角螺栓所述可拆卸连接，所述内盖板与所述水冷模块通过所述第二内六角螺栓可拆卸连接。

9.根据权利要求6所述的用于水冷模块的检漏工装，其特征在于，所述第一密封槽、第二密封槽和第三密封槽的表面粗糙度在ra0.4以内,所述外盖板与所述壳体的接触表面粗糙度在ra0.4以内，所述水冷模块与所述内盖板的接触表面粗糙度在ra0.4以内，所述第一段与所述台阶的接触表面粗糙度在ra0.4以内。

10.一种检漏方法，其特征在于，采用权利要求1-9中任一项所述检漏方法对所述水冷模块进行检漏，包括以下步骤：

技术总结本发明公开了一种用于水冷模块的检漏工装，包括壳体、密封设置于所述壳体上侧的外盖板、水冷模块、密封设置于所述水冷模块上侧的内盖板，所述外盖板设置有沿轴向将其贯穿的检漏孔，所述水冷模块密封插设于所述壳体，所述外盖板与所述壳体可拆卸连接，所述内盖板与所述水冷模块可拆卸连接。本发明的检漏工装能够模拟水冷模块真实工况，用来检验水冷模块上的焊缝情况，结构简单，易于组装。本发明另一个目的是提供一种检漏方法，检漏过程接近水冷模块真实工况，一次操作能够同时检验水冷模块上所有焊缝，操作简单高效，检漏效果好。技术研发人员：季迪,游利,管明月,袁洋,夏荣荣受保护的技术使用者：江苏先锋精密科技股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/18